метра 5 Фабри-Перо, сканирующего интерферометра 6 Фабри-Перо, установленных параллельно друг другу, фотоприемника 7, установленного за рбщей частью апертуры интерферометров, фотоприемника 8, установленного за свободной частЬю апертуры сканирующего интерферометра, выход этого фотоприемника соединен с входом усилителя-формирователя 9,выход которог соединен с входом ключа 10 запуска системы измерения дробной части по- рядка интерференции сканирующего интерферометра 11, на входы которой подается сигнал с фотоприемника 7 и напряжение, пропорциональное изменению разности хода сканирующего интерферометра 6.
Устройство работает следующим образом.
Излучение монохроматического источника 1 зеркалами 2 расщепляется на два пучка, один из которых, проходя через линзу 3, преобразуется в расходящийся пучок, который освещает общую часть апертуры интерферометров 5 и б, Другой пучок преобразуется коллиматором 4 в пучок с плоским волновым фронтом, который освещает свободную часть апертуры сканирующего интерферометра 6. Интенсивность этих пучков, прошедших через интерферометры, регистрируется фотоприемниками 7 и 8.
Максимуму сигнала с фотоприемника 7 соответствует момент при сканировании интерферометра 6, когда угловые диаметры интерференционных колец обоих интерферометров равны. Максимуму сигнала с фотоприемника 8 соответствует момент при сканировании интерферометра 6, когда дробная част порядка интерференции сканирующего интерферометра равна нулю. В момент максимума сигнала с фотоприемника 8 усилитель-формирователь 9 формирует импульс, открывающий ключ 10 запуска и система 11 регистрирует величину, пропорциональную изменению разности хода (HO) интерферометра 6. При дальнейшем увеличений напряжения сканирования интерферометра 6 система 11 регистрирует величины Ц и Uj соответствующие изменению разности хода в моменты максимумов сигнала с фотоприемника 7.
Дробная часть стабильного ийтерферометра выражается через эти величины как
UH - Uo
2
и, - и,
Точность измерения определяется точностью наведения на интерференционный максимум, например, при модуляционном наведении относительная погрешность лежит в пределах 10 . Увеличение светосилы максимально при равенстве раз ностей хода сканирующего и стабильногоинтерферометров, при этом регистрируемый поток составляет 1/N от падающего {N - острота аппаратной функции интерферометров) независимо от углового размера источника излучения.
Таким образом, использование изобретения дает следующие преимущества: увеличение светосилы при использовании интерферометров Физо, увеличение светосилы по сравнению с известными устройствами регистрации независимо от углового размера
источника излучения при использовании интерферометра Фабри-Перо; повышение точности по сравнению с известными устройствами отсчета дробной части порядка интерференции стабильного инт.ерферометра.
Формула изобретения Устройство для отсчета дробной
части порядка интерференции стабиль.ного интерферометра, содержащее параллельно установленные стабильный и перестраиваемый интерферометры с фотоприемниками на выходе и измеритель дробной части порядка интерференции, отличающеес я тем, что, с целью увеличения точности измерений и упрощения конструкции, перестраиваемый интерферометр установлен между стабильным интерферометром и его фотоприемником, и в него введены усилитель-формирователь и ключ запуска, при этом выход . фотоприемника стабильного интерфеf рометра подключен к измерителю дробной части непосредственно, а фотоприемник сканирующего интерферометра подключен к нему через усилительформирователь и ключ запуска.
Источники информации,
принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР 566147, кл. G 01J 3/16, 12.01.76. 2. Соломах Д.А., Торопов А.К.
Измерение длин волн лазеров. Квантовая электроника , т,4, 1978, № 8, с. 1646-1648 (прототип).
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Измеритель длин волн | 1982 |
|
SU1052851A1 |
Измеритель длин волн | 1987 |
|
SU1441189A1 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ С НАНОМЕТРОВОЙ ТОЧНОСТЬЮ В БОЛЬШОМ ДИАПАЗОНЕ ВОЗМОЖНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ | 2012 |
|
RU2502952C1 |
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ДЛИН | 2014 |
|
RU2561771C1 |
УСТРОЙСТВО КОНТРОЛЯ ПОЛОЖЕНИЯ ОБЪЕКТА НАНО- И СУБНАНОМЕТРОВОЙ ТОЧНОСТИ | 2012 |
|
RU2502951C1 |
УСТРОЙСТВО ОТСЧЕТА ДРОБНОЙ ЧАСТИ НОРЯДКА ИНТЕРФЕРЕНЦИИ | 1973 |
|
SU362468A1 |
Устройство для измерения разности хода в эталоне фабри-перо | 1975 |
|
SU658411A1 |
СПОСОБ ОПТИЧЕСКОГО ДЕТЕКТИРОВАНИЯ ПРИСОЕДИНЕНИЯ ВЕЩЕСТВЕННОГО КОМПОНЕНТА К СЕНСОРНОМУ МАТЕРИАЛУ НА ОСНОВЕ БИОЛОГИЧЕСКОГО, ХИМИЧЕСКОГО ИЛИ ФИЗИЧЕСКОГО ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ (ВАРИАНТЫ) | 2000 |
|
RU2181487C2 |
Способ определения оптической толщины сканирующего интерферометра Фабри-Перо и устройство для его осуществления | 1982 |
|
SU1075074A1 |
Устройство с многолучевым спектральным фильтром для обнаружения метана в атмосфере | 2016 |
|
RU2629886C1 |
Авторы
Даты
1981-07-15—Публикация
1979-07-27—Подача