Датчик давления Советский патент 1980 года по МПК G01L9/12 

К цилиндрическому корпусу 1 резонатора крепится специально изготовленяая подушка 2 (мембрана). С обеих сторон силоприиимающей подушки выточены два соосно расположенных кольцевых паза 3 и 4 с различными диаметрами. В центре цилиндрического корпуса соосно расположен CTepkeHb 5, на торцовую часть которого прикрепляется диэлектрический слой 6 из слюдьи Между торцом стержня 5 и поверхностью подушки 2 образуется воздуш ный зазор 7, К тороидальному резонатору подводятся две кабельные линии 8 и 9, одна- из которых служит для ввода СВЧ энергии от генератора 10, а другая - для вывода через детектор 11. Участок силопередающей подушки 12, отмеченный пунк тирной яиниейу -можно, эыцолнить пустоте.лым для улучшения часToTHbix свойств. Геометрические размеры подушки 2с выточенными пазами 3 и 4, а также размеры цилиндрического корпуса 1 подобраны так, что при приложении силы F дефор мируется только тонкая цилиндрическая стенка, образованная между двумя пазами 3 и 4. Нижняя поверхность чувствительного элемента подушки 2, перемещаясь плоско-параллельно по отношению тор ца стержня 5, изменяет воздушный зазор 7 и тем самым изменяет значение сосредоточенной емкости тороидального резонатора. В результате этогоизменяется зна722 чение выходного напряжения, получаемого после детектора 11. В резонаторе емкостный зазор состоит из двух слоев диэлектрика 6 и 7 (слюда и воздух). Из-за наличия слюдяного диэлектрика относительное изменение емкости будет гораздо больше, чем при отсутствии его. Естественно, больше будет относительное изменение частоты резонаторного датчика. Наибольшая чувствительность получается, когда датчик настроен на уровне 0,82 выходного напр5гжения, получаемого при резонансе. Тороидальный резонаторный датчик частотой 320 МГц был применен для регистрации давления набегающих воздушных ударных волн и показал большое быстродействие и чувствительность, а также вы - Л.- tj. .j j4 Л t 1 Dj a j сокое соответствие зарегистрированной волны, обусловленной в данной точке пространства. ормула изобретения Датчик давления по ав.св. №324532, отличающийся тем, что, с целью повышения быстродействия, в нем силопередающая подушка имеет с каждой стороны кольцевой паз глубиной более половины толщины подушки, расположенный соосно со стержнем. /