Способ измерения амплитудной и фазовой анизотропииОпТичЕСКОгО Об'ЕКТА Советский патент 1981 года по МПК G01N21/63 

Изобретение относится к технике оп тических измерений и может быть испол зовано при исследовании оптических и других физических свойств веществ и элементов оптических устройств. Известны эллипсометрические способы измерения амплитудной и фазовой анизотропии оптических объектив, зак.шочающиеся в облучении объекта поляризованным светом и исследовании изменения поляризации света после отражения или прохождения через объект Недостатками данного способа являются низкая точность измерений, особенно в инфракрасной области спектра, и длительность времени измерений. Наиболее близким к предлагаемому является способ измерения амплитудной и фазовой анизотропии, зaключaюпy йcя в помещении оптического объекта в резонатор, возбуждении резонатора монохроматическим поляризованным свеТОМ и анализе отраженного или прошедяего излучения 2 J. Однако в связи с тем, что характеристики объекта измеряются для кажд ой поляризации изучения порознь, точность такого способа невелика. Цель изобретения - повысить точность измерений. Поставленная цель достигается за счет того, что длину резонатора изме няют по периодическому линейному закону, измеряют временные интервалы между интерференционными импульсами и длительность этих импульсов на выходе резонатора, а амплитудную и фа-зовую анизотропию определяют по формулам : АЧ-2 г;А|;. Н- -Ср|дЛ М т- ,2, фаэовай анизотропия; амплитудная анизотропия; число зеркал резонатора, на которые излучение падает под углом,отличным от нул AV - временной интервал между импульсами разных поляризаций; временной интервал между импульсами одной поляризаций;длительности импульсов Р и S поляризаций коэффициент отражения i-r R« и RC зеркала соответственно для Р и S поляризации 2...N. На фиг. 1 изображено устройство, реализующее даяний способ; на фиг,2 показаны эпюры интерференционных импульсов , Устройство содержит лазер 1, поля ризатор 2, четвертьволновую пластину 3, зеркало 4, объект 5, пьезокерамику 6, поляризатор 7 и фотоприемник 8 Устройство работает следующим образом. Монохроматический пучок, излучаемый лазером 1, проходит через поляри затор 2, четвертьволновую пластинку и возбуждает резонатор, образованный зеркалом 4, объектом 5 и зеркалом, у тановленным на пьезокерамике 6, Прошедшее через резонатор излучение ана лизируется поляризатором 7 и поступает в фотоприемник 8, При линейном периодическом изменении длины резонатора его собственные частоты по оч реди совпадают с частотой внешнего излучения и оно в эти моменты достигает фотоприемника. Одновременное наблюдение импульсов, соответствующи раяличным поляризациям излучения, обеспечивает высокую точность измере ния оптических характеристик. Формула изобретения Способ измерения амплитудной и фазовой анизотропии оптического объекта, включающий помещение объекта в открытый резонатор, возбуждение резонатора монохроматическим поляризованным излучением и анализ отраженного или прошедшего излучения, о тличающийся тем, что, с целью повьшения точности измерений, длину резонатора изменяют по периодическому линейному закону, измеряют временные интервалы между интерференционными импульсами и длительность этих импульсов на выходе резонатора, а амплитудную и фазовую анизотропию определяют по формулам Ж 1С(г:р/л%) N , ()Л/ з/Кр% где фазовая анизотропия; - амплитудная анизотропия; число зеркал резонатора, на которые излучение падает под углом, отличным от нуля; временной интервал между импульсами разных поляризаций; &V2- временной интервал между импульсами одной поляризации; XpHtgдлительности импульсов Р и S поляризаций; коэффициенты отражения i-ro зеркала соответственно для Р и S поляризаций, ,2. ,.,N. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1,Горшков М.М. Эллипсометрия. М., Советское радио, 1974, с, 156. 2.Новиков М.А. Поляризационный кольцевой интерферометр.- Радиотехника и электроника, 1976, т. 21, с. 904.