(19)
SU
(11)
786 728
(13)
A1
(51)
МПК
H01L21/66(2000-01-01)
(21) (22)
Заявка
2755605, 1979-04-20
(22)
дата подачи заявки
1979-04-20
(45)
опубликовано
1982-04-23
(72)
авторы
Поляков В.И.Перов П.И.Авдеева Л.А.Игнатов Б.Г.
Авторы
Поляков В.И.
Перов П.И.
Авдеева Л.А.
Игнатов Б.Г.
Даты
1982-04-23—Публикация
1979-04-20—Подача