Криогенный насос Советский патент 1982 года по МПК F04B37/08 F04B37/02 

(54) КРИОГЕННЫЙ НАСОС

1

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям криогенных вакуумных насосов.

Известен криогенный насос, содержащий корпус, расположенный в нем сосуд с высококипящим хладагентом, на наружной поверхности которого закреплен сорбент, и размещенную концентрично сосуду емкос гь с низкокипящим хладагентом 1.

Недостатком известного насоса является невысокий предельный вакуум.

Цель изобретения - увеличение предельного вакуума.

Указанная цель достигается тем, что сосуд и емкость имеют общую стенку.

На фиг. 1- представлен насос, продольный разрез; на фиг. 2 разрез А-А на фиг. 1.

Криогенный насос содержит корпус 1, расположенный в нем сосуд 2 с высококипящим хладагентом, на наружной поверхности которого закреплен сорбент 3, и размещенную концентрично сосуду 2 емкость 4 с низкокипящим хладагентом, причем сосуд 2 и емкость 4 имеют общую стенку 5.

Насос работает следующим образом.

В сосуд 2 заливается высококипящий хладагент, например жидкий азот. По мере охлаждения сорбента 3, последний поглощает газ, поступающий в корпус 1. Вследствие наличия общей стенки 5 одновременно

5 с охлаждением сорбента происходит и охлаждение емкости 4. При охлаждении емкости 4 до температуры жидкого азота понижении давления до величины порядка 7-10 тор в емкость 4 заливается изко,Q кипящий хладагент, например, жидкий гелий. В результате емкость 4 работает как конденсационный насос, а сорбент 3, охлажденный до температуры ниже температуры жидкого азота, как сорбционный насос с увеличенной сорбционной способностью сорбента.

Наличие общей стенки позволяет насосу увеличить предельный вакуум.

Формула изобретения

20

Криогенный насос, содержащий корпус, расположенный в нем сосуд с высококипящим хладагентом, на наружной поверхности которого закреплен сорбент, и размещенную концентрично сосуду емкость с низкокипящим хладагентом, отличающийся тем, что, с целью увеличения предельного вакуума, сосуд и емкость имеют общую стенку.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР № 160563, кл. F 04 В 37/02, 1962.