Следящая система для оптических интерферометров Советский патент 1980 года по МПК G01B9/02 

отражающего растра и снабжен срещством перемещения, которое через усилитель мощности и интегратор подключено к выходу дифференциал:ьного усилителя.

На чертеже показана схема следящей системы для оптических интерферометров .

Следящая система содержит гальванометр, включающий в сеоя зеркало 1, рамку 2, фокусирующую линзу 3; дискриминатор в виде прозрачноотражательного растра 4, коллиматор 5, фотоприемники 6,7, дифференциальный усилитель 8, балластное сопротиление 9, регистрирующее устройство 10, интегратор 11, усилитель мощности 12 и средство перемещения растра в виде серводвигателя 13 с индикатором 14. При этом последовательно включенные балластные сопротивления 9, и рамка 2 гальванометра соединены с выходом дифференциального усилителя, а последователно включенные интегратор 11, усилитель мощности 12 и серводвигат 2ль 13 подключены к входу усилителя 8

Система работает следующим образом.

Сфокусированные линзой 3 лучи а и б, отражаясь от зеркала 1 гальванометра, интерферируют в плоскост растра 4. Часть света, отраженная растрсм, фокусируется на фотоприемнике 7, а часть света прошедшая через растр, фокусируется на :фотоприемнике 6. Электрические сих- налы с фотоприемников 6 и 7 поступают на дифференииальный усилитель

При смещении интерференционных полос вдоль решетки в рамке 2 гальванометра возбуждается ток, которы поворачивает зеркало 1 таким oeipaзом, чтобы скомпенсировать возникшее смещение полос. Ток, протекающий через гальванометр, регистрируется устройством 10. Он является сигналом рассогласования, пропорционален углу поворота зеркала 1 и связан с измеряемой величиной смещения полос.

Для расширения динамического диапазона измеряемых смещений полос сигнал с выхода усилителя 8 поступает на интегратор 11, а затем на усилитель мощности 12, который приВОДИТ В движение серводвигатель 13. При значительных поворотах зеркала 1, т.е. при больших сдвигах полос, серводвигатель 13 перемещает растр 4 так, чтобы повернуть зеркало гальванометра в исходное положение. Перемещение растра фиксируется индикатором 14 .

При использовании изобретения диапазон регистрируемых перемещений интерференционных полос определяется числом штрихов в используемой решетке и составляет 10 полос. Быстродействие системы зависит QT инерцийнности зеркального гальванометра и может принимать значения от О до 100 Гц.

Формула изобретения

Следящая система для оптических

интерферометров, содержащая дискриминатор положения интерференционных полос и подключенный к нему фотоэлектрический дифференциальный усилитель, отличающаяся ем, что, с целью увеличения чувствительности и расширения ди наического диапазона. Дискриминатор выполнен в виде прозрачно-отражательного растра и снабжен средством перемещения, которое через усилитель мощности и интегратор подключено к выходу дифференциального усилителя.

Источники информации,

принятые во внимание при экспертизе

1. Еали и Востром. Приборы для научных исследований , 1968, № 9, с.59.

2, Воронцов Л.Н, Фотоэлектрические системы контроля линейных величин. М., Машиностроение, 1965, с.60-61 (прототип).