СПОСОБЫ ФОРМИРОВАНИЯ РИСУНКА В ПОЛИМЕРНЫХ ПЛЕНКАХ И ПРИМЕНЕНИЕ СПОСОБОВ Российский патент 2003 года по МПК G03F7/00 

Описание патента на изобретение RU2217785C2

Таблицыр

Похожие патенты RU2217785C2

название год авторы номер документа
СПОСОБ И УСТРОЙСТВО НАНЕСЕНИЯ НАНОРИСУНКА НА БОЛЬШИЕ ПЛОЩАДИ 2008
  • Кобрин Борис
  • Ландау Игорь
  • Вольф Борис
RU2488188C2
МАСКА ДЛЯ БЛИЖНЕПОЛЬНОЙ ЛИТОГРАФИИ И ЕЕ ИЗГОТОВЛЕНИЕ 2011
  • Кобрин Борис
RU2544280C2
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ШТАМПА С РИСУНКОМ, ШТАМП С РИСУНКОМ И СПОСОБ ОТПЕЧАТЫВАНИЯ 2015
  • Ван Бракел Ремко
  • Версхюирен Маркус Антониус
RU2695290C2
Способ изготовления катодного покрытия на основе электропроводящего полимера и твердотельный электролитический конденсатор с низким эквивалентным последовательным сопротивлением и повышенной реализацией емкости анода 2023
  • Калугина Дарья Альбертовна
  • Гафиатуллин Ильшат Талгатович
RU2816258C1
Способ изготовления катодного покрытия на основе электропроводящего полимера и твердотельный электролитический конденсатор с улучшенными емкостными характеристиками 2022
  • Гафиатуллин Ильшат Талгатович
  • Калугина Дарья Альбертовна
RU2790858C1
ЭЛЕКТРОЛИТНЫЙ МАТЕРИАЛ ЭЛЕКТРОУПРАВЛЯЕМОГО УСТРОЙСТВА, СПОСОБ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ, СОДЕРЖАЩЕЕ ЕГО ЭЛЕКТРОУПРАВЛЯЕМОЕ УСТРОЙСТВО И СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ УКАЗАННОГО УСТРОЙСТВА 2007
  • Пиру Фабьенн
  • Пети Паскаль
  • Андро Аннабелль
RU2453883C2
СПОСОБ СУХОЙ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ ЛИТОГРАФИИ 2016
  • Жарик Георгий Александрович
  • Дагесян Саркис Арменакович
  • Солдатов Евгений Сергеевич
  • Божьев Иван Вячеславович
  • Преснов Денис Евгеньевич
  • Крупенин Владимир Александрович
  • Снигирев Олег Васильевич
RU2629135C1
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ УСТРОЙСТВ НА ОСНОВЕ ОРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ 2000
  • Роман Лусимара Штольц
  • Инганес Олле
  • Хагель Олле
  • Берггрен Магнус
  • Густафссон Йеран
  • Карльссон Йохан
RU2214651C2
РЕНТГЕНОШАБЛОН И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ 2012
  • Генцелев Александр Николаевич
RU2488910C1
РЕНТГЕНОШАБЛОН И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ 2013
  • Генцелев Александр Николаевич
RU2546989C2

Иллюстрации к изобретению RU 2 217 785 C2

Реферат патента 2003 года СПОСОБЫ ФОРМИРОВАНИЯ РИСУНКА В ПОЛИМЕРНЫХ ПЛЕНКАХ И ПРИМЕНЕНИЕ СПОСОБОВ

Изобретение относится к способу формирования рисунка в полимерных пленках, которые могут использоваться в качестве электродов с рисунком или пикселей в оптоэлектронных дисплеях. В способе формирования рисунка на полимерной пленке, образующей покрытие на поверхности материала, тонкую пленку из полимера осаждают на поверхность материала. К поверхности материала прикладывают штамп, по меньшей мере, с одним образованным на поверхности штампа углублением и выполненный из эластомерного материала, с обеспечением конформного контакта штампа с поверхностью тонкой пленки. При этом участки поверхности, контактирующие с одним или более выступающих элементов эластомерного штампа, образованных за счет, по меньшей мере, одного углубления в нем, прикрепляются к выступающему элементу или элементам и удаляются с поверхности материала вместе со штампом. Техническим результатом, достигаемым указанными признаками, является формирование рисунка в тонких пленках простым и недорогим способом. 2 с. и 24 з.п.ф-лы, 3 ил.

Формула изобретения RU 2 217 785 C2

1. Способ формирования рисунка на полимерной пленке, образующей покрытие на поверхности материала с помощью штампа, имеющего поверхность, по меньшей мере, с одним образованным в ней углублением, отличающийся тем, что тонкую пленку из полимера осаждают на поверхность материала, к поверхности материала прикладывают штамп, выполненный из эластомерного материала, с обеспечением конформного контакта штампа с поверхностью тонкой пленки, так что участки этой поверхности, контактирующие с одним или более выступающими элементами эластомерного штампа, образованными за счет, по меньшей мере, одного углубления в нем, прикрепляются к выступающему элементу или элементам и удаляются с поверхности материала вместе со штампом.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что полимерную пленку модифицируют путем введения добавок с целью уменьшения когезионного сцепления полимерной пленки.3. Способ по п.2, отличающийся тем, что добавка представляет собой растворимое в воде органическое соединение.4. Способ по п.2, отличающийся тем, что добавку выбирают из следующих соединений: этиленгликоля, полиэтиленгликоля, глицерина, сорбита, полиола или любых их комбинаций.5. Способ по п.1, отличающийся тем, что полимер представляет собой растворимый в воде или диспергированный полимер.6. Способ по п.1, отличающийся тем, что полимер представляет собой проводящий полимер сопряженной структуры в его легированном или нелегированном состоянии.7. Способ по п.1, отличающийся тем, что полимер представляет собой поли (3,4-диоксиэтилентиофен) (PEDOT), или производное его сополимера, или одну или более смесей, включающих в себя мономерную форму 3,4-диоксиэтилентиофена (EDOT).8. Способ по п.1, отличающийся тем, что поверхность материала модифицируют для придания слабой адгезии между поверхностью материала и полимерной пленкой, подлежащей удалению с указанной поверхности.9. Способ по п.8, отличающийся тем, что поверхность материала модифицируют посредством плазменного травления.10. Способ по п.1, отличающийся тем, что поверхность эластомерного штампа модифицируют для придания сильной адгезии между штампом и полимерной пленкой, подлежащей прикреплению к нему.11. Способ по п.9, отличающийся тем, что поверхность эластомерного штампа модифицируют посредством плазменного травления.12. Способ по п.1, отличающийся тем, что усиливают адгезию между штампом и полимерной пленкой с помощью добавок, введенных в полимерную пленку.13. Способ по п.12, отличающийся тем, что добавка представляет собой глицерин.14. Способ по п.1, отличающийся тем, что он предназначен для литографии резиста с рисунком в виде тонкой пленки из полимера на слое золота, тем самым слой золота может быть удален путем травления зоны, не защищенной резистом, при этом полимер предпочтительно представляет собой поли (3,4-диоксиэтилентиофен) (PEDOT).15. Способ переноса полимерной пленки с рисунком на поверхность материала с помощью штампа, имеющего поверхность, по меньшей мере, с одним образованным в ней углублением, отличающийся тем, что на поверхность штампа осаждают тонкую пленку из полимера, прикладывают штамп, выполненный из эластомерного материала к поверхности материала с обеспечением конформного контакта так, что тонкая пленка из полимера переносится на поверхность материала с одного или более выступающих элементов эластомерного штампа, образованных за счет, по меньшей мере, одного углубления в нем, и оставляют тонкую пленку из полимера со сформированным на ней рисунком на поверхности материала при удалении штампа с поверхности материала.16. Способ по п.15, отличающийся тем, что полимерную пленку модифицируют путем введения добавок для уменьшения когезионного сцепления полимерной пленки.17. Способ по п.16, отличающийся тем, что добавка представляет собой растворимое в воде органическое соединение.18. Способ по п.16, отличающийся тем, что добавку выбирают из следующих соединений: этиленгликоля, полиэтиленгликоля, глицерина, сорбита, полиола или любых их комбинаций.19. Способ по п.15, отличающийся тем, что полимер представляет собой растворимый в воде или диспергированный полимер.20. Способ по п.15, отличающийся тем, что полимер представляет собой проводящий полимер сопряженной структуры в его легированном или нелегированном состоянии.21. Способ по п.15, отличающийся тем, что полимер представляет собой поли(3,4-диоксиэтилентиофен) (PEDOT), или производное его сополимера, или одну или более смесей, включающих в себя мономерную форму 3,4-диоксиэтилентиофена (EDOT).22. Способ по п.15, отличающийся тем, что поверхность эластомерного штампа модифицируют для придания слабой адгезии между поверхностью эластомера и полимерной пленкой, подлежащей удалению с указанной поверхности.23. Способ по п.22, отличающийся тем, что поверхность эластомерного штампа модифицируют посредством плазменного травления.24. Способ по п.15, отличающийся тем, что поверхность материала модифицируют для придания сильной адгезии между поверхностью материала и полимерной пленкой, подлежащей переносу на поверхность материала.25. Способ по п.24, отличающийся тем, что поверхность материала модифицируют посредством плазменного травления.26. Способ по п.15, отличающийся тем, что он предназначен для литографии резиста с рисунком в виде тонкой пленки из полимера на слое золота, тем самым слой золота может быть удален путем травления зоны, не защищенной резистом, при этом полимер предпочтительно представляет собой поли(3,4-диоксиэтилентиофен) (PEDOT).

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 2003 года RU2217785C2

US 5512131 А, 30.04.1996
US 5358604 A, 25.10.1994
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МИКРОРЕЛЬЕФА НА ПОВЕРХНОСТИ МЕТАЛЛОВ (ВАРИАНТЫ) 1996
  • Иванов В.В.
  • Инкин В.Н.
  • Уханов С.И.
RU2082993C1
СПОСОБ СУХОЙ ЛИТОГРАФИИ 1995
  • Симаков Н.Н.
  • Федоров В.А.
  • Морозов О.В.
  • Филимонов С.И.
  • Буяновская П.Г.
RU2082257C1

RU 2 217 785 C2

Авторы

Инганес Олле

Нюберг Тобиас

Гранлунд Томас

Даты

2003-11-27Публикация

2000-05-12Подача