Способ легирования монокристаллов кремния Советский патент 1980 года по МПК B01J17/34 

Описание патента на изобретение SU717999A3

Похожие патенты SU717999A3

название год авторы номер документа

Реферат патента 1980 года Способ легирования монокристаллов кремния

Формула изобретения SU 717 999 A3

SU 717 999 A3

Авторы

Иоахим Мартин

Конрад Ройшель

Даты

1980-02-25Публикация

1975-02-17Подача