Объектив телецентрический для ультафиолетовой области спектра Советский патент 1981 года по МПК G02B13/14 G02B13/22 

(54) ОБЪЕКТИВ ТЕЛЕЦЕНТРИЧЕСКИЙ Изобретение относится к области оптического приборостроения,а именно к линзовым репродукционным объективам и может быть использовано, главным образом, в генераторах изображения или микрофотонабор1 ых установках Известны объективы, состоящие из , шести компонентов, из которых три склеенных и три одиночных ij. Эти объективы имеют недостаточно высокое качество изображения. Из известных объективов наиболее близки по технической сущности к изобретению является объектив для ультрафиолетовой области спектра, содержащий диафрагму и восемь компонентов, семь из которых однолинзовые, приэтом, третий, выполненный в виде мениска, вогнутостью обращенного к изображению, и четвертый - отрицательные, а остальные компоненты положительные причем первый, второй пятый и седьмо выполнены в виде двояковыпуклых линз и имеющий разрешение в центре поля порядка 50 ЛИН/ММ, а на краю поля порядка 20 ЛИН/мм 2. Однако для производства интеграль ных схем указанное разрешение оказывается недостаточным. Для этой цели необходимы объективу, работающие в

ДЛЯ УЛЬТРАФИОЛЕТОВОЙ ОБЛАСТИ СПЕКТРА ультрафиолетовой области спектра с полем порядка 3 мм и разрешением по полю свыше 1500 лин/мм, при этом в пространстве изображений должен быть обеспечен телецентрический ход лучей, а дисторсия не должна прейышать О,1 мкм. Целью изобретения является увеличение разрешакицей способности объектива и повышение ортоскопичности. Указанная целр достигается тем, что в объективе телецентрическом для ультрафиолетовой области спектра, содержащем диафрагму и восемь компонентов, семь из которых однолинзовые, при этом третий, выполненный в виде мениска, вогнутостью обращенного к изображению, и четвертый - отрицательные, а остальные компоненты положительные, .причем первый, второй и седьмой выполнены в виде двояковыпуклых линз, а пятый - мениск, вогнутостью обращенный к изображению, диафрагма установлена за четвертым компонентом, который выполнен в виде двояковогнутой линзы, при этом шестой компонент выполнен в виде двояковыпуклой линзы, восьмой в виде мениска, вогнутостью обращенного к изображению, а седьмой компонент дополнен отрицательным мениском, образующим с двояковыпуклой линзой -двухсклеенную линзу.

На чертеже изображена оптическая схема.объектива.

Объектив состоит из восьми компонентов 1-8. Компоненты 1 и 2 - положительные двояковыпуклые линзы. Компонент 3 - отрицательный мениск, ком 1понент 4 - двояковогнутая отрицательная линза, компонент 5 - положительный мениск, вогнутостью обращенный | изображению, компонент б - двояковыпуклая линза, компонент 7 -склеен из двояковыпуклой положительной линзы 8 и отрицательного мениска 9, компонент 10 выполнен в виде положительHoio толстого мениска. Апертурная диафрагма 11 расположена между компонентами 4 и 5.

Для объектива с увеличением 0,1 числовой апертурой в пространстве .изображений 0,5, полем изображения |диаметрбм 3 мм,волновая аберрация ino всему полю меньше 0,1 дисторсия не превышает ОД что позволяет считать объектив практически безаберрационным. Разрешающая способность такого объектива определяется теоретическим пределом и составляет 3500 ЛИН/МИН, что позволяет получать элементы с минимальными размерами .

Использование такого объектива позволяет обеспечить переход к производству интегральных схем с субмикг ронными элементами.

Формула изобретения Объектив телецентрический для ультрафиолетовой области спектра, содержай{ий диафрагму и восемь компонентов, семь из которых однолинзовые при этом третий, выполненный в виде мениска, вогнутостью обращенного к изображению, и четвертый - отрицательные, а остальные компоненты положительные-, причем первый, второй и седьмой выполнены в виде двояковыпуклых линз, а пятый - мениск вогнутостью обращенньай к изображению, отличающийся тем, что, с целью увеличения разрешающей способности и повышения ортоскопичности, диафрагма установлена за четвертым компонентом который выполнен в виде двоЯ(Ковогнутой линзы, при этом Шестой компонент выполнен в виде двояковыпуклой линзы, восьмой - в виде мениска, вогнутостью обращенного к изображению, а седьмой компонент дополнен отрицательным мениском, образующим с двояковыпуклой ЛИНЗОЙ двухсклеенную линзу.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Авторское свидетельство СССР № 276456, кл. G 02 В 21/02, 1969.

2.Авторское свидетельство СССР

№ 527682, кл. G 02 В 11/00,1975(Прототип) .