Показать метаданные Скрыть метаданные

(19)

(11)

2 077 823

(13)

(51)

МПК

G03F7/00(1995-01-01)

(21) (22)

Заявка

94030767/28, 1994-08-17

(22)

дата подачи заявки

1994-08-17

(45)

опубликовано

1997-04-20

(72)

авторы

Резникова Е.Ф.Прохорова С.А.Басова Т.В.Назьмов В.П.Аюпов Б.М.Игуменов И.К.Кригер Ю.Г.

(73)

патентообладатели

Институт Неорганической Химии Со Ран

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РИСУНКА НА ПОВЕРХНОСТИ Российский патент 1997 года по МПК G03F7/00

Похожие патенты RU2077823C1

название	год	авторы	номер документа
МИКРОСТРУКТУРНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ДЛЯ СЕЛЕКЦИИ ЭЛЕКТРОМАГНИТНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ И СПОСОБ ИХ ИЗГОТОВЛЕНИЯ	2013	Генцелев Александр Николаевич Гольденберг Борис Григорьевич Кузнецов Сергей Александрович	RU2548945C2
ЛИТОГРАФИЧЕСКАЯ МАСКА ДЛЯ LIGA-ТЕХНОЛОГИИ И СПОСОБ ЕЕ ИЗГОТОВЛЕНИЯ	2007	Генцелев Александр Николаевич Гольденберг Борис Григорьевич Елисеев Владимир Сергеевич Кондратьев Владимир Иванович Петрова Екатерина Владимировна Пиндюрин Валерий Федорович	RU2350995C2
Способ изготовления рентгенолитографического шаблона	2019	Генцелев Александр Николаевич Дульцев Федор Николаевич	RU2704673C1
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЛИТОГРАФИЧЕСКОЙ МАСКИ ДЛЯ LIGA-ТЕХНОЛОГИИ	2007	Генцелев Александр Николаевич Гольденберг Борис Григорьевич Кондратьев Владимир Иванович Петрова Екатерина Владимировна	RU2350996C1
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ LIGA-ШАБЛОНА	2010	Генцелев Александр Николаевич Зелинский Александр Георгиевич Кондратьев Владимир Иванович	RU2431882C1
СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ СТРУКТУР В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ	1999	Тригуб В.И. Плотнов А.В. Потатина Н.А. Ободов А.В.	RU2145156C1
СПОСОБ ПРОВЕДЕНИЯ ТРАФАРЕТНОЙ РЕНТГЕНОВСКОЙ ЛИТОГРАФИИ	2007	Генцелев Александр Николаевич Гольденберг Борис Григорьевич Елисеев Владимир Сергеевич Кондратьев Владимир Иванович Петрова Екатерина Владимировна Пиндюрин Валерий Федорович	RU2344453C1
Способ формирования рельефных изображений	1984	Валиев Камиль Ахметович Великов Леонид Васильевич Душенков Сергей Дмитриевич Леонтьева Ольга Васильевна Махмутов Рим Хакимович Прохоров Александр Михайлович	SU1196796A1
Способ изготовления микрофлюидных биочипов	2020	Генцелев Александр Николаевич Варанд Александр Викторович	RU2773809C2
Электронорезист	1978	Мартынова Г.Н.	SU701324A1

Реферат патента 1997 года СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РИСУНКА НА ПОВЕРХНОСТИ

1. Способ получения рисунка на поверхности, включающий нанесение функционального рентгеночувствительного слоя на подложку, экспонирование рентгеновским излучением через рентгеношаблон, проявление скрытого позитивного и/или негативного изображения, отличающийся тем, что в качестве функционального рентгеночувствительного слоя наносят вакуумно-термическим методом слой фталоцианинов металлов.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что для получения позитивного изображения проводят экспонирование слоя фталоцианинов металлов рентгеновским излучением дозой 3 - 5 кДж/см³.

3. Способ по п.1, отличающийся тем, что для получения негативного изображения проводят экспонирование слоя фталоцианинов металлов рентгеновским излучением дозой 30 - 40 кДж/см³.

RU 2 077 823 C1

Авторы

Резникова Е.Ф.

Прохорова С.А.

Басова Т.В.

Назьмов В.П.

Аюпов Б.М.

Игуменов И.К.

Кригер Ю.Г.

Даты

1997-04-20—Публикация

1994-08-17—Подача