Видеоконтрольное устройство дляэлЕКТРОННОгО МиКРОСКОпА Советский патент 1981 года по МПК H01J37/26 

сумматора, выход сумматора соединен с модулятором электропиолучевой трубки, а катоды обеих электроннолучевых трубок соединены с детектором излучений.

На чертеже представлена блок-схема видео контрольного устройства.

В колонне / электронного мнкроскона, где формируется электронный зонд 2, размендены система сканирования с отклоняющими катушками 5 и 4, объект исследования 5 и детектор излучений 6. Система сканирования соединена с выходами блоков формирования амнлитуд строчной 7 н кадровой 8 разверток, ко входам которых нодк,г ючены соответственно генераторы строчной н кадровой разверток 9 н 10. Блокн формировання амилнтуд строчной н кадровой разверток 7 и cS соединены со входами нороговых элсменто.в // и 12, выходы которых нодключены к схеме совиаде1И1я /о. Выход cxeMEii 13 соединен с сумматором 14. Вход ноеледиего соединен также с триггером 15, а выход - с модулятором первой ЭЛТ 16. Выход триггера 15 соединен с модулятором второй ЭЛТ 17 и входами блоков формировання амнлитуд строчной н кадровой разверток 7 и 5 а к его вхо подключены гепе)аторы 9 и 10. Катодь: ЭЛТ 16 17 соединены между собой н с детектором излученнй 6, а отклоняюи111С системы ЭЛТ - с генераторами разверток.

Устройство работает следуюнигм образом.

Электронный зонд 2, управляемый отклоняюпи1мн катун1камн 3 и 4, ска1И рует но объекту 5. Сигнал, образованный при взаимодействии зонда с поверхностью объекта, усиливастея детектором излучгчшй 6 и нреобразустся в вндеоснгиал, оторьи1 ностунает на катоды ЭЛТ 16 н 17. Обе ЭЛТ имеют однна; овь е или близкие размеры экраиов. На первой ЭЛТ 16 формируется изобра/KCHiie илопи1;и1 o6iieKTa (поле), а на ЭЛТ 17 --- мсшзшей (участок), но с повынкммь; хОэфсЬинисмггом у1к ч1 чения.

Эффект уве.шчсння нолучается за счет соответствукмцей коммутан.нн сшчкмпр, : ; 3вертки. На ЭЛТ 16 (на поле объекта ирочерчиваютс;г то.пько четные строки, а на ЭЛТ /7 (на участке объекта) -- нечетные, причем амплитуда сигналов отклонения ирп сканировании участка во столько раз меньнге, во сколько коэффициент уиелнчеиия учаСтка больнге, чем для поля объекта.

Развертываюгцее напряжение с выхода генератора 9 поступает на вход блока формирования амплитуды строчной развсртк; 7, где оно коммутируется н уменьшается по амплитуде через строку. К этому нагтряжепию прибавляется напряжение источника горизонтального смеш,епия, котор Т5ХОДИТ в состав облока 7 п позволяет смещать выбранный участок изображения но горизонтальной оси. Сформированное таким

образом нанрял ение поступает иа вход но(.огового элемента 11.

Нороговый элемент срабатывает iipj равенстве нанряжений разверткн и смеиде И1я II запускает формирователь, который вырабатывает импульс, открываюший схему совпадения 13.

Напряжение разверткн с выхода генератора 10 поступает па вход блока 8, где оно :м)ммутируется II умсшлнаетея но амплнту;:.е через строку, и к нему нрнбавляетея наП)я кенне источника вертикального cMenieпня, который входит в еостав блока 8. Нзмененпе велнчнны этого напряжения позволяет смспдать выбранный участсж изобра/ксиия по вертикальной оен. C(j;opMnpoBaiiпое таким образом напряжение ноетунает па вход noj oroBoro э;1емента 12.

Нороговый элемент 12 апалог; чно эле.л1..--иту // вырабатывает нмну.чье, открывающий схему совпадений 13.

Нанряжепия строчной н кадровой разг.ерток с выходов генераторов 9 и 10 ио.таютея иа отклоняюшие системы ЭЛТ 16 и ЭЛТ 17. Выходной еигнал схемы совнадепнй 13 складывается с нмнулвсом триггера в сумматоре 14 и па выходе последнего ф(pмнpyeтeя нанряжение, которое занирает Э.1Т 16 иа время нечетных етрок и подсвечивает изображение участка во время четных строк. Нмнульсы с третьего выхода триггера 15 запирают ЭЛТ 17 на время четных етрок.

Выполнение ВКУ указанным образом л;;ет возможность исключить коммутацию 15Uлеосигналов с частотой строчной разверткн для лодключення его к ЭЛТ и -мень:п Г . некаження видеосигнала при увел ijciniH скорости развертки.

Формула изобретения

Видеоконтрольное устройство для эле трон:пого мик;юско:па, содержа 11ее детектор

излученнй и две электронно.Пчевые трубкм. ;.:;;;-к1ая ИЗ Которых содержнт катол, модучятор н отклоняющие системы, соеди1кмп1ыс с генераторами строчной н кадрово ii; -M ;-iT,:i, нодключенпыми еоответетвеппо

..() :..(1:,:М блоков (Ьормирования амн;п;.; етпочпой н кадровой разверток, выход.ы к coo;i i;irii: с смггтомой сканирования эло1 Г11онн()1 ;1м;|1оскопа, о т л н ч а ю in е ес я тем, что. е целью уменьшения искаже |11я видеоенпя.. оно спаб/кечо двумя но;);:говым1 э.чсмсчгами, су.мм-Гтопом 1 триггером, причем вчо.чы пороговых эл- мсчгтов гоеднпеиы е иы.хопамп блоков формирования амилнтул етрочной и кадровой разверток, а 1 ыходы - со схемой совиадепия. подключечной к первому входу сумматора, 15ХОД триггера еоедннен с выходами генераторов строчной и кадровой разверток, а его выходы - со входами блока формировання

амнлитуд строчной н кадровой разверток,

модулятором первой электроннолучевой трубки и вторым входом сумматора, выход сумматора соединен с модулятором второй электроннолучевой трубки, а катоды обеих электроннолучевых трубок соединены с детектором излучений.

Источники информации, принятые во внимание нри экспертизе:

1.Патент Франдии № 2335945, кл. Н 01 J 37/26, опублик. 1977.

2.Патент Японии № 51-36150, кл. 99 С 303, опублик.1976 (прототип).