ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ СИСТЕМА С ПОЛУПРОВОДНИКОВЫМ ДАТЧИКОМ НА ОСНОВЕ КАРБИДОКРЕМНИЕВОГО ДИОДА ШОТКИ Российский патент 2004 года по МПК H01L31/108 

Текст описания в факсимильном виде (см. графическую часть)и

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в конструкции измерительной системы (ИС) температуры и/или ультрафиолетового излучения (УФИ). Для измерения температуры и возможности регистрации УФИ одним датчиком в условиях повышенной температуры ИС с полупроводниковым датчиком на основе карбидокремниевого диода Шотки (ДШ), содержащим подложку, выполненную из монокристаллического карбида кремния n⁺-типа проводимости с эпитаксиальным n-слоем, омический электрод (ОЭ), соединенный с n⁺-областью подложки, электроизоляционное покрытие, нанесенное на n-слой подложки со стороны, противоположной n⁺-области подложки, выпрямляющий электрод (ВЭ) из полупрозрачного слоя Au, соединенный с n-слоем подложки с образованием контакта Шотки через окно, выполненное в электроизоляционном покрытии, и выводной контакт (ВК), присоединенный к ВЭ. Между ВК и ОЭ подключена внешняя электрическая цепь, в которой установлены блок питания (БП) и блок регистрации (БР). БП содержит источник стабилизированного тока, подключенный к ДШ с возможностью подачи смещения в прямом направлении, а БР подключен к выходу ДШ по напряжению. ИС может быть дополнительно оснащена каналом регистрации УФИ. Технический результат - обеспечение одновременного контроля температуры и ультрафиолетового излучения, обеспечение работоспособности датчика при повышенной температуре, увеличение чувствительности. 4 з.п. ф-лы, 4 ил., 2 табл.

1. Измерительная система с полупроводниковым датчиком на основе карбидокремниевого диода Шотки, содержащим подложку, выполненную из монокристаллического карбида кремния n+-типа проводимости с эпитаксиальным n-слоем, омический электрод, соединенный с n+-областью подложки, электроизоляционное покрытие, нанесенное на n-слой подложки со стороны, противоположной n+-области подложки, выпрямляющий электрод, изготовленный из полупрозрачного слоя золота и соединенный с n-слоем подложки с образованием контакта Шотки через окно, выполненное в электроизоляционном покрытии, и выводной контакт, присоединенный к выпрямляющему электроду, при этом между выводным контактом и омическим электродом подключена внешняя электрическая цепь, в которой установлены блок питания и блок регистрации, отличающаяся тем, что для измерения температуры блок питания содержит источник стабилизированного тока, подключенный к диоду Шотки с возможностью подачи смещения в прямом направлении, а блок регистрации подключен к выходу диода Шотки по напряжению.2. Измерительная система по п.1, отличающаяся тем, что для измерения одним датчиком температуры и ультрафиолетового излучения в ее внешней цепи дополнительно установлен программный задатчик, а блок питания дополнительно содержит источник стабилизированного напряжения, при этом первый выход программного задатчика соединен с управляющим входом блока питания, второй выход программного задатчика связан с управляющим входом коммутатора, выходы диода Шотки по напряжению и току подключены к блоку регистрации через соответствующие информационные входы коммутатора.3. Измерительная система по п.2, отличающаяся тем, что для приема избирательного сигнала в ультрафиолетовой области на выпрямляющий электрод со стороны принимаемого светового излучения нанесен серебряный светофильтр.4. Измерительная система по пп.1-3, отличающаяся тем, что для работы в условиях повышенной температуры выводной контакт выполнен из никеля.5. Измерительная система по пп.1-4, отличающаяся тем, что выпрямляющий электрод выполнен толщиной от 80 до 120 A.