Устройство для измерения малых зазоров между двумя поверхностями,одна из которых прозрачная Советский патент 1982 года по МПК G01B11/14 

1

Изобретение относится к контрольнонзмеритепьной технике и может €ыть использовано для измерения малых зазоров между двумя поверхностями, в частности для измерения динамического неконтакта между магнитной голоыюй и поверхностью диска.

Цель изобретения - обеспечение изме- . рения зазоров между поверхностями различной формы.

Указанная цель достигается тем, что устройство снабжено втйрым светоделителем, расположенным на пути отражен- ного от первого светоделителя светового потока и делящим свеговой поток на две ветви, двумя светофильтрами для пропускания световых потоков определенных частот, каждый из которых располсисен 20 в одной из этих ветвей, а в качестве осветителя использован источник света излучающий световой поток не менее двух определенных частот.

На чертеже изображена приншшиаль- , ная -схема устройства для измерения малых зазоров между, двумя поверхностями одна из которых прбзрачная.

, Устрой(ство содержит последовательно расположенные осветитель 1 - источник света, излучающий световой поток, не менее двух определенных частот, т.е. полихроматический световой поток, первый светоделитель 2, второй светоделитель 3, светофильтры 4 и 5 для пропускания световых потоков определенных частот к блок регистрации интенсивности световых потоков, включающий фотодетекторы 6 и 7 и двухканальный осциллограф 8..

Устройство работает следующим образом.

Излучаемый источником света полихроматический световой поток проходит через первый светоделитель 2 и направляется на измеряемый зазор, образуемый поверхностями 9 и 10. Отраженные этими поверхностями интерферирующие лучи первым светоделителем 2 направляются на второй светоделитель 3, который направляет их через светофильтры 4 и 5, каждый из которых пропускает свет определеннор частоты не фотодетекторы 6и 7. Сигналы от фотодетекторов 6 и 7поступают на двухканальный осциллограф 8. Зарегистрированные моментные величины световых потоков являются исходными данными для определения по известному алгоритму абсолютной момент нрй величины зазора, в точке падения луча от источника света. Так как на измеряемый зазор направляется вместо двух лучей одаш луч света, т ощибка из-за разной длины их оптических путей в зазоре исключается полностью. Следовательно, форма поверхностей, о&разукяцих зазор, не оказывает никакого влияния на точность измерения. 95 24 Формула изобретения Устройство для измерения малых зазоров между двумя поверхностями, одна из которых прозрачная, содержащее последовательно расположенные осветитель, светоделитель и блок регистрации интенсивности световых потоков, отличающееся тем, что, с целью измерю- ния зазоров между поверхностями различной формы, оно снаб(жено вторым светоделителем, расположенным на пути отраженного от первого светоделителя светового патока и делящим световой пот.ок на две ветви, двумя светофшшграми лпя пропусканий световых потоков определенных частот, каждый из которых расположен в одной из этих ветвей, а в качестве осветителя использован источник света, излучающий свеяговой поток не менее двух определенных частот