Устройство для контроля разреша-ющЕй СпОСОбНОСТи ОТРАжАТЕльНыХ ди-фРАКциОННыХ РЕшЕТОК Советский патент 1981 года по МПК G01M11/00 

расстояние ,в 1,02-1,1 раза меньше радиуса кривизны зеркала.

На чертеже схематически изображено предложенное устройство, общий вид.

Устройство содержит источник / с линейчатым спектром излучения, образованную двумя ножами спектральную щель 2, объектив в виде вогнутого сферического зеркала 3, держатель 4, в котором выполнено посадочное отверстие для установки контролируемой выпуклой решетки 5.

Плоскость ножей щели 2 установлена перпендикулярно к оси 6 отверстия держателя 4 и с точкой их пересечения совмещен центр кривизны С зеркала, вершина О которого удалена от плоскости ножей на расстояние L, меньшее радиуса кривизны зеркала в 1,02-1,1 раза.

При контроле выпуклая дифракционная решетка установлена в отверстии держателя 4, вершина ее совмещена с центром Р отверстия. Центр кривизны выпуклой поз:;рхности решетки совмещен с центром кривизны С зеркала 3. Направление штрихов решетки ориентировано параллельно длине щели 2.

Для удобства наблюдения спектральных линий щель смещена в дродольно.м направлении на величину, примерно равную 0,8 ее длины, из плоскости, проходящей через центр отверстия Р, вершину О и центр кривизны С зеркала. Изменение положения спектральных линий относительно щели 2 осуществляется путем смещения самой щели механизмом 7 в направлении, перпендикулярном ее длине.

Ход лучей в оптической схеме устройства следующий.

Пучок лучей, выходящий из щели 2, освещенный источником /, направляется зеркалом 3 на проверяемую рещетку 5. В плоскости, перпендикулярной направлению штрихов решетки, угол между направлением лучей и нормалями к решетке равен р. Лучи нулевого порядка спектра ТС О, отразившись от решетки под углом р, 0|братно на зеркало не возвращаются. В соответствии с законами дифракции лучи в выбранном рабочем порядке спектра (/С 1) после отражения от решетки имеют различные направления для различных длин волн II вновь падают на зеркало 3. В плоскости, проходящей через ножи щели 2, зеркалом 3 строится разложенное в линейчатый спектр ее изображение 5, расположенное .выше самой щели. При этом для контролируемой решетки, имеющей п штрихов на миллиметр, длина волны, для которой получается автоколлимационное изображение равна

2sin ,

л , дг- (спектральная линия расположена точно над щелью). Угол отражения лучей от решетки для этой длины волны равен по величине и знаку углу падения р. Спектральные линии с длиной волны больше Я смещены относительно щели в сторону центра кривизны зеркала С, а линии с меньшей длиной волны смещены в противоположную сторону.

Наблюдение спектральных линий осуществляют, например, с помощью, микроскопа.

При контроле из полученного спектра с известным расположением спектральных линий подбирают такие две линии, например с длинами волн Я и A,i, наиболее близко расположенных друг к другу, которые еще можно наблюдать раздельными. Разность двух длин волн этих линий АЯ А,- -Я| дает значение .минимального разрешаемого решеткой спектрального интервала. Исходя из найденной величины АЯ, определяют разрешающую способность выпуклой

дифракционной решетки R -;-.

Формула изобретения

Устройство для контроля разрешающей способности отражательных дифракционных решеток, содержащее источник с линейчатым спектром излучения, входную спектральную щель, образованную двумя ножами, объектив в виде вогнутого сферического заркала, держатель решетки, в котором выполнено посадочное отверстие, о тличающееся тем, что, с целью обеспечения контроля выпуклых отражательных дифракционных решеток, центр кривизны которых совмещен с центром кривизны зеркала, плоскость ножей установлена перпендикулярно к оси отверстия и с точкой их пересечения совмещен центр кривизны зеркала, вершина которого удалена от плоскости ножей на расстояние в 1,02-1,1 раза меньше радиуса кривизны зеркала.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1.Патент США № 3229568, кл. 356-96, 1966.

2.Шишловский А. А. Прикладная физическая оптика. - М., 1961, с. 128-148 (прототип).