Вакуумная электропечь Советский патент 1979 года по МПК F27B1/10 

Изобретение относится к низкоте.лпературным йакуумным электропечам сопротивления периодического действи и найдет применение в термических цехах мелкосерийного и серийного про изводства, напримерf для термообработки полупроводниковых приборов - резисторов, пленочных микросхем и т.п. Известна вакуумная печь, содержащая нагревательную камеру, которая включает охлаждаемый корпус, экранную теплоизоляцию и нагреватели 1. Однако эта печь имеет относительно большой разброс (перепад) температур по рабочему объему печи (до 30 С) и низкую производительност из-за длительного охлаждения изделия после окончания термообработки. Известна вакуумная электропечь, имеющая корпус с теплоизоляцией и концентрично размещенные в нем нагре ватель и водоохлсисдаемый змеевик 2 Недостаток ее состоит в , что змеевик экранирует излучаемое тепло и увеличивает тем самым неравномерность нагрева изделия и неполностью используется охлаждающая способность змеевика, так как его теплопередающая поверхность относительно невелика. Цель изобретения - повышение равномерности нагрева и ускорение охлаждения. Это достигается тем, что вакуумная электропечь снабжена экраном, установленным кондентрично охлаждаемому змеевику. На фиг. 1 изображена вакуумная электропечь, разрез на фиг. 2 - узел Iна фиг.1. Электропечь имеет корпус 1, экранную теплоизоляцию 2, нагреватель 3, охлаждаемый змеевик 4 с установленным на нем теплопроводным экраном 5, и нагреваемое изделие 6. В режиме разогрева теплопроводный экран 5 сглаживает искажения температурного поля, вносимые нагревателем 3 и змеевиком 4 (в режиме нагрева змеевик, естественно, не охлаждается) , т.е. теплопроводный экран 5 работает как выравнивающий экран. В режиме охлаждения лучистая энергия нагретого изделия 6 принимается теплопроводным экраном 5 и отводится хладагентом, циркулирующим через зме;евик 4р тем самым общая теплопере дшЩая поверкиость увеличивается.

Вакуумная электропечь за счет бо; лееpaeTibMepHoro нагрева изделия улучшит качество термообработки и за счет умёньшенйй времени охлаждения увеличит производительность печи.

Формула изобретения

электропёчь, содержащая Корпус с теплоизоляцией, концентричнЪразмещенные в нем нагреватель и

(Охлаждаемый змеевик, отличаю щ а я .с я там, что, с целью повышения равномерности нагрева и ускорения охлаждения, она снабжена экраном установленным концентрично и внутри охлаждаемого змеевика.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Свенчанский А.Д. Электрические промышленные печи. М., Энергия, 1975, ч. 1, с. 148.

2.Авторское свидетельство СССР № 372285,. кл. С 21 Ь 9/00, 1969.

Хло огент