Способ измерения поперечных размеров оптически прозрачных структур Советский патент 1979 года по МПК G01B11/02 

(54) СПОСОБ. ИЗМЕРЕНИЯ ПОПЕРЕЧНЫХ РАЗМЕРОВ ОПТИЧЕСКИ ПРОЗРАЧНЫХ СТРУКТУР

расходящуюся сферическую волну, равноценную, излучению точечного источника, расположенного в плоскости фильтра 3. Это тпуценне посредством объектива 4 преобразуют в сходящуюся волну, пропускаемую через амплитуднопрозрачную структуру 5, ширину которой необходимо измерить. Положение основного максимума интенсивности поля по оптической оси Z определяют путем перемещения вдоль нее сканирующей системы 6 с точечным приемником светового излучения, преобразующим световое излучение в злектрнческий сигнал, который поступает иа дифференциатор 8, а с него - на блок 9, вырабатывающий импульс при нулевом входном напряжении, выход блока 9 подключен к вертикальным пластинам осциллографа 10. Если развертка осциллографа синхронизирована со сканирующей системой 6, то в точке максимума интенсивности на экране будет однозначно вь.1свечиваться отсчетная метка, которая определяет значение щирины структуры 5.

Способ позволяет значительно расширить диапазон измерения и повысить, его.помехозащищенность.

Формула изобретения

Способ измерения поперечных размеров оптически прозрачных структур, заключающийся в том, что оптическое, излучение формируют в виде сходящейся сфери1еской волны, пропускают ее через контролируемую структуру и сканируют после волны, продифрагировавщей на контролируемой структуре, отличающийс я тем, что, с целью расширения диапазона контроля и повышения помехозащищенности, сканирование производят вдоль оптической оси,

определяют положение основного максимума интенсивности поля и по найденному положению судят о. контролируемом размере.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент США № 3884581, с. 356-109, 19 (прототип).

f