Устройство для измерения коэффициента отражения плоской поверхности образцов Советский патент 1982 года по МПК G01B9/02 

выполняется с возможностью поворота вокруг оси, совпадающей с осью поворота платформы и проходятей через плоскую поверхность размещаемого на площадке образца, приемник излучения установлен на платформе, кото рая совместно с площадкой ориентирована так, что полупрозрачные зерк ла йбразуют резонатор интерферометра Фабри-Перро. На чертеже приведена принципиаль ная схема одного из возможн ых вариантов устройства для измерения коэф фициента отрешения плоской поверхности образцов. Устройство содержит источник 1 излучения, например., в виде лазера, плоское полупрозрачное зеркало 2, площадку 3, предназначенную для раз мещения образца 4, платформу 5 с .ра положенным на ней плоским полупрозрачным зеркалом б, приемник 7 излучения, электронный блок 8 обработки сигналов, приводы 9 и 10 позорота, датчики 11 и 12 поворота, приводы 13. Зеркало 2 установлено неподвижно перед площадкой 3 в ходе лучей от источника 1 перпендикулярно его оптической оси. Зеркало б и приемник 7 излучения установлены на платформе 5. Площадка. 3 и платформа 5 выполнены с возмоу ностью поворота вокруг оси, пересекающей оптическую ось ис точника 1 под прямым углом-и проходящей через плоскую поверхность раз мещаемого на пло 11;адке 3 образца 4. Площадка 3 и платформа 5 ориенти рованы так, что зеркала 2 и б совместно с плоской поверхностью образ ца 4 образуют резонатор интерфероме ра Фабри-Перро. Приемник 7 излучения подключен к электронному блоку 8 обработки сигналов, который электрически связан с приводами 9, 10 и 13 и датчиками 11 и 12. Привод 9 и датчик 11 связаны с площадкой 3, привод 10 и датчик 12 связаны с платформой 5, приводы 13 связаны с зеркалом б. Устройство работает следующим об разом. Излучение от источника 1 проходи полупрозрачное зеркало 2, падает на плоскую поверхность образца 4 под углом d и после отражения от нее поступает на полупрозрачное зеркало б. В результате многократного отражения излучения от зеркал 2 и б и плоской поверхности образца 4, образующих резбнатор интерферометра Фабри-Перро, на входе приемника 7 формируется многолучевая интерференционная картина. Зеркало б устанавливают в положение, при котором сигнал J с приемника 7 принимает максимальное значение. Величина этого сигнала однозначно связана с угловым коэффициентом отражения плоской поверхности образца 4. Перед началом измерений платформу 5 устанавливают в положе ше, при котором зерксша .2 и б располагаются параллельно друг другу (на чертеже показано пунктиром и регистрируют величину сигнала Зд при отсу«пствии измеряемого обраида. Угловой коэффициент / д of отражения плоской поверхности образца 4 для длины волны Л используемого излучения определяют по формуле Р -d. liLfol ,d р р 1 . где f - коэффициент отражения зеркал 2 и 6. Устройство позволяет проводить измерения и путем сравнения с эталоном. В этом случае коэффициент отражения определяют по формуле й) где 3, величина сигнала с приемника 7 при установке на площадку 3 эталона; коэффициент отражения эталона при угле d падения излуче-ния и длине волны Л . Устройство позволяет проводить измерения также и в автоматическом режиме. При этом электронный блок 8 обрагботки сигнсшов, используя поступающую в него информацию с датчиков 11 и 12 и приемника 7, управляет работой приводов 9, 10 и 13, которые ориентируют элементы устройства требуемйм образом. Устройство позволяет проводить измерения как в видимой, так и в инфракрасной области спектра. Снабжение известного устройства платформой и двумя полупрозрачными зеркалами повышает чувствительность, а следовательно, и точность измерения за счет многократного отражения излучения от плоской поверх юсти измеряемого образца. Формула изобретения Устройство для измерения коэффииента отражения плоской поверхноси образцов, содержащее источник злучения, площадку, предназначеную для размещения образца в ходе учей от источника, приемник излуения и подключенный к нему электроный блок отработки сигналов, о т