Изобретение касается контроля параметров полупроводниковых приборов. Известен способ определения теплового сопротивления полупроводйиновых приборов, заключающийся в разогреве их током и измерении teMпературно-зависимого параметра йо времени 1. Этот спосзоб предполагает предварительную градуировку температурнозависимого Параметра. Известен также способ опредепеки теплбвогб сопротивления диодов Ганна, заключакдайся в измерении темпе ратурно-зависимого параметра в ИНте вале темПера тур и расчёте теплойогр сопротйвления 12. Он сюстоит также в предварительной градуировке по те пёратуре и измёренкям величины При. рабочем разогреве в интервалы време ни короче времени тепловой релаксац Недостатками такого метода йвляются сложность оборудования и измерения при малых временах тепловой релаксации, а также низкая производительность при технологическом контроле больших партий диодов. Цель изобрётёнйя - уменьшение времени иэмеренил теплового сопротивления диодов Ганна. Поставленная цель достигается. тем, что определяют импуЛьсНые вольтат перныё характеристики nJiH внешнем подогреве диода и регистрируют температуру, при которой импульсные пороговое напряжение и ток.равны пороговому напряжению и току пос.тоянном смещений. На чертеже йриведена функциональная схема устайовки, которая odymeствляет измерение температуры. При которой импульсна.я йольт-амперная характеристика совпадает с вольт-амперной характе ристйкрй на постоянном токе. В частности, провидится сравнение точек ипор.иилп U, пор. пост и пор.и/лп пор.пост по величине температуры и мовдюсти разогрева диода на пострянйом токе, рассчитывают тепловое сопротивление,т.е. используется эквивалентность Тепловых режимов при саморазогреве рабочим Током и вйешним подогреве диода до температуры активной области, Импульсная вольт-амперйая характе-. риротика диода снимается с помощью . - . , - , -/..i: -- - - --серии импульсов малой длительности и большой скважности, имеющих линей но нарастающую амплитуду напряжения Установка :включает в себя генератор 1 серии импульсов с пилообраз но изменяющимся напряжением (скважность импульсов большая, а длительность меньше времени тепловой релак сация ШоДа, что обеспечивает нера огрёвШвдй режим работы диода) , приспособление для включения диода 2, термостат 3 с регулируемой температурой, индикатор 4 для сопостав ИВАХ с ВАХ в виде Двухкоординатного самописца, источник постоянного тока 5, детектор импульсов б, блок переключателей 7 для пере ключгёйия из импульсного режима в Непрерывный. В качестве температурно-зависймЪггГпараметра для. определения экви валентности тепловых режимов можно использовать измерение не всей зависимости ИВАХ, а измерение лишь „ или и,о{). Лпя ойрёделе нйя темпер.атуры, при которой --. пop.V1(..мA n nop nocт / Искл10чёнйе необ: ;одимости предварйтёльнбй градуировки температурно 0 висимого параметра каждого диода по температуре сокращает время измерения, а использование в качестве измеряемых величин Зпор.имп . Jrop.Hwn существенно упрощает аппаратуру и процесс измерения теплового сопротивления. Формула изобретения Способ измерения теплового сопротййления диодов ГаНна, заключающийся в йойтролё температурно-зависимого параметра в интервале температур и расчёте теплбвогЬ сопротивления, ич а ю щ и и с я тем, что, с целью уменьшения времени измерений, бпредеЛйют импульсные вольт-амперные характеристики при внешнем подогреве диода и регистрируют температуру, tipiH которбй импульсные пороговое н апряжение и ток равны пороговому натпряясекйю и току при постоянном Смещении.. : Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР 172373, кл. G 01 R 31/26, 1965. 2.NEREN .73. Res. Boston Mass . Part 3, New Jork 1973, p 134-142 (прототип) . 
