Способ получения изображения в электронно-оптической системе Советский патент 1980 года по МПК H01J29/48 

retyccoBoii фокусировки обеими линзами точечного источника, изображение его в этом случае имеет вид штриха. Это уменьшает общую разрешающую способность, а также приводит к уменьшению плотности тока в пятне, поскольку площадь пятна оказывается большей, чем в том случае, когда точечный источник отображается фокусирующей системой в точку.

Цель изобретения - повышение разрушающей способности.

Указанная цель достигается тем, что сфокусированный первой линзой пучок поворачивают против вращения изображения, создаваемого второй лизой, на угол, прямо пропорциональны расстоянию от точечного источника до второй линзы.

На фиг. 1 представлена схема ЭОС продольное сечение,, на фиг. 2 - то

поперечное сечение.

же,

ЭОС содержит катод 1, модулятор 2, ускоряющий электрод 3, электрически соединенный с парой параллельных пластин 4, которые образуют первую цилиндрическую электроакустическую линзу 5 совместно с пластинами 6. цилиндрической линзой является электромагнитная катушка 7. Шюркость симметрии электростатической линзы 5, являющаяся в частном случае и плоскостью, относительно которой фокусируют пучок 8 электронов на выходе первой линзы, повернута относительно вертикали плоскости симметрии магнитной линзы 7 на угол У .

Способ фокусировки осуществляется следующим образом.

В иммерсионном объективе, образованном катодом, модулятором и ускоряющим электродом формируется аксиально-симМетричный расходящийся пучок 8 электронов. Далее этот пучок попадает в область действия электростатической линзы 5 и фокусируется этой лииаой на экране в штрих, который повернут на угол Ч от вертикали к плоскости симметрии магнитной линзы . Затем пучок попадает в одинарную магнитную яинзу, которая осуществляет окончательную фокусировку пучка на экране.

При наличии указанного угла разворота магнитной линзы по ходу вращения изображен 1 1 в ней, пучок на экране фокусируется в виде эллипса с осями, пропорЦ111М1альными коэффициентам линейного увеличения соответствующих линз. Точечный же источник электронов в этом с.пучае отображаетс

на экране в точку.

|.

Угол разворота отсчитывается от вертикали к продольной плоскости симметрии магнитной линзы против вращения изображения в этой линзе. Вращение изображения, обусловленное магнитной линзой, происходит по часовой стрелке на угол - (фиг. 2).

В качестве первой цилиндрической линзы используется электростатическая линза либо магнитная и виде постоянного магнита, либо магнитная в виде многосекционной катушки со встречно включенными секциями. В этом случае плоскость, относительно которой фокусируется пучок, и плоскости симметрии линз совпадают,

5 т. е. линзы развернуты одна относительно другой от угла в 90 строго на величину угла разворота Ч .

Если же первая цилиндрическая линза выполнена в виде одинарной элек(J тромагнитной катушки, то необходимо учитывать поворот изображения, который имеет место в первой линзе.

Технико-экономический эффект изобретения заключается в повышении разрушающей способности электроннолучевых приборов. При этом уменьшается мощность, необходимая для создания требуемой напряженности фокусирующего поля по сравнению с известными способами, где необходимо использование, по крайней мере, двойной фокусирующей катушки со встречным включением токов в секциях.

Формула изобретения 5 Способ получения изображения в электронно-оптической системе, содержащей две цилиндрические линзы, заключающийся в том, что пучок электронов фокусируют в первой линзе 0 в одном направлении, затем фокусируют пучок в другом направлении во второй линзе, являющейся одинарной магнитной линзой, и создают на экране изображение точечного источf ника, отличающийся тем, что, с целью повышения разрешающей способности, сфокусированный первой линзой пучок поворачивают против вращения изображения, создаваемого второй линзой, на угол, прямо пропорциональный расстоянию от точечного источника до второй линзы,

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Lubszynry Н. G. Nevj atE5 electrostatic vidiro.n, Proc.T ЕЕ, V. 116, № 3, p. 339, 1969.

2,Авторское свидетельство СССР по заявке № 2549557/18-25,

кл, Н 01 J 29/48, 05,12.77 (прототип) ,

Фиг.1

фиг. 2