Способ определения величины заряда на границе раздела в пленочных структурах Советский патент 1982 года по МПК H01L21/66 

Описание патента на изобретение SU786728A1

Похожие патенты SU786728A1

название год авторы номер документа

Иллюстрации к изобретению SU 786 728 A1

Реферат патента 1982 года Способ определения величины заряда на границе раздела в пленочных структурах

Формула изобретения SU 786 728 A1

SU 786 728 A1

Авторы

Поляков В.И.

Перов П.И.

Авдеева Л.А.

Игнатов Б.Г.

Даты

1982-04-23Публикация

1979-04-20Подача