(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УГЛОВЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ОБЪЕКТА
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Интерференционное устройство для измерения угловых перемещений | 1990 |
|
SU1770741A1 |
| ИНТЕРФЕРОМЕТРИЧЕСКОЕ ИЗМЕРИТЕЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО (ВАРИАНТЫ) | 2005 |
|
RU2307318C1 |
| Интерферометр для измерения углового и линейного положения объекта | 1987 |
|
SU1506269A1 |
| Интерферометр для контроля прямолинейности объекта | 1988 |
|
SU1597528A1 |
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УГЛОВЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ОБЪЕКТА | 2015 |
|
RU2601530C1 |
| СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ УГЛА ПОВОРОТА ОБЪЕКТА И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 1993 |
|
RU2094755C1 |
| Устройство для измерения угла поворота объекта | 1981 |
|
SU1060938A1 |
| ОПТИКО-МЕХАНИЧЕСКИЙ ИЗМЕРИТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ | 1999 |
|
RU2159925C1 |
| Двухлучевой интерферометр для измере-Ния лиНЕйНыХ пЕРЕМЕщЕНий | 1979 |
|
SU823846A2 |
| Интерферометр для измерения перемещений | 1980 |
|
SU934212A1 |
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения угловых перемещений объекта, например подвижного зеркала дефлектора.
Известен двухлучевой интерферометр для измерения линейных перемещений, в измерительном плече которого под некоторым углом к световому лучу установлены два параллельных зеркала. Интерферометром можно измерять угловые перемещения, если оба зеркала закрепить на подвижном объекте .
Недостаток известного интерферометра заключается в явно выраженной нелинейной зависимости изменения раности оптических ходов лучей от угла поворота объекта.
Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является . устройство для измерения угловых перемещений объекта, содержащее источник света, двухлучевой интерферометр, в одном плече которого установлен укрепленный на объекте оптический элемент для параллельного смещения луча, и Приемный блок .
Недостаток устройства заключается в нелинейной зависимости изменения разности оптических ходов лучей от угла поворота объекта и в низкой чувствительности измерения.
Целью изобретения является повышение чувствительности и линейности измерения.
Поставленная цель достигается тем, что устройство снабжено идентичным оптическим элементом, жестко связан0ным с первым и установленным в другом плече интерферометра.
На чертеже изображена принципиальная схема устройства для измерения угловых перемещений объекта.
Устройство содержит источник 1
5 света, светоделитель 2, два жестко связанных идентичных оптических элемента 3 и 4 для параллельного смещения луча,- опорные отражатели 5 и 6 и
0 приег гный блок 7.
Работает устройство следующим образом
Параллельный пучок света от источника 1 света делится светоделителем
5 2 на две ветви. В каждой ветви лучи, пройдя через оптические элементы 3 и 4, параллельно смещаются и далее, отразившись от опорных отражателей 5 и 6, возвращаются по первоньчгшьному светоделитель 2, интерфери0
