Вакуумный сорбционный насос Советский патент 1981 года по МПК F04B37/02 

(54) ВАКУУМНЫЙ СОРБОЦИОННЫЙ НАСОС

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известны вакуумные сорбционные насосы с циркулирующим сорбентом, содержащие корпус со спиральнымлазом на внутренней поверхности, разделенный на камеры сорбции и десорбции экраном, плотно прилегающим к внутренней поверхности корпуса, и охлаждаемый заливной экран 1.

Известный насос работает следующим образом.

Сорбент поступает в камеру сорбции при температуре, близкой или равной температуре хладаге га, и поглощает откачиваемый газ в количествах, определенных,изотермой сорбции, относящейся к данной фиксированной температуре сорбента. Для обеспечения поступления сорбента в камеру сорбции при температуре хладагента охлаждаемый заливной экран вынесен далеко за пределы этой камеры. Сорбент сразу после регенерации в камере десорбции и задолго до поступления в камеру сорбции вступает в тепловой контакт с хладагентом и принимает его температуру.

Недостатком устройств, в которых используется криоадсорбционная откачка при

фиксированной низкой температуре, является то,,что сорбция в наиболее активных порах с минимальными радиусами и наибольщими теплотами сорбции, обеспечивающая предельно низкие равновесные давления, осуществляется с замедленной кинетикой, не реализуя весь сорбционный объем пористой системы сорбента. В результате насос работает с уменьщенной быстротойоткачки, не обеспечивает максимально возможный ресурс работы и минимальное пре-дельное давление.

Цель изобретения - повыщение эффективности откачки.

Указанная цель достигается тем, что нижний торец охлаждаемого экрана расположен в плоскости, равноудаленной от торцов разделительного экрана.

На чертеже показан предлагаемый сорбционный насос, разрез.

Насос содержит корпус 1 со спиральным пазом на внутренней поверхности, разделенный на камеры 2 и 3 сорбции и десорбции экраном 4, плотно прилегающим к внутренней поверхности корпуса 1, и охлаждаемый заливной экран 5, нижний торец которого