УСТАНОВКА ДЛЯ ИСПЫТАНИЙ НА РАДИАЦИОННУЮ СТОЙКОСТЬ Российский патент 1998 года по МПК G01R31/26 

Изобретение относится к радиационной испытательной технике и может быть использовано при проведении испытаний полупроводниковых приборов (ППП) и интегральных схем (ИС) на стойкость к воздействию импульсного ионизирующего излучения (ИИИ). Под стойкостью понимается способность объекта испытаний - ППП или ИС сохранять в заданных пределах значения параметров в процессе воздействия ИИИ.

Известны способ и установка для испытаний радиоизделий на стойкость к воздействию ионизирующих излучений (патент РФ N 2036480, кл. G 01 R 31/26, 31/28, 1995). Способ испытаний включает гамма-нейтронное облучение радиоизделий и измерение их параметров после облучения. Облучают радиоизделия статическим гамма-излучением в диапазоне мощностей доз, не приводящих к потере их работоспособности, определяют коэффициент K радиационной чувствительности, после чего облучают радиоизделие статическим гамма-нейтронным излучением заданной плотности, затем облучают радиоизделие статическим гамма-нейтронным излучением с плотностью потока нейтронов, обеспечивающих набор требуемого интегрального потока за время облучения, удаляют радиоизделие из зоны облучения, измеряют значения изменений критериального параметра в разные моменты времени.

Для реализации этого способа необходима установка, содержащая источник гамма-нейтронного излучения, измеритель плотности потока нейтронов и часы. Эти способ и устройство не обеспечивают испытаний ППП и ИС на стойкость к воздействию ИИИ.

Известны способ и установка для испытаний ИС на стойкость к воздействию гамма-излучений (патент РФ N 2005308, кл. G 01 R 31/28, 31/26, 1993). Способ испытаний включает облучение ионизирующим гамма-излучением ИС, определение необходимой для испытаний дозы гамма-излучения, после чего производят отжиг ИС при температуре 400^oC в течение одного часа, контролируют выбранные параметры объекта испытаний и получают экспериментальную зависимость вероятности отказа от дозы гамма-излучения.

Для реализации этого способа необходима установка, содержащая источник гамма-излучения, измеритель плотности потока этого излучения, печь для отжига ИС и часы. Эти способ и устройство не обеспечивают испытаний ИС на стойкость к воздействию ИИИ.

Наиболее близкой к изобретению является установка для проведении испытаний ППП и ИС на стойкость к воздействию ионизирующего излучения (журнал Электроника (перевод с английского), том 57. N 23 (704). 1984, с. 15-17). Эта установка содержит источник рентгеновского излучения с энергией 10 кэВ, лазер с длиной волны, равной 1,06 мкм, коллиматор рентгеновских лучей, формирователь импульсного лазерного излучения длительностью от 15 до 100 нс и частотой следования 10 имп/с при энергии пучка лазера 350 мДж, что эквивалентно дозам облучения 2•10¹² рад/с. Прототип не обеспечивает автоматизации процесса испытаний ППП и ИС на радиационную стойкость к воздействию импульсного ионизирующего излучения, равномерности этого излучения по поверхности объекта испытаний, регулирования интенсивности излучения и управления состояниями ППП и ИС в процессе испытаний.

Техническим результатом изобретения является устранение недостатков прототипа, а именно уменьшение времени испытаний за счет их автоматизации, увеличение достоверности результатов испытаний за счет равномерности излучения и регулирования его интенсивности.

Этот результат достигается за счет того, что установка для испытаний на радиационную стойкость содержит лазерный излучатель (ЛИ), модулятор лазерного излучателя (М), набор светофильтров (СФ) разной пропускной способности, выравниватель амплитудного распределения лазерного излучения (АВИ), блок контроля интенсивности лазерного излучения (БКЛИ), плату подключения испытываемого объекта (ПИО) с контактной панелью и числом контактов не менее числа выводов испытываемого объекта (ИО), блок согласования и коммутации (БСК) ИО, управляющее вычислительное устройство (УВУ) с встроенным программным обеспечением, контроллер связи (КС), устройство запоминания параметров импульсов (УЗИ), по меньшей мере один электроизмерительный прибор и источник электропитания ИО.

Лазерный излучатель имеет вход сигнала модуляции и выход лазерного излучения. Модулятор имеет вход сигнала запуска и два выхода: сигнала синхронизации и сигнала модуляции. БКЛИ имеет вход лазерного излучения и выход контрольного сигнала интенсивности лазерного излучения. ПИО имеет контактную панель с числом контактов не менее числа выводов ИО, к которым во время испытаний подключаются выводы ИО с одной стороны и выходы БСК источников питания и входы измерительных приборов с другой стороны. БСК имеет входы напряжений источников электропитания ИО и выходы измеряемых сигналов ИО, а также буферированный выход сигнала состояния ИО. УВУ имеет встроенное программное обеспечение, входы и выходы сигналов управления и информации в формате интерфейса УВУ. КС имеет входы и выходы сигналов управления и информации. УЗИ имеет входы сигнала синхронизации, контрольного сигнала БКЛИ и буферированного сигнала состояния ИО, а также входы и выходы сигналов КС.

Вход лазерного излучателя соединен с выходом сигнала модуляции модулятора, излучение лазера направлено через светофильтр и АВИ в сторону БКЛИ и ПИО. На оси лазерного излучения установлен либо БКЛИ, либо ПИО с исследуемым объектом. Выход БКЛИ соединен с входом УЗИ контрольного сигнала БКЛИ. Контакты ПИО соединены одни с входами БСК сигналов ИО, а другие с выходами БСК напряжений электропитания. Выход буферированного сигнала состояния ИО соединен с одноименным входом УЗИ. Входы и выходы УВУ соединены с соответствующими выходами и входами КС, другие входы и выходы КС соединены с соответствующими выходами и входами УЗИ. Выходы источников электропитания ИО соединены с соответствующими входами БСК, а входы электроизмерительных приборов соединены с соответствующими выходами БСК.

Отличительными признаками изобретения являются набор светофильтров (СФ), амплитудный выравниватель лазерного излучения (АВИ), блок контроля лазерного излучения (БКЛИ), плата подключения исследуемого объекта (ПИО), блок согласования и коммутации (БСК), управляющее вычислительное устройство (УВУ), контроллер связи (КС), устройство запоминания параметров импульсов (УЗИ), источники электропитания ИО, электроизмерительные приборы, электрические связи введенных устройств и пространственное расположение светофильтра, АВИ, ПИО и БКЛИ.

На фиг. 1 приведена структурная схема установки для испытаний на радиационную стойкость; на фиг. 2 - структурная схема блока контроля интенсивности лазерного излучения; на фиг. 3 - конструкция платы подключения исследуемого объекта (вид сверху); на фиг. 4 - структурная схема блока согласования и коммутации; на фиг. 5 - структурная схема контроллера связи и его соединение с управляющим вычислительным устройством; на фиг.6 - структурная схема устройства запоминания параметров импульсов; на фиг. 7 и 8 - принципиальная схема блока согласования и коммутации; на фиг. 9 и 10 - принципиальная схема контроллера связи; на фиг. 11 и 12 - принципиальная схема устройства запоминания параметров импульсов; на фиг. 13 - структурная схема алгоритма работы установки.

На фигурах 1 - лазерный излучатель (ЛИ), 2 - модулятор лазерного излучателя (М), 3 - светофильтр (СФ), 4 - выравниватель амплитудного распределения лазерного излучения (АВИ), 5 - блок контроля интенсивности лазерного излучения (БКЛИ), 6 - плата подключения исследуемого объекта (ПИО), 7 - блок согласования и коммутации (БСК), 8 - управляющее вычислительное устройство (УВУ), 9 - контроллер связи (КС), 10 - устройство запоминания параметров импульсов (УЗИ), 11 - электроизмерительный прибор (ЭП) 12 - источник электропитания испытываемого объекта (ИЭ), 13 - фотодиод (ФД), 14 - предварительный усилитель (ПУ), 15 - плата для крепления контактной панели (ПКП), 16 - контактная панель (КП), 17- контактный разъем (штырь) (РШ), 18 - контактный разъем (гнездо) (РГ), 19 - коммутационное поле (КМП), 20 -датчик-измеритель тока (ДИТ), 21 - повторитель напряжения (ПН), 22 - блок управления напряжениями питания (БУНП) испытываемого объекта, 23 - внешний высокочастотный контактный разъем (ВВР), 24 - внешние разъемы (ВР), 25 - схема сопряжения с интерфейсом (ССИ), 26 - асинхронный приемопередатчик (АПП), 27 - схема опознания контроллера (COК), 28 - порты контроллера и регистры конфигурации портов (ПКРКП), 29 - схема сброса контроллера (ССК), 30 - схема регистрации формы сигнала (СРФС), 31- блок управления (БУ), 32 -регистры данных и состояния (РДС), 33 - дешифратор адреса (ДША), 34 - регистр управления (РУ).

В качестве лазерного излучателя 1 может быть применен серийно выпускаемый лазерный излучатель, например, типа "ИЗ-30". Лазерный излучатель должен допускать работу в режиме модулируемой добротности и иметь вход для сигнала модуляции.

Модулятор 2 лазерного излучателя может быть выполнен по известным схемам автогенераторов высоковольтных импульсов напряжения наносекундной длительности, иметь управляющий вход, например кнопку запуска, и два выхода: сигнала синхронизации и сигнала модуляции.

Светофильтры 3 должны быть выполнены оптическими, нейтральными и сменяемыми.

Выравниватель 4 амплитудного распределения лазерного излучения может быть выполнен в виде рассеивателя из матового стекла с защитным цилиндром, уменьшающим потери излучения на отражение.

Блок контроля 5 лазерного излучения может быть выполнен по схеме фиг.2 и предназначен для работы совместно с УЗИ, а также с осциллографическим регистратором и импульсным вольтметром.

Плата 6 подключения исследуемого объекта может иметь конструкцию, показанную на фиг.3, и должна быть выполнена из диэлектрического материала, например стеклотекстолита. В состав этой платы входят контактная панель и контактный разъем.

Блок 7 согласования и коммутации может быть выполнен по схеме фиг. 4 и иметь выход сигнала на УЗИ и по меньшей мере один выход измеряемых сигналов ИО для подключения к электроизмерительному прибору, а также по меньшей мере один вход источника электропитания. Возможный вариант выполнения принципиальной схемы этого блока приведен на фиг. 7 и 8. Этот блок предназначен для коммутации контактов испытываемых объектов и согласования этого объекта с источниками питания и электроизмерительными приборами.

В качестве управляющего вычислительного устройства (УВУ) 8 может быть применена персональная ЭВМ, например, типа IBM PC/AT, полностью совместимая с MS-DOS версии 3.30 и более поздней, которая должна иметь хотя бы один свободный параллельный (LPT) или последовательный (COM) порт для связи с KC 9. С целью ускорения процесса обмена информацией могут использоваться специализированные интерфейсы типа универсального параллельного адаптера (УПА).

Контроллер 9 связи может быть выполнен по схеме фиг. 5 и должен обеспечивать передачу информации между УВУ 8 и устройством запоминания импульсов (УЗИ) 10. Возможный вариант выполнения принципиальной схемы этого устройства приведен на фиг. 9 и 10. Контроллер 9 предназначен для сопряжения УЗИ с УВУ 8.

Устройство 10 запоминания параметров импульсов может быть выполнено по схеме фиг. 6 на основе быстродействующего аналого-цифрового преобразователя и запоминающего устройства в составе схемы регистрации формы сигнала (СРФС). Это устройство должно иметь входы и выходы цифровых управляющих сигналов связи с КС 9 и три входа: один вход сигнала синхронизации, второй сигнала БКЛИ 5 и третий буферированный сигнал состояния с БСК 7. Возможный вариант выполнения принципиальной схемы этого устройства приведен на фиг. 11 и 12. УЗИ предназначено для регистрации по двум каналам однократных или периодических электрических импульсов.

В качестве измерительных приборов 11 и источников питания 12 могут быть применены стандартные электроизмерительные приборы (осциллографы, цифровые и импульсные вольтметры и т.п.) и вторичные источники питания, которые обеспечивают требуемые для испытания объекта напряжения и токи.

В качестве фотодиода 13 могут быть применены полупроводниковые фотодиоды.

В качестве предварительного усилителя 14 могут быть применены операционные усилители.

Плата 15 для контактной панели 16 должна выполняться из диэлектрического материала, например стеклотекстолита. На диэлектрической панели 16 закрепляются металлические контакты по числу не менее числа выводов испытываемого объекта.

В качестве контактного разъема 17 может быть применен низкочастотный разъем (штырь).

В качестве контактного разъема 18 может быть применен такой же разъем (гнездо).

Коммутационное поле 19 обеспечивает задание режимов питания, сигналов управления исследуемым объектом, а также передачу сигналов состояния с произвольных выходов исследуемого объекта (см. принципиальную схему БСК 7 на фиг.7 и 8).

Датчик-измеритель 20 тока может быть выполнен с использованием резистора или на основе трансформатора тока.

Повторитель напряжения 21 должен иметь открытый вход (см. элементы D3, D4 на фиг. 7 и 8) и обеспечивать неискаженную передачу импульсных сигналов с временем нарастания не менее 10 нс на согласованный кабель длиной не менее 1 м.

Блок 22 управления напряжениями питания обеспечивает фильтрацию и стабилизацию напряжения питания, подачу его на выводы исследуемого объекта и сброс для предотвращения защелкивания испытываемого объекта. Этот блок может быть выполнен по схеме фиг.7 и 8 на элементах SA и SB.

Контактный разъем 23 к УЗИ 10 должен быть выполнен высокочастотным.

Контактные разъемы 24 к электроизмерительным приборам 11 и источникам питания 12 должны обеспечивать передачу уровней тока и напряжения, необходимых для исследуемого объекта.

Схема 25 сопряжения с интерфейсом, асинхронный приемопередатчик 26, схема опознания 27 контроллера связи, порты контроллера и регистры конфигурации портов 28, схема сброса 29 контроллера могут быть выполнены в соответствии с принципиальной схемой контроллера связи 9, по схеме фиг. 9 и 10 на элементах серий 1533, 1816, 573 и 556.

Схема 30 регистрации формы сигнала, блок 31 управления, регистры 32 данных и состояния, дешифратор 33 адреса и регистр 34 управления могут быть выполнены в соответствии с принципиальной схемой устройства 10 запоминания параметров импульсов, представленной на фиг. 11 и 12 на элементах серий 555, 537 и 1108.

Установка для испытаний на радиационную стойкость полупроводниковых приборов (ППП) и интегральных схем (ИС) содержит лазерный излучатель 1, модулятор 2, светофильтр (СФ) 3, выравниватель 4 амплитудного распределения лазерного излучения (АВИ), блок контроля лазерного излучения (БКЛИ) 5, плату подключения исследуемого объекта (ПИО) 6 к установке, блок согласования и коммутации (БСК) 7, управляющее вычислительное устройство (УВУ) 8, контроллер связи (КС) 9, устройство запоминания параметров импульсов (УЗИ) 10, измерительные приборы 11 и источники питания 12.

В качестве лазерного излучателя 1 применен излучатель типа "ИЗ-30". Модулятор 2 выполнен по схеме управляемого автогенератора, имеет кнопку запуска и два выхода: сигнала синхронизации работы установки и сигнала модуляции. Набор 3 светофильтров (СФ) выполнен на основе калиброванных ослабителей с коэффициентами пропускания 5, 14 и 28% на рабочей длине волны 1,06 мкм. АВИ 4 выполнен на основе матового рассеивателя с отражающим цилиндром, что обеспечивает однородность интенсивности излучения 80% в пределах испытуемого объекта (порядка 1 см²). БКЛИ 5 выполнен по схеме фиг. 2 на полупроводниковом фотодиоде типа ФД-24К и операционном усилителе типа К574УД1А. Плата 6 подключения испытываемого объекта к установке выполнена прямоугольной формы из стеклотекстолита и содержит диэлектрическую контактную панель 16, содержащую 48 контактов, к которым подключается испытываемый объект. Каждый контакт панели 16 соединен с отдельным выводом контактного разъема 17 типа ГРПМ-61 (штырь), который закреплен на плате 15 (фиг. 3). Блок 7 согласования и коммутации (БСК) выполнен в соответствии со структурной схемой фиг. 4 и принципиальной схемой фиг. 7 и 8 на микросхемах типа 1526ТР2, Б1432УЕ1 и 544УД2. Этот блок обеспечивает согласование испытываемых объектов с установкой и источниками питания 12 и электроизмерительными приборами 11. Работу этого блока можно проследить по схеме фиг. 7 и 8. Блок 7 имеет два входа для подачи напряжений источников электропитания и два выхода измеряемых сигналов исследуемого объекта, а также буферированный выход сигнала состояния испытываемого объекта. В качестве управляющего вычислительного устройства (УВУ) 8 использована персональная ЭВМ типа IBM PC/AT, совместимая с MS-DOS версии 3.3, имеющая свободный параллельный порт (LPT) с интерфейсом Centronics. Контроллер 9 выполнен по схемам фиг.5 и 9, 10, обеспечивает подключение персональной ЭВМ к установке и собран на микросхемах серии 1533, 1816, 573 и 556. Устройство 10 запоминания параметров импульса (УЗИ) выполнено по схемам фиг. 6 и 11, 12 на микросхемах серии 555, 537 и 1108 и имеет канал цифровых управляющих сигналов связи с КС 9 и три входа: вход сигнала синхронизации, вход сигнала БКЛИ 5 и третий вход для приема буферированного сигнала состояния. В качестве измерительного прибора применен осциллограф типа С9-13, а в качестве источника питания - прибор типа Б3-21.

Управляющий вход лазерного излучателя 1 соединен с выходом сигнала модуляции модулятора 2, второй выход модулятора соединен с входом сигнала синхронизации УЗИ 10. Выход БКЛИ 5 соединен с входом контрольного сигнала УЗИ 10. Контакты разъема 17 соединены с контактами разъема 18 (типа ГРПМ-61, гнездо), установленного на БСК 7, и обеспечивают электрические соединения этих блоков для подачи напряжений питания на исследуемый объект и снятия преобразованных исследуемым объектом этих напряжений - измеряемых сигналов. Выход буферированного сигнала состояния соединен с соответствующим входом УЗИ 10, а его входы и выходы напряжений питания и сигналов состояния исследуемого объекта соединены с соответствующими входами измерительных приборов и выходами источников электропитания. Выходы и входы цифровых сигналов УВУ 8 соединены с соответствующими входами и выходами цифровых сигналов КС 9, в свою очередь его вторые входы и выходы цифровых сигналов соединены с соответствующими выходами и входами УЗИ 10.

Апертуры лазерного излучателя 1, СФ 3 и АВИ 4 в пространстве установлены друг за другом соосно. После АВИ 4 установлена перпендикулярно оптической оси излучателя контактная панель 16 с исследуемым объектом или БКЛИ 5.

В режиме контроля параметров лазерного излучения установка работает следующим образом.

По сигналу кнопки запуска модулятор 2 формирует сигнал модуляции для запуска лазерного излучателя 1 и сигнал синхронизации для запуска УЗИ 10. Сигнал модуляции запускает лазерный излучатель 1, который испускает импульс лазерного излучения длиной волны 1,06 мкм длительностью 7 - 12 нс. БКЛИ 5 размещается на оси пучка лазерного излучения после АВИ 4 в месте будущего размещения контактной панели 16. Фотодиод 13 БКЛИ при поглощении энергии лазерного излучения формирует сигнал тока - контрольный сигнал, амплитуда которого пропорциональна энергии импульса излучения. Усилитель 14 усиливает импульс тока и преобразует его в импульс напряжения. Импульс напряжения с усилителя 14 поступает на УЗИ 10. СФРС 30 УЗИ 10 преобразует аналоговый импульс БКЛИ 5 в цифровую форму и запоминает его во внутреннем запоминающем устройстве, входящем в состав СФРС 30. РДС 32 формирует сигнал состояния готовности в КС 9. КС 9 через ПКРКП 28 и АПП 26 передает сигнал состояния готовности информации с БКЛИ 5 в УВУ 8 в формате его интерфейса. Программное обеспечение УВУ 8 (программа UZILIS) обеспечивает вывод информации о значении эквивалентной мощности поглощенной дозы в фотодиоде 13 на дисплей.

При совпадении полученного значения эквивалентной мощности поглощенной дозы с заданным БКЛИ 5 заменяется на испытываемый объект, обеспечивается электрическая связь выводов объекта с контактами панели 16 и производится оценка радиационной стойкости испытываемых объектов - ППП и ИС следующим образом. По сигналу с кнопки запуска модулятора 2 формируется сигнал модуляции для запуска лазерного излучателя 1 и сигнал синхронизации для запуска УЗИ 10. Сигнал модуляции запускает лазерный излучатель 1, который испускает импульс лазерного излучения. При воздействии импульса лазерного излучения на ППП или ИС формируется ионизационная реакция в форме изменения одного из параметров испытываемого объекта: выходного напряжения или тока. БСК 7 буферирует параметры импульса ионизационной реакции и через ПН 21 и ВВР 23 передает его параметры на вход УЗИ 10. СФРС 30 УЗИ 10 преобразует аналоговый импульс с БКЛИ 5 в цифровую форму и запоминает его во внутреннем запоминающем устройстве СФРС 30. РДС 32 формирует сигнал состояния готовности в КС 9. КС 9 через ПКРКП 28 и АПП 26 передает сигнал состояния готовности информации с БКЛИ 5 в УВУ 8 в формате интерфейса УВУ 8. Программное обеспечение УВУ 8 (программа UZILIS) обеспечивает вывод информации о форме импульса ионизационной реакции на дисплей и определение уровня стойкости ППП или ИС.

При необходимости корректируется интенсивность лазерного излучения введением необходимого числа СФ 3 и повторяют калибровку установки с помощью БКЛИ.

Алгоритм работы оператора на установке для испытаний на радиационную стойкость ППП и ИС представлен на фиг. 13.

Перед измерениями производят тестирование всех узлов и блоков установки и предварительную установку уровня интенсивности лазерного излучения с помощью СФ 3. Далее выход синхронизации модулятора 2 подключают к входу сигнала синхронизации УЗИ 10 и устанавливают БКЛИ 5 в месте будущего расположения контактной панели 16. Включают УВУ 8 и запускают программу UZILIS в режиме дозиметрии. Далее производят запуск установки нажатием кнопки "Запуск" модулятора 2 и определяют эквивалентную мощность поглощенной дозы в месте расположения БКЛИ 5 (дозиметрия). При необходимости корректируют интенсивность лазерного излучения с помощью СФ 3 и повторяют измерения.

Испытания на радиационную стойкость ППП и ИС производят в соответствии с алгоритмом фиг. 13, но вместо БКЛИ в поле лазерного излучения после АВИ размещают в ПИО исследуемый объект и обеспечивают электрическую связь выводов объекта с контактами панели.

Программа UZILIS обеспечивает вывод информации о форме импульса ионизационной реакции на дисплей персональной ЭВМ и определение уровня стойкости ППП или ИС к импульсному ионизирующему излучению.

На основании описания конструкции изобретения и его работы считаем доказанным, что изобретение по сравнению с прототипом увеличивает производительность труда при испытаниях ППП и ИС и их достоверность, а также обеспечивает возможность проведения испытаний ИС высокой степени интеграции.

Установка для испытаний на радиационную стойкость может быть использована при проведении испытаний полупроводниковых приборов (ППП) и интегральных схем (ИС) и содержит лазерный излучатель (ЛИ), модулятор лазерного излучателя (М), светофильтр (СФ), выравниватель амплитудного распределения лазерного излучения (АВИ), блок контроля интенсивности лазерного излучения (БКЛИ), плату подключения исследуемого объекта (ПИО), блок согласования и коммутации (БСК), управляющее вычислительное устройство (УВУ) с встроенным программным обеспечением, контроллер связи (КС) блоков установки с УВУ, устройство запоминания параметров импульсов (УЗИ), электроизмерительный прибор и источник электропитания исследуемого объекта. Перед апертурой лазерного излучателя последовательно и соосно установлены СФ, АВИ и либо БКЛИ, либо ПИО, на которой закреплен испытываемый объект, выводы которого соединены с контактами ПИО. Перед измерениями устанавливают БКЛИ в месте будущего расположения контактной панели ПИО и определяют эквивалентную мощность поглощенной дозы в месте расположения БКЛИ, затем вместо БКЛИ в поле лазерного излучения после АВИ размещают контактную панель ПИО, на которой закреплен исследуемый объект, и определяют уровень радиационной стойкости исследуемого объекта. Такое выполнение устройства обеспечивает автоматизацию процесса испытаний ППП и ИС и достоверность результатов. 13 ил.

Установка для испытаний на радиационную стойкость, содержащая лазер и модулятор лазерного излучения, причем модулятор снабжен устройством запуска и его сигнальный выход соединен с управляющим входом лазера, отличающаяся тем, что в нее введены по меньшей мере один светофильтр (СФ), выравниватель амплитудного распределения лазерного излучения (АВИ), блок контроля интенсивности лазерного излучения (БКЛИ) с выходом контрольного сигнала, плата подключения исследуемого объекта (ПИО) с контактной панелью и числом контактов не менее числа выводов испытываемого объекта, блок согласования и коммутации (БСК) по меньшей мере с одним входом для подачи напряжения электропитания исследуемого объекта и одним выходом измеряемого сигнала объекта, одним буферированным выходом сигнала состояния испытываемого объекта, а также по меньшей мере с двумя выходами напряжения электропитания и двумя входами измеряемого сигнала, управляющее вычислительное устройство (УВУ) имеет встроенное программное обеспечение, входы и выходы сигналов управления и информации в формате интерфейса УВУ, контроллер связи (КС) имеет входы и выходы сигналов управления и информации, соединенные с соответствующими входами и выходами УВУ, устройство запоминания параметров импульсов (УЗИ) имеет входы сигнала синхронизации, контрольного сигнала БКЛИ и буферированного сигнала состояния исследуемого объекта, а также входы и выходы сигналов КС, по меньшей мере один электроизмерительный прибор и источник электропитания исследуемого объекта, кроме того, модулятор имеет выход сигнала синхронизации, причем этот выход соединен с входом сигнала синхронизации УЗИ, выход БКЛИ соединен с входом УЗИ контрольного сигнала, по меньшей мере два контакта контактной панели ПИО соединены с разными выходами напряжения электропитания БСК, а два других ее контакта соединены с разными входами БСК измеряемого сигнала исследуемого объекта, выход буферированного сигнала БСК соединен с одноименным входом УЗИ, по меньшей мере один выход БСК измеряемого сигнала соединен с входом электроизмерительного прибора, и по меньшей мере один вход напряжения электропитания БСК соединен с выходом источника электропитания, кроме того, перед апертурой лазерного излучателя последовательно и соосно установлены СФ, АВИ, а также либо контактная панель ПИО, на которой закреплен испытываемый объект, выводы которого соединены с контактами контактной панели, либо БКЛИ, выход которого соединен с входом УЗИ контрольного сигнала.