(54) МОНОХРОМАТИЧЕСКИЙ ОБЪЕКТИВ ДЛЯ ПРОЕКЦИОННОЙ
ФОТОЛИТОГРАФИИ
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Монохроматический объектив | 1982 |
|
SU1045203A1 |
| Двухлинзовый монохроматический объектив | 1980 |
|
SU1103180A1 |
| Монохроматический объектив десятикратного увеличения | 1981 |
|
SU995053A1 |
| Симметричный проекционный объектив | 1985 |
|
SU1254402A1 |
| Осветитель для проекционной оптической печати | 1987 |
|
SU1444694A1 |
| Проекционный телецентрический объектив | 1983 |
|
SU1118947A1 |
| ОБЪЕКТИВ С ТЕЛЕЦЕНТРИЧЕСКИМ ХОДОМ ЛУЧЕЙ | 2006 |
|
RU2305857C1 |
| Голографический коллиматорный прицел для стрелкового оружия | 2020 |
|
RU2740205C1 |
| Симметричный проекционный объектив | 1989 |
|
SU1730605A1 |
| Проекционный объектив | 1990 |
|
SU1704127A1 |
Изобретение относится к оптическому приборостроению и может найти применение в проекционной фотолитографии. Известен ряд линзовых и зеркальнолинзовых объективов, предназначенных для целей проекционной фотолитографии И Однако эти объективы содержат большое количество компонентов - lO-16 линз, что создает сложности расчета, изготовления и эксплуатации объектов и приводят к высокой стоимости их. Наиболее близким к предлагаемому i является мсиохроматический объектив. Состоящий из одной апланатической голографической линзы, обладающей минималь ными цля голо графических линз аберрациями 12} Голографическая линза выполнена в виде зонной пластины с радиусами г колец, описываемыми въфажением Г 1 где - фокусное расстояние пластинър, Я - длинй волны света; h - порядковый кольца. Предельные поля, обеспечиваемые такой линзой, при волновых аберрациях, не превъпиающих 0,25 X , составляют величину2ii l,3cA-f, где 2, - диаметр поля изображения , (А - разрешение,f - фокусное расстояние линзы; Я - длина, волны. Однако малъю поля изображения, полу- чаемъю с такой линзой, ограничивают возможности использования ее для проекционной фотолитографии. Цель изобретения - увеличение поля изображения объектива с сохранением его въгсокого качества. Поставленная цель достигается тем, то, в монохроматический объектив, содеращий голографическую линзу в виде зоной пластинки, введены вторая аналогичая Голографическая линза и апертурная
диафрагма, причем радиусы г копец голографических пинэ подчиняются уравнению
p ,
- фокусное расстояние линзы;
где X - длина волны света; п - порядковый номер кольца; линзы расположены на фокусном paccToj НИН друг от друга, а апертурная диафрагма расположена между голографическими линзами на одинаковых расстояниях от них.
На чертеже изображена оптическая схема обьектвва.
Обьектйв, сфокусированный на объект 1, содернснт гопографическае линзы 2 и 3 н апертурную 4. Отображение, ппосжости объекта 11роисходит в плосясость изображения обьекта 5.
Объект 1 расположен в фокальной плоскости первой гопографической линзы 2, расстояние мужду гопографическими линзами 2 и 3 равно фокусному расстоянию линзы, разрешение всей системы определено апертурной диафрагмой 4, расположенной между линзами 2 и 3 на одинаковом расстоянии от них. Обе голографические линзы 2 и 3 вьтолнены в виде зон11ЫХ пластинок с радиусами колец
1
{И
где - фокусное расстояние линзы, Я - длина волны света; П - порядковый номер кольца.
/
/
Плоскость изображения обьекта 5 расположена в фокальной плоскости второй голографической линзы 3.
Формула изобретения
Монохроматический объектив для проекционной фотолитографии, содержащий
голографическую линзу в виде зонной гшаотинки, отличающийся тем, что с целью увеличения поля с сохранением вьюокого качества изображения, в него введены вторая аналогичная голографическая линза и апертурная диафрагма, причем радиусы п„ колец голографических линз подчиняются уравнению
где - фокусное расстояние линзы Я - длина волны света, Y - порядковый номер кольца; Линзы расположены на фокусном расстоянии друг от друга, а апертурная диа4рагма расположена между голографичеокими линзами на одинаковых расстояниях от них.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
(
/
У
JL
