(19)
SU
(11)
694 775
(13)
A1
(51)
МПК
G01K7/02(2000-01-01)
H01L35/34(2000-01-01)
(21) (22)
Заявка
2632834, 1978-06-23
(22)
дата подачи заявки
1978-06-23
(45)
опубликовано
1979-10-30
(72)
авторы
Петровичев Алексей ГеннадьевичСмирнов Анатолий НиколаевичХорунжин Юрий Павлович
Авторы
Петровичев Алексей Геннадьевич
Смирнов Анатолий Николаевич
Хорунжин Юрий Павлович
Даты
1979-10-30—Публикация
1978-06-23—Подача