Устройство для интерферометрического измерения деформаций объектов Советский патент 1982 года по МПК G01B11/16 

I

Изобретение относится к оптическим, средствам измерения деформаций объектов и может быть использовано для интерференционного контроля деформаций объектов с произвольной структурной поверхности.

Известно устройство для интерферометрического измерения деформаций объектов, содержаи1ее расположенные вдоль оптической оси источник когерентного света, коллиматор, линзу и непрозрачный экран с фильтрующим отверстием, размеренный в фокальной плоскости линзы .

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и достигаемому эффекту является устройство для интерферометрического измерения де-формаций объектов, содержащее расположенные вдоль оптической оси источник когерентного света, коллиматор,, линзу и непрозрачный экран с фильтрующим отверстием, размещенный в фокальной плоскости ;..

Недостатком этих устройств является невозможность выделения компонент деформации и смещения объекта, Кроме того, при анализе полученных интерферограмм не удается установить наличие, характер, величину, и направление деформации.

Цель изобретения - повышение точности и чувствительности измерения деформации объекта.

10

Указанная цель достигается тем, что устройство снабжено прозрачным экраном с маской, размеи енным в фокальной плоскости линзы, а непрозрачный экран, с фильтрующим отверстием

ts размещен на расстоянии от фокальной плоскости линзы, превышающем двойное фокусное расстояние.

На чертеже представлена схема устройства.

20

Устройство содержит расположенные последовательно вдоль оптической оси источник 1 когерентного света Слазер), коллиматор 2, спекл-голог..X3 93

рамму 3, линзу i, производящую фу- ; рьепреобрайование, прозрачный экран 5 с маской в фокальной точке, перекрыв ащей нулевой 1 1орядок, подвижный непрозрачный экран 6 с фильтрую14им отверстием 7, размещенный на расстоянии от фокгтьной плоскости, превьоиащей двойное фокусное, и фотоаппарат 8, регистрирующий интерферограмму.

Устройство работает следующим образом. .

Монохроматический.когерентный свет от Лазера 1 расширяется коллиматором 2. Плоская световая волна, выходящая из коллиматора 2, падает йа спекл-голограмму 3 исследуемого объекта, полученную методом двойной экспозиции: первая экспозиция в исходном состоянии объекта, вторая после его деформации. Рассеянное спекл-голограммой 3 световое поле проходит через линзу l и подвергается фурье-преобразованию. Экран 5 с маской в фокальной плоскости подавляет недифрагированный пучок. Пропущенное отверстием 7 дкрана 6 излучение в виде интерферограммы, характеризующее деформацию, наблюдается и регистрируется фотоаппаратом 8 Перемещение непрозрачного экрана 6 с отверстием

54

7 изменяет чувствительность измерения деформации объектов.

Таким образом, предлагаемое устройство позволяет измерить величину и направление деформации объекта, повысить точность .и чувствительност ее измерения.

Формула изобретения

Устройство для интерферометрического измерения деформации объектов, содержащее расположенные вдоль оптической оси источник когерентного света, коллиматор, линзу и непрозрачный экран с фильтрующим отверстием, отли чающееся тем, что, с целью повышения точности и чувствительности, оно снабжено прозрачным экраном с маской, размещенным в фокальной плоскости линзы, а непрозрачный экран с фильтрующим отверстием размещен на расстоянии от фокальной плоскости, превышающем двойное фокусное расстояние.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Патент США fP 3639039, кл. 390-162, 1972.

2,Орансон М, Оптика спеклов, М., Мир, 1930, с.Эб (прототип).