Способ защиты электронно-лучевой технологической установки и устройство для его осуществления Советский патент 1981 года по МПК H02H7/10 H02M1/18 

дам порогового элемента и блока АПВ, входы которого соединены с дат чином тока луча в технологической камере,

На чпртеже представлена схема устроПства защиты.

Система питания ЭЛТУ содержит трансформатор 1 питания с выведенной нейтралью вторичных обмоток, тиристорный преобразователь - управляемый мостовой выпрямитель 2 с заземленным полюсом и фильтр 3. ЭЛТУ содержит электронную пушку (ЭЛП) 4, диафрагмы системы 5 вакуумного перепада, лучевод 6, технологическую камеру 7 и объект 8 нагрева.

В рабочем объеме пушки расположен датчик 9 электронного луча, а в технологической камере - датчик 10 ионного тока. Источник 11 по дцерживает отрицательный потенциал в цепи датчикаионного тока. Источник 12 задает уровень срабатывания порогового элемента 13, выход которого связан с блоком автоматического повторного включения (АПВ) 14. Коммутирующие конденсаторы 15 подключен к зажимам вентильной обмотки трансформатора. Нулевая точка конденсаторов через дроссель 16 и полностью управляемый высоковольтный коммутаТ9Р 17 подключена к заземленному полюсу моста. Обратный диод 18 шунтирует коммутатор, управляющий электрод которого через блок 19 управления соединен с выходом АПВ. Система управления выпрямителем соединена с одним из выходов блока АПВ. Системы откачки подключены через патрубки 21.

При возникновении взрывного перепаде давления-в технологической камере начинает расти ионный ток с датчика 10 и после превышения тл уставки элемент 13 формирует сигнал, который поступает на блоки 14, 19 и 20 В технологической камере происходит импульсное повышение давления, причем перепад давления с запаздыванием в сотни микросекунд распространяется в сторону ЭЛП. Одновременно с приходом сигнала на блок 20 (для снятия импульсов управления с выпрямителя 2 открывается коммутатор 17 и вступает в работу блок искусственной коммутации. Один из конденсаторов 15, гальванически связанный с проводящим в данный момент вентилем катодной группы начинает перезаряжаться по контуру, образованному дросселем 16 и коммутатором 17. В результате перезаряда конденсатора открывается диод 18 и напряжение обратной полярности запирает открытый вентиль катодной группы моста 2. Ограничение величины перенапряжений на выходе моста, обусловленных емкостной коммутацией, осу1дествляется электронным коммутаа-ором 17. Рабочее напряжение

на коммутаторе не превышает номинальное напряжение источника питания, а обратное напряжение снято диодным блоком 18. Полное время срабатывания коммутатора примерно в два раза . |Меньше времени запаздывания распространения перепада давления.

Самовосстанавливающиеся случайные пробои в ЭЛП не приводят к срабатыванию защиты, так как ток их огранип чен сглаживающим реактором, а время восстановления электрической прочности пушки достаточно мало, чтобы не влиять на качество технологического процесса.

Способ и устройство обеспечивают

5 защиту ЭЛТУ с малыми потерями, что повышает КПД установки, надежность и селективность защиты по отношению к технологическим и случайным пробоям.

0 Формула изобретения

1,Способ защиты электронно-лучевой технологической установки, содержащей питающуюся от тиристорного

5 преобразователя электронную пушку, соединенную вакуумным трактом с технологической камерой, при котором контролируют ток электронного луча и уровень вакуума и при -достижении ими заданных значений отключают

0 ускоряющее напряжение на стороне выпрямленного тока преобразователя, а через заданное время производят автоматическое повторное включение напряжения, отличающийся тем,

5 что, с целью повьпиения надежности и селективности, с помощью дифференциальной откачки создают вакуумный перепад вдоль оси электронного луча, ток луча контролируют в технологической камере и при достижении им

заданного значения отключают ускоряющее напряжение путем запирания тиристоров преобразователя.

2.Устройство для осуществления

5 способа по п. 1, отличающеес я тем, что, с целью повышения надежности, оно снабжено блоком искусственной коммутации тиристоров преобразователя, выполненным на электg ронном коммутаторе с обратным диодом, дросселе и гасящих конденсаторах, силовые зажимы которого подключены ко вторичным обмоткам питающего трансформатора и заземленному полюсу

преобразователя, а управляющие входы этого блока и система управления преобразователем подключены к выходам порогового элемента и блока АПВ, входы которых соединены с датчиком тока луча в. технологической камере.

0 Источники информации,

принятые во внимание при экспертизе

1.Патент США 3.609.200, 313-31, 1970.

2.Патент Франции 1.518.463, кл. Н 05 В 7/OOf 1970.