Спектрометр оже-электронов Советский патент 1980 года по МПК G01N23/227 

1

Изобретение относится к области эмиссионной оже-спектроскопии и может быть использовано при измерениях спектроэнергий оже-электронов, испускаемых веществом.

Известен спектрометр оже-электронов в котором возбухфаюгдее излучение модулируют гармоническим сигналом и используют фазочувствительное де.тек- in тирование вторичного излучения.

Данный спектрометр сложен в техническом исполнений и имеет малую разрешающую способность.

Известен спектрометр оже электро- 5 нов, содержащий источник возбуждения образца, энергоанализатор, источник напряжения развертки и модулирующий генератор, подключенные к энергоанализатору, детектор электронов, усили- 20 тель, подключенный через разделительный конденсатор к детектору электронов, избирательный усилитель, фазочувствительный детектор, соединенный вторым входом с выходом модулирующего гене- 25 ратора, и регистрирующее устройство, подключенное вторьом входом к источнику напряжения развертки. Однако яз- ,, вестный спектрометр имеет низкую чувствительность и точность измерений. ЗО

Целью изобретения является повышег ние чувствительности и точности измерений .

Поставленная цель достигается тем, что в спектрометр введены второй модулирующий генератор, подключенный к . энергоанализатору, второй фазочувствительный детектор и полосовой фильтр, при этом полосовой фильтр и второй Фазочувствительный детектор последовательно включены между усилителем и избирательным усилителем, а второй вход второго фазо.чувствительного детектора соединен со вторым выходом второ э модулирующего генератора.

На чертеже приведена функциональная схема описываемого спектрометра ожеэлектронов .

CneKtpOMeTp содержит источник 1 возбуждения образца, исследуемый образец 2, эпергоанализатор 3, источник 4 напряжения развертки и модулирующий генератор 5, подключенные к знергоанализатору 3, детектор 6 электронов, разделительный конденсатор 7, усилитель 8, избирательный усилитель 9, Фазочувствительный детектор 10, подсоединенный вторым входом к модулирующему генератору 5, регистрирующее уст