Способ изготовления фотокатода Советский патент 1979 года по МПК H01J9/12 

(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТЬКАТОДА

Изобретение относится к области фотоэлектронных приборов, в частности к способам изготовления вакуумных электронных приборов.

Известен способ изготовления фотокатодов путем нанесения слоев чистых нещелочных металлов с последующей активацией щелочным металлом, в которых подачу щелочного металла в прибор прекращают в момент достижения интегральной чувствительности фотокатода 1.

Из-за большой инерционности источников щелочных металлов такой способ изготовления фотокатодов приводит- к излишкам щелочного металла на поверхности фотокатода и к меньшей чувствительности по сравнению с оптимальной.

Для устранения этого недостатка проводится отгонка паров щелочного металла из вакуумного прибора, содержащего фотокатод, которая позволяет удалять лишнее количество щелочного металла.

Известен способ изготовления фотокатода путем нанесения слоев чистых нещелочных металлов с последующей активацией щелочным металлом, отгонкой излишков паров щелочного металла с контролем процессов активации и отгонки по фототоку катода, освещаемого неразложенным светом

Однако такой способ изготовления фотокатода не позволяет получить фотокатод с наибольшим отношением откликов на длине волны максимальной чувствительности и на длине волны, соответствующей длинноволновой границе чувствительности.

Целью изобретения является увеличение отношения откликов фотокатода на длине волны максимальной чувствительности и на длине волны, соответствующей длинноволновой границе чувствительности.

Это достигается тем, что по предлагаемому способу отгонку паров щелочного металла заканчивают в момент прекращения падения фототока при освещении фотокатода светом с длиной волны, соответствующей длинноволновой границе чувствительности фотокатода.

Способ изготовления фотокатода состоит в следующем.

На подложку наносится слой чистого нещелочного металла и активируется щелочным металлом. Активация прекращается при достижении максимальной чувствительности фотокатода. Затем проводится отгонка паров ЩёлочнОго металла, которая заканчивается в момент прекращения падения фототока при освещении фотокатода светом с длиной волны, соответствующей длинноволновой границе чувствительности фотбкатоды.

Фотокатод, изготовленный по предлагаемому способу, обеспечивает отношение откликов на длине волны максимальной чувст ветельности и на длине волны, соответствующей длинноволновой границе чувствительности - 10.

Формула изобретения

Способ изготовления фотокатода путем нанесения слоев чистых нещелочных металлов с последующей активацией щелочным металлом, отгонкой излищков паров щелочного металла с контролем процессов активации и отгонки по фототоку катода,, отличающийся гем, что, с целью увеличения отнощения откликов на длине волны максимальной чувств1ительности и на длине волны, соответствующей длинноволновой границе чувствительности, отгонку заканчивают в моменТу прекращения падения фототока при освещении светом с длиной волны, соответствующей длинноволновой границе чувствительности фотокатода.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

2.Авторское свидетельство СССР № 189949, кл. Н 01 J 9/12, 09.04.65.