Устройство для пространственной ориентации образцов в вакууме Советский патент 1979 года по МПК H05K13/02 

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРОСТРАНСТВЕННОЙ ОРИЕНТАЦИИ ОБРАЗЦОВ В ВАКУУМЕ резьбы с толкателем 9. Кулачок толкателя проходит через прорезь в трубчатой тяге, которая исключает проворачивание толкателя относительно трубчатой тяги и ограничивает ход толкателя вдоль оси трубчатой тяги. Трубчатая тяга через резьбу на ее внешней поверхности соединена с втулкой 10. Втулка своим выступающим ступенчатым ободком вставлена в ступенчатое отверстие во фланце. Разрезная накидная шайба 11, приваренная своими краями к фланцу, не дает втулке передвигаться относительно фланца в осевом направлении. Втулка на другом конце имеет маховичок 12. Стержень, проходящий внутри трубчатой тяги, зафиксирован в осевом направлении относительно этой тяги при помощи ступенчатого выступа на его конце и шайбы 13, приваренной к трубчатой тяге. Конец этого стержня имеет маховичок 14. Устройство работает следующим образом. Передвижение юстируемой площадки i в осевом направлении достигается вращением втулки 10. При этом необходимо придерживать трубчатую тягу 3 от проворачивания относительно фланца 7. При вращении втулки 10 последняя навинчивается на трубчатую тягу 3 и перемещает ее относительно флапца 7. Трубчатая тяга 3 передвигает юстируемую площадку в осевом направлении. Наклоны юстируемой площадки 1 достигаются вращением стержня 8. При вращении стержня 8 толкатель 9 навинчивается на стержень 8 и передвигается в осевом направлении относительно трубчатой тяги 3. Толкатель 9 своим кулачком наклоняет юстируемую площадку 1. Поворотом трубчатой тяги 3 можно поставить кулачок толкателя 9 под любым азимутальны.м углом. Предложенная конструкция юстировочного устройства позволяет перемещать образцы на 20-25 мм и обеспечивать установление нормали к поверхности образца в любом заданном направлении на О-15° от оси системы. Использование данной конструкции дает возможность повысить надежность работы устройства и точность юстировки. Данная конструкция обладает также большей жесткостью и более устойчива к вибрациям. Уменьшение площади поверхностей, обращенных в вакуум, уменьшает -время прогрева системы для обезгаживания. Уменьшение откачиваемого объема и времени прогрева уменьшает в целом время откачки. К преимуществам данного юстировочного устройства следует также отнести малое количество элементов, надлежащих контролю на герметичность (два сварных соединения сильфона и вакуумное уплотнение фланца). Формула изобретения Устройство для пространственной ориентации образцов в вакууме, содержащее юс тируемую площадку для образцов, сильфон размещенный между юстируемой площадкой и втулкой с фланцами и стержень для перемещения юстируемой площадки, отличающееся тел, что, с целью повышения точности юстировки и надежности работы устройства, оно снабжено толкателем, кинематически соединенным со стержнем для перемещения юстируемой площадки и размещенным в сильфоне. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Вакуумные системы и их элементы. Под ред. В. Д. Лубенец. М., Машиностроение , 1968, с. 100. 2.Эмбах Г. Л. Практические сведения по вакуумной технике. М.-Л.: Энергия , 1966, с. 148 (прототип).