Светосильный объектив для ультрафиолетовой области спектра Советский патент 1981 года по МПК G02B13/14 

Изобретение относится к оптике, к классу светосильных объективов и может быть использовано в микроэлектронике как проекционный объектив в установках басшаблонной технологии. Известен светосильный объектив, содержащий шесть компонентов: двояковыпуклую линзу, положительный мениск, обращенный вогнутостью к изображению, отрицательную линзу, склеен ную из двояково -нутой и двояковыпуклой линз, двояковыпуклую линзу, отрицательный мениск, обращенный вогнутостью к изображению и отрицательную линзу Смита 1 . Известен также объектив, содержащий четыре компонента: три первых из которых склеенные положительные, при чем первый из них склеен из двояковыпуклой линзы и отрицательного мениска, обращенного в5 гнутостью к пре мету, а два других склеены из двояко выпуклой и-двояковогнутой линз, а четвертым служит одиночная отрицател ная линза Г2 . Недостатками данных систем является небольшое поле зрения, небольшо размер кадра (диагональ кадра равна 21. мм) , невозможность работать в ультрафиолетовой СУ4)) области спектра, что ограничивает выбор источника света в установках басшаблонной технологии. Наиболее близкимпо технической сущности к изобретению является объектив, содержащий два компонента, первый из которых состоит из двух линз, причем передняя выполнена склеенной из двояковыпуклой и двояковогнутой линз, а задняя - положительный мениск, обращенный вогнутостью к изображению, а второй компонент содержит одиночную положительную линзу Гз. Недостатком этой системы является малое поле зрения 2ai 12, малый разрез кадра (диагональ кадра 21 мм), невозможность получения достаточно аберрационной коррекции в УФ области спектра. Цель изобретения - увеличение угла поля зрения с одновременным улучшением качества аберрационной коррекции . Поставленная цель достигается тем,, что светосильный объектив для ультрафиолетовой области спектра, содержащий два компонента, первый из кото- рых выполнен из двух линз, а второй включает одиночную положительную линзу, снабжен расположенным за вторыЛ комдонентом третьим компонентом, выполненным из одиночных положитель ого мениска, вогнутостью обращенного к изображению, двояковогнутой и плосковогнутой линз, при этом первая линза первого компонента выполнена одиночной, а вторая его линза - отрицате: ьная, а второй компонент дополнен двумя одиночными положительны ми линзами, последняя из которых выполнена в виде мениска, ВОГНУТОСТЬЮ обращенного к изображению. На чертеже представлена принципиальная оптическая схема объектива. Объектив содержит три компонента 1-3. Компонент 1 состоит из двух лин 4 и 5,линза 4 - положительная,линза отрицательная.Компонент 2 содержит д положительные линзы б и 7 и мениск 8 обращенный вогнутостью к изображению Компонент 3 выполнен из положительно го мениска 9 и двояковогнутой 10 и плосковогнутой 11 линз. . Компонент 1 является коррекционны и служит для коррекции комы и сферической аберрации BIобъективе, что и определяет форму его линз: - линза 4 - одиночная двояковыпуклая, а линза 5 - отрицательная плосковогнутая. Компонент 2 является силовым и обеспечивает увеличение поля зрения и размера кадра объектива за счет то го, что позади его первой положитель ной линзы 6 размещены положительные линзы 7 и 8, последняяиз которых линза 8 выполнена в виде мениска, об ращенного вогнутостью к изображению, что позволяет получить поле зрения 2ш 30° при относительном отверстии объектива 1;1 и увеличить диагональ кадра до 75 мм, кроме того, компонент 2 служит для коррекции аберраций широких наклонных пучков, а также астигматизма. Компонент 3 является силовым и ко рекционным Одновременно.В качестве силового он обеспечивает увеличение угла поля зрения и размера кадра в объективе при высоком относительном отверстии, а как коррекционный - слу жит для исправления остаточной отрицательной кривизны поля зрения и тонкой коррекции комы в широких наклонных пучках, это достигается тем, что он выполнен из положительного мениска 9, двояковогнутой 10 и плосковогнутой 11 линз. Все линзы объектива выполнены одиночными и материалом для них,служит кварцевое стекло с п. 1,47455, и 67,96. Это объясняется необходимостью работы объектива в УФ области спектра. Объектив обладает следующими техническими преимуществами: iдаeличeниe поля зрения в 2,5 раза. увеличением размера кадра более чем в 3 раза, приотносительном отверстии 1:1 и улучшенном качестве аберрационной коррекции для УФ участка спектра. Формула изобретения Светосильный объектив для ультрафиолетовой области спектра, содержащий два компонента, первый из которых выполнен из двух линз, а второй, включает одиночную положительную линзу, отлич ся тем, что, с целью увеличения угла поля зрения с одновременным улучшением качества коррекции аберраций, он снабжен расположенным за вторым компонентом третьим компонентом, выполненным из, одиночных положительного мениска, вогнутостью обращенного к изображению, двояковогнутой и плоскрвогнутой линз, при этом первая линза первого компонента выполнена одиночной, вторая .его линза - отрицательной, а второй компонент дополнен двумя одиночными положительными линзами, последняя из которых выполнена в виде мениска, вогнутостью обращенного к изображению. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Патент Франции № 2339872, кл. G 02 В 9/06, опублик. 1977. 2.Авторское свидетельство СССР по заярке 2536533/18-10, Q 02 В 9/64, 1977. 3. Авторское свидетельство СССР № 634222, кл. G 02 В 11/34, 1977 (прототип) .

I

,1

11