СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ БЛОКА ИНДИКАТОРА Российский патент 1994 года по МПК H01J31/12 

Изобретение относится к электронной и радиотехнической промышленности, в частности к индикаторной технике, и может быть использовано при разработке и производстве цифровых, буквенно-цифровых и мнемонических жидкокристаллических (ЖКИ) и вакуумных люминесцентных (ВЛИ) индикаторов.

Основой конструкции ЖКИ и ВЛИ являются стеклянные пластины (заготовки) на поверхности которых формируют электроды индикаторного устройства. Способ формирования электродов (токопроводящего рисунка), например, методом фотолитографии, включает: очистку стеклянных пластин (заготовок); напыление на них токопроводящих пленок; нанесение маскирующего материала-фоторезиста; сушку; проявление фоторезиста; травление токопроводящих пленок; удаление фоторезиста.

Основными недостатками данного способа являются его трудоемкость из-за большой доли ручного труда, а также применение экологически вредного и дорогостоящего фоторезиста.

Известен также способ изготовления блока индикатора, который включает следующие операции: очистку стеклянных пластин (заготовок); нанесение на них токопроводящей металлической пленки; нанесение маскирующего материала (пастокомпозиции на основе графита) методом трафаретной печати; отжиг; избирательное травление металлической пленки; промывку в воде; сушку.

Недостатками способа являются сравнительно низкая разрешающая способность - способ позволяет получить прецизионные рисунки с размером элементов порядка 100 мкм, следовательно, не может быть применен при формировании рисунка с размером элементов менее 100 мкм; ограниченные технологические возможности - способ нельзя применять в производстве ЖКИ, где требуется полное удаление маскирующего материала. При способе - прототипе это выполнить невозможно, так как маскирущий материал (пастокомпозиция на основе графитового порошка) после отжига не удаляется ни химическим, ни механическим путем.

Цель изобретения - повышение разрешающей способности и расширение технологических возможностей способа.

Это достигается тем, что предложен способ изготовления блока индикатора, включающий нанесение на стеклянные заготовки с напыленным токопроводящим слоем маскирующего материала, избирательное травление токопроводящего слоя и удаление маскирующего материала.

Новым в предлагаемом способе является: маскирующий материал наносят методом прямой плоской печати; в качестве маскирующего материала используют полиграфическую краску, при этом маскирующий материал наносят слоем толщиной не более 8 мкм, а температура и время закрепления слоя соответственно не превышают 200^оС и 60 мин.

Предлагаемый способ реализован, например, при изготовлении блоков ЖКИ. В качестве подложки при изготовлении сигнальной и знаковой пластин индикатора ИЖЦ8-8/7 использовали стеклянную заготовку размером 105х130х0,4 мм. Стеклянную заготовку перед нанесением токопроводящей пленки обезжиривали в растворе поверхностно-активного вещества и перекисно-аммиачной смеси с последующей промывкой в воде и сушкой. Затем на заготовку напыляли токопроводящую пленку окиси индия, поверх которой методом прямой плоской печати наносили маскирующий материал - полиграфическую краску толщиной не более 8 мкм. После нанесения слоя краски заготовку подвергали сушке (закрепление красочного слоя) под действием, например, ИК-излучения при температуре, не превышающей 200^оС в течение не более 60 мин. Нанесенный слой краски служил надежной маской при последующем избирательном травлении окисно-индиевой пленки в соляной кислоте. После поведения процесса травления краску удаляли в слабощелочном растворе с последующей промывкой заготовок в воде и сушкой. Готовые сигнальные и знаковые пластины ЖКИ передавали на сборку. Изготовление блоков ВЛИ аналогично.

Использование предложенного способа обеспечивает по сравнению с известным способом (прототипом) следующие преимущества: расширяются технологические возможности способа за счет того, что разрешающая способность применяемого метода прямой плоской печати значительно выше трафаретной печати (по прототипу - 100 мкм, по предлагаемому способу - 30 мкм. Применение в качестве маскирующего материала полиграфической краски делает способ более универсальным и позволяет применять его в производстве не только ВЛИ, но и ЖКИ, где полное удаление маскирующего слоя - обязательное условие.

Область использования: индикаторная техника. Сущность изобретения: включает нанесение на стеклянные заготовки с напыленным токопроводящим слоем маскирующего материала, избирательное травление токопроводящего слоя и удаление маскирующего материала. С целью повышения разрещающей способности и расширения технологических возможностей маскирующий материал наносят методом прямой плоской печати, в качестве маскирующего материала используют полиграфическую краску, при этом маскирующий материал наносят слоем толщиной не более 8 мкм, а температура и время закрепления слоя не превышают 200°С и 60 мин. соответственно.

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ БЛОКА ИНДИКАТОРА, включающий нанесение на стеклянную подложку с напыленным токопроводящим слоем маскирующего материала методом печати, его закрепление, избирательное травление токопроводящего слоя и удаление маскирующего материала, отличающийся тем, что, с целью повышения разрешающей способности процесса и расширения его технологических возможностей, в качестве маскирующего материала используют полиграфическую краску, а в качестве метода печати - прямую плоскую печать, причем краску наносят слоем толщиной не более 8 мкм, а температура и время закрепления слоя не превышают 200^oС и 60 мин соответственно.