Детектор электронов для рентгеновского микроанализатора Советский патент 1983 года по МПК H01J49/48 H01J37/26 

00 4 01

о:

оо

i

J

t h I I f m L} I

I I. a fIf1

U

1 1 I I1

Ii

I I J HI

V. 1

I 1

Ir с I,:

rr 1 Ji 1I

I1 1 J

MA P

1:ЛОо-.;е де:ч.:кт-:;)ра ;; )uiM(;pe oo :. : .н;;ко;х; м;-и-;;.о;п-,.,:и;г ;:-

iJc;.-;;.:o .ис:(.1 рсгистрируюто- им

:i,;;.:i:i-:-;it:Hi;H . что ЬК1 пс;эБОЛяет исс. :.: ::,/ . :остра с:гиоипос ра..:к; Л;--;:; -:, (з.,:еде, pi,HTe::-pdjibribJ(-i :;}7ч:, измоьят-- ycjiGunn оо йгцеиия ка расгpfjMbJX и;и,ЗражонняХ обьцкта.

;a;i6(.ij;o:; 6j:t3i o;i к предллтмемо-.ГуV и i рГ:ЙС г и 1)Л 1еТС;Я КО -И;Тру i-rJIH я

детскторг , годсрка1Цс; 1 ко;1.:екторь; 3.ioKTi O:;c: i и лоржател;-, i ;;на :о:и .:ктг5 :-а ;:а /;;олс1 гаются на Д5.:р/ка е л 1х t: лслстор: iipep.CTaHJiF-oj ;:oO( криллал ...ЛЛЛЯТСРЫ - а держатели 1Л- т кие свстоноды, Это уотрой1.л;л(1 лаял;-,быть -ллО л, ловако л.пя рц ; истрлл-лч О1ражелао.1 о потока лод днумл л..-. лс;.,ллдо5акид лрос;а.а1-л-:лглл: :io:Tv р-а :;п};л:л.:с лония ;о:ола о:;.5а::;-Л-л л,;,.гронсЕ .;таТкали :/ка а1Лл:1И ;ров кал:; л-л:орол на , /; /.: , , а.1:а- : i.Cjbyr; догитльн (ГД.глд-кЛ . гр;,,ло4 iaji ,;-iH лзь;кренчя а:лл;; HaKJa-ал 11-амлой ловепхлостл ;л..лллл тора ii аа; ра-;;)Слию з.екдрО д;о. :jOi,;a; uiai-.);:iTejib o б-тль-ичя лдлю ; ричед-л-- 1 :дамдры лл -тек.гор:;, .: ,..;д . коaipbU; -« до ),акю; у аал :л л .i д;1сдо .деасктОрод к оарачпчача.;,-,пространстве между полюсным иак дкд ником объектной .линзы и образом дто сужает диапазон вариации телолного /1да отбора электронов, Цедыо изобретения является рда-ширение дтиапазона измерений и снижекне их трудоемкости при исс.ледовании углово1о распределении отраженных электронов за счет повы1аекдя ;кесткости фиксации в простлан-стве ;-сол:лекторов, уменьшения их геометрических размхеров и увеличение их числа. :;:l; i.-io;«t-i :, лс:. л, j г i; а-, f; ч лм-: ;л-л Г--Л--Т ли , Клнс рукгл-л- клсд,,-лл-а . ;и:ч :;л( и тл .;лоп-.л ;;: ли чрл ана да-а:л л : Д|.;,.:;ол ;-,л . а.-.ч мо-.: л::гдл:л;д;и1л , :.,; ; -.:;:д, а л . л i а; ;--) л :.:ал;л. л; .ас- -л/ . л л.х .:i.-,. л KOJJ, ачлллл- „ . . ..; :; 1лл;лдл .. оСлл; ллл.л ;, , -.- ,.-;.,,. ;v.a:cj:u а-; -а :.;лал : , алл;лла.- .. ал ;.:.:; л;:,а , ал1-;ллр-;дзагллj : - - : Л)ли - - - а-а.Л ,- аЬДл.-ли i д.-1лд.а;-л: аа:.; -.л :л i. ..а а aaacaiai - - л:еал-лаза . л ;огдд длл- га лар,л л, :л-а;,.;Л:аал. ;да;лл: Г-:л:,ао:,; ,; гл.л а,ал:л: а aoacuiat-a гЛ; ,1ал ; ард, , а ,л:; loj.a.ix: са-лла;; лодаг-псч в ci-iaTCN ретиотрации, налрилад. }Д1 аидеокоитрольное услоой- ство. 1лалддд оис1 ое из гуче;-ие, аса 5ужд;О;да:-.е а образце G, через отьеротия в пластине 2 в регд; д;а очсллл одектро«о--р. связи о тем, коа зтру к;;,ия содержит значи:дддд1ое ко;да(ество коллсчтороз, укредденньх жестко относите.д ьчо д;:д л друга/ ока .1:,,лозпопяет; исследовать пространственаое р/лч ределенис отрааке ных эт образча апоктронон;; измерять их

интегральный поток; изменять условия освещенности объекта на растровых электронно-оптических изображениях путем подключения соответствующего набора коллекторов к системе регистрации.

Количество пластин-коллекторов ti связано с величиной тока электроного зонда, чувствительностью регистрирующего устройства и коэффициентом передачи с{, следующим образом:i

n-f Re,,

где R - фактор обратного рассеяния электронов.

Если ток электронного зонда равен , а коэффициент передачи коллектора, чувствительность регистрирующего устройства 10°А, то при R 0,5 п 50. Очевидно, для получения надежного сигнала величина п должна быть уменьшена в два раза, т.е. максимальное число пластин не должно превышать 25 шт, В общем случае для каждого конкретного приб-ора максимальное число п должно оцениваться особо.

Устройство изготовлено и испытано в работе на рентгеновском микроl5 анализаторе МАР-2.

ДЕТЕКТОР ЭЛЕКТРОНОВ ДЛЯ РЕНТГЕНОВСКОГО МИКРОАНАЛИЗАТОРА, содержащий коллекторы электронов и держатель, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона измерений и снижения их трудоемкости при исследовании углового распределения отраженных электронов, держатель выполнен в виде полусферы с отверстиями для прохождения рентгеновского излучения и электронного зонда, а коллекторы - в виде пластин, причем , последние расположены на внутренней поверхности держателя через электроизолирующие подложки параллельно этой поверхности. с