Устройство для контроля толщины полупрозрачных объектов Советский патент 1982 года по МПК G01B9/02 

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к тол-, щиномерам для измерения толщины стенок полупрозрачных объектов. Известно устройство, содержащее источник излучения, оптическую и ска нирующую системы, фотоприемники и электронный тракт, реализующее процесс контроля по расстоянию между световыми метками fl . Однако недостаточная точность из мерения +0,1 мм и возможность только контроля отклонений толщины от номинала, а не измерение толщины в диапазоне величин , сильно сужает область использования прибора. Наиболее близким к изобретению п технической сущности и достигаемому эффекту является устройство для кон роля толщины полупрозрачных объекто содержащее источник излучения и последовательно установленные по ходу луча объектив, диафрагму, приемник излучения и счетчик импуль сов 2 .. Недостатками известного устройст ва являются сложность и низкая точность измерения,. так как необходимо визуально производить счет перемеща ющихся и деформирующихся интерференционных полос. Целью изобретения является увеличение точности контроля. Поставленная цель достигается тем, что устройство для контроля толщины полупрозрачных объектов, содержащее источник излучения и последовательно установленные по уходу лучей объектив диафрагму, приемник « излучения и счетчик импульсов, снабжено зеркгшом, установленным в переднем фокусе объектива с возможностью вращения вокруг его оптической оси и под острым углом к ней, вторым зеркалом, установленным между объективом и приемником излучения под острым углом к оптической оси объектива, а диафрагма выполнена с возможностью изменения площади сечения пучка. На чертеже приведена схема устройства для контроля толщины полупрозрачных объектов. Устройство содержит источник 1 излучения, который установлен перед зеркалом 2 с приводом 3. Объектив 4 установлен на фокусном расстоянии от зеркала 2 перед диафрагмой 5 с приводом 6. Объект 1 устанавливается за диафрагмой 5 н зеркалом 8, за которьгм в