Устройство для многопозиционного измерения давления разреженного газа Советский патент 1982 года по МПК G01L21/34 

1

Изобретение относится к контроль но-измеритаельной технике, а именно к устройствам для. многопозиционного измерения давления разреженных газов.

Известно устройство для многопозиционного измерения давления на базе вакуу мметра ВМБД-1, содержащее , в каждой точке измерения магнитный электроразрядный преобразователь, балластный резистор, выпрямитель и повышающий трансформатор. В этом устройстве длинная низковольтная линия соединяет первичную обмотку трансформатора с источником напряжения и измерителем разрядного тока, находящимися на контрольном пульте, а коммутатор соединяет выход аналоговых сигналов измерителей разрядного тока с регистрирующим прибором Cl.

Недостатком этого устройства является наличие емкостных токов, создающих фон, эквивалентный давлениям порядка 0,1-1 Па. Компенсация емкостных токов позволяет расширить рабочий диапазон до 10 .

Наиболее близким к предлагаемому является устройство для многопозиционного дистанционного измерения давления, содержащее электро- разрядные пр,еобразователи, источник высокого напряжения и коммутатор. Каждый из преобразователей с после10довательно соединенным балластным резистором установлен в своей точке измерения. С помощью подвижных контактов цепочка из преобразователя и резистора соединяется с двумя шина15ми, одна из которых высоковольтная соединена с общим источником высокого напряжения, а другая, состоящая из отрезков между разными точка20 ми измерений, соединена с контрольной аппаратурой. В промежутке между отрезками установлены зануленные отрезки шин, исключающие ложный отсчет при смене позиций и погасание разря3.9 да на позициях, где не требуется измерение .давления 2. Недостатком известного устройства является инерционность измерения дав ления, связанного с тем, что при переходе манометрического преобразователя с зануленной шины на позицию измерения давления требуется относительно большое время для установления необходимого входного напряжения, соответствующего разрядному току. Цель изобретения - повышение быстродействия измерения давления разреженного газа. Указанная цель достигается тем, что в устройство для. мнопопозиционно го измерения давления разреженного газа введены источник напряжения и вентильные элементы, количество кото рых равно количеству преобразователей, причем вентильные элементы вклю чены последовательно с преобразовате лями, одноименные электроды которых соединены и подключены к источнику напряжения, полярность которого одинакова с полярностью напряжения на входе измерителя, а потенциал больше потенциала на входе измерителя, при этом переключатель коммутатора соеди нен с измерителем разрядного тока, а коммутируемые точки - с соответствующими цепями между преобразователем и вентильным элементом. Покушение быстродействия измерения давления разреженного газа дости гается в этой схеме незначительным и менением потенциала в линии измерени разрядного тока при подключении к из мерителю различных преобразователей. На чертеже приведена принципиальная электрическая схема устрой ства. Устройство содержит магнитные эле троразрядные преобразователи 1, высоковольтный источник 2 напряжения, высоковольтную линию 3, измеритель k разрядного тока, вентильные элементы 5 прямой проводимости, установленные между каждым из преобразователей и зануленным источником 6 на пряжения, допускающим прохождение встречного тока, и коммутатор 7, сое диняющий измеритель k с цепями преобразователь -. вентильный элемент. Устройство работает следующим образом. Высокое напряжение от источника 2 подается по линии 3 на манометри-, 4 ческие преобразователи 1 через балластные резисторы 8, расположенные вблизи преобразователей 1 во избежание релаксационных колебаний при длинной линии. Безразрывный опрос обеспечивается подпором напряжения от источника 6, более высоким, чем напряжение на входе измерителя k при одинаковой полярности зануленных выводов источника напряжения и измерителя разрядного тока. Например, при контроле разрядного тока измерительным блоком вакуумметра ВМВ-8, входное напряжение которого достигает +17 8, напряжение подпирающего щеточника должно быть около +20 В. Более высокое напряжение источника не оправдано из-за роста обратных ТОКОВ, При подсоединении измерителя к цепи преобразователь 1 - вентильный элемент 5 разрядный ток идет по измерительной цепи, а ток от источника 6 не проходит через вентильный элемент 5, включенный навстречу, В линий, отключенной от измерителя Л, разрядный ток проходит через вентильный элемент 5 и источник 6, допускающий прохождение встречного тока. Безразрывная система коммутаций обеспечивает непрерывную работу всех преобразователей. Эффективность этого устройства состоит в увеличении быстродействия измерения давления разреженного газа по сравнению с известным устройством. Формула изобретения Устройство для многопозиционного измерения давления разреженного газа, содержащее магнитные электроразрядные преобразователи, присоединенные к источнику высокого напряжения, измеритель разрядного тока и коммутатор, отличающееся тем, что, с целью повышения быстродействия, в него введены источник напряжения и вентильные элементы, количество которых равно количеству пр.еобразователей, причем вентильные элементы включены последовательно с преобразователями, одноименные электроды которых соединены и подключены к источнику напряжения,,полярность которого одинакова с полярностью напряжения на входе измерителя, а потенциал больше потенциала на

входе измерителя, при- этом переключитель коммутатора соединен с измерителем разрядного тока, а коммутируемые точки - с соответствукяцими. цепями между преобразователем и вентильным элементом.

Э6056Ц«

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

. Депонированная рукопись ;Р .N 1525 в институте Электроника. }2. Электронная промышленность.

Научно-технический сборник. 1975, № 9, с. 38-51 (прототип).

-.-j-,

fn

i: