Изо(фетение относится к области электроизмерительной техники и предназначено для дистанционного измерения величины емкости полупроводки ковы л диодов и ее изменений в условиях воздействия дестабилизирующих факторов, например, температуры, радиации и т. п. Известно устройство для измерения малых изменений емкости, содержащее генератор высокой частоты, связанный с измерительным контуром через цепь связи, содержащую детектор, а также допо; нительнь.й компонсируюший контур, связан ный с генератором высокой частоты и индикатор l. Недостаток известного способа измерения состоит в низкой точности измерения. Наиболее близким техническим решением к изобретению является устройство для измерения изК1еноння емкости, содержащее выськочасют ный генератор, четыре делителя напряжения, усилитель и индикатор. В этом устройспве компенсация начальной емкости исиьпуемохо конденсатора достигается тем, что между гх;нерато)ом и концами испытуемого и компенсируюшто конденсаторов включены О1резки кооксчгальных кабелей, длины которых (изнятся на половину длины рабочей волны. Высокочастотные колебания генератора чере; отрезки коаксиально1о каболя поступают на испытуемый н компенсирующий кондо саторы. В результате разности длин кпб,- лей высокочастотный сигнал приходит на конденсаторы в протнвофлзе нб резисторе омкостно-омического делителя выдоляется сигнал, пропорциональный разности величин емкостей конденсаторов 2, Недостатками данного устройства невозможность изморяния ек(К1к:1я испытуемого конденсатора в диаппаон; частот с плавной переспройкой частиты генератора фиксированной pnaiuxnn длин отрезков коаксипл1,ных к.i6 -;uft, « также недостаточная изм-чхния иэ-за нестабильности дл.:ны fsojiiis.: rfH« ратора, что такж прншЛИ к itMio.iiioii компенсации величины начальной емкости испытуемого конденсатора. Бель изобретения - повышение точ1;ос- ти измерения за счет компенсации началь ной емкости испытуемого конденсатора, Поставленная цель достигается тем, что в устройство для измерения изменения емкости, содержащее высокочастотный генератор, выход котсрого через последовательно соединенные первый делител напряжения и первый коаксиальный кабель внешний проводник которого соединен с земляной шиной устройства, соединен с одним из выводсе второго делителя напря жения, другой вывод которого соединен с одним из выводов третьего делителя напряжения, другой вывод через второй коаксиальный кабель, внешний проводник которого заземлен, соединен с одним из выводов четвертого делителя наЩ)яжения, третьи выводы второго и третьего делителей напряжения соответственно соединены с одним и с другим зажимо для подключения испытуемого конденсатора, другой вывод четвертого делителя напряжения через усилитель соединен с индикатором, введены инвертор, переключатель, переменная катушка индуктивности, конденсатор и переменный резистор, причем вход инвертора соединен с выходом высокочастотного генератора, а выход инвертора соединен с одним выводом переключателя, другой вывод которого соеди нен с выходом высокочастотного генерал тора, управляемый вывод переключателя соединен через последсжательно соедиие ные переменную катушку индуктивности, конденсатор и переменный резистор со входом усилителя. На чертеже представлена функциональная электрическая схема устройства. Устройство содержит высокочастотный генератор 1, делитель напряжения 2, который содержит резисторы 3, 4, коаксиальный кабель 5, делитель напряжения 6, который содержит резисторы 7, 8, испытуемый конденсатор 9, делитель напряжения 1О, содержащий резисторы 11, 12, коаксиальный кабель 13, делитель напр5 жеаия 14, содержащий резисторы 15, 16 инвертор 17, переключатель 18, переменная катушка индуктивности 19, конденс Tqp 20, переменный резистор 21, усилитель 22, индикатор 23. Напряжение высокочастотно1 о генератора 1 через резисторы 3, 4 отрезок коаксиального кабеля 5 и резисторы 7, 8 поступает на испытуемый конденсатор 0. На резисторе 11 выделяется высокочастотное напряжение, пропо)ииональное величине емкости конденсатора 9, которое через резистор 12, отрезок коаксиального кабеля 13 и резисторы 15, 16 поступает на вход усилителя 22 с некоторым набегом фазы, определяемым длинами отреэков кабелей 5, 13 и частотой высокочастотного генератора 1, На вход усилителя 22 поступает и высокочастотное напряже- ние, пропорциональное проводимости резио-; тора 21, но сдвинутые по фазе на 1 относительно высокочастотного напряжения генератора 1. Противофазность достигает ся регулировкой переменной катушки 19 и установкой переключателя 18 в положение, изображенное на чертеже, а равенст во амплитуд - регулировкой резистора 21. В результате на входе усилителя 22 выделяется сигнал, пропорциональный изменению емкости испытуемого конденсатора 9, который усиливается и отсчитывает ся на индикаторе 23. Формула изобретения Устройство для измерения изменения емкости, содержащее высокочастотный ге- нератс, выход которого через последовательно сс)единенные первь1Й делитель напряжения н первый коаксиальный кабель, внешний проводник которого соединен с земляной шиной устройства, соединен с одним из выводов второго делителя напр жения, другой вывод которого соединен с одним из выводов третьего делителя напряжения, другой вывод которого через второй коаксиальный кабель, внешний проводник которого заземлен, соединен с одним из выводов четвертого делителя напряжения, тр гьи выводы второго и третьего делителей напряжения соответстве но соединены с одним и с другим зажимом для подключения испытуемого конденсатора, другой вывод четвертого делителя напряжения через усилитель соединен с индикатором, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерения за счет компенсации начальной емкости испытуемого конденсатора, в него введены инвертор, переключатель, переменная катушка индуктивности, конденсатор и переменный резистор, причем вход инвертора соединен с выходом высокочастотного генератора, а выход инвертора соединен с одним из выводов переключателя, другой вывод которого соединен с выходом высокочастотного генератора, управляемый вывод переключателя соединен через последовательно соединенные переменную катушку индуктивности, конденсатор и переменный резистор со входом усилителя. 684 86 Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР N9 134336, кл. Q 01 R 27/26, 1954, 2.Автс кое свидетельство СССР М. 277936, кл. G 01 R 27/2G, 1969.
