МНОЖИТЕЛЬ ИЗОБРАЖЕНИЯ РЕНТГЕНОШАБЛОНА Российский патент 2005 года по МПК G03B42/02 

Изобретение относится к области электронного машиностроения, а именно к производству компьютерных микросхем с помощью рентгенолитографии.

Известен способ производства микросхем, при котором на пластину наносился слой рентгенорезиста, затем на нее проецировалось изображение рентгеношаблона микросхемы (Ефимов И.Е., Козырь И.Я., Горбунов Ю.И. Микроэлектроника. Физические и технологические основы, надежность. М.: Высш.шк., 1986, стр.228-230).

Наиболее близким устройством, принятым за прототип, является устройство для экспонирования микросхем с применением линзы Кумахова (Калашников М. Сломанный меч империи, “Крымский мост-9Д”, “Форум”, М., 2001, стр.485), содержащее рентгеновскую линзу, представляющую собой веретенообразное стекловидное тело, пронизанное множеством нитевидных каналов от одной оконечности веретена до другой с использованием малого угла падения рентгеновских лучей на торец канала и разрезанное пополам, части которой выставлены точно напротив друг друга, между которыми размещен шаблон. Широким параллельным пучком рентгеновское излучение выходит из первой половины линзы и, пройдя через шаблон, передает изображение шаблона в лучевидные каналы второй половины линзы. Узкий пучок рентгеновского излучения выходит из второй половины рентгеновской линзы и передает изображение шаблона на пластину с рентгенорезистным слоем, на которой печатаются субмикронные микросхемы. Данное устройство обладает следующим недостатком - создает на пластине с ренгенорезистным слоем только одно изображение шаблона за одну экспозицию.

Заявляемое изобретение направлено на одновременное создание нескольких изображений от одного рентгеношаблона на пластине с ренгенорезистным слоем за одну экспозицию.

Данная задача решается тем, что в множителе изображения рентгеношаблона, включающем источник рентгеновского излучения, состоящую из двух частей рентгеновскую линзу, пластину с рентгенорезистным слоем, рентгеношаблон, который установлен со смещением от оси призмы на одном из торцов полой трехгранной призмы с рентгеноотражающими поверхностями, при этом в другом торце установлена рентгенопоглощающая перегородка с выходным отверстием, напротив которого установлена рентгеновская линза, между частями которой расположена с возможностью перемещения контрольная пластина, внутри призмы на ее оси симметрии установлен поглощающий экран.

Изобретение поясняется чертежами, где на фиг.1 представлена схема множителя шаблонов; на фиг.2 - сечение по А-А; на фиг.3 - ход рентгеновских лучей в призме.

Множитель рентгеношаблона содержит полую равностороннюю трехгранную призму 1, внутренние поверхности 2 которой являются рентгеноотражающими. У одного из торцов призмы 1 установлен источник рассеянного рентгеновского излучения 3. Рентгеношаблон 4 установлен на этом же торце внутри призмы. Рентгеношаблон 4 смещен от оси призмы. К другому торцу призмы 1 примыкает рентгенопоглощающая перегородка 5 с выходным отверстием 6 по оси призмы. За призмой 1, напротив отверстия 6 перегородки 5, по оси призмы установлена первая половина 7 рентгеновской линзы, контрольная пластина 8 и вторая половина 9 рентгеновской линзы, за которой расположена пластина 10 с рентгенорезистным слоем. Внутри призмы на оси симметрии установлен поглощающий экран 11, защищающий выходное окно 6 от прямого рентгеновского излучения.

Множитель рентгеношаблона работает следующим образом. Рассеянное рентгеновское излучение от источника 3 падает на рентгеношаблон 4 и, пройдя через него, отражается от внутренних поверхностей 2 призмы 1 и поступает в окно 6 перегородки 5. Прохождение рентгеновских лучей относительно других внутренних граней призмы аналогично, поэтому в отверстии 6 перегородки 5 образуются три (по числу граней) изображения геометрии рентгеношаблона 4. Аналогично при большем нечетном числе граней призмы будет образовываться большее (по числу граней) количество изображений рентгеношаблона. Далее через первую половину 7 рентгеновской линзы расширенным параллельным пучком переносится множественное изображение рентгеношаблона 4 на контрольную пластину 8. Перемещением рентгеношаблона 4 добиваются требуемого изображения на контрольной пластине 8. После настройки изображения на контрольной пластине 8 ее убирают. Сформированное изображение проходит во вторую половину линзы 9, на выходе из которой суженный пучок рентгеновского излучения попадает на пластину 10 с рентгенорезистным слоем. Поглощающий экран 11 предотвращает попадание в окно 6 рентгеновских лучей, идущих от источника рассеянного излучения параллельно оси призмы 1 и под другими углами, не передающими изображение рентгеношаблона 4 в окно 6.

Использование: для производства компьютерных микросхем с помощью рентгенолитографии. Сущность: заключается в том, что множитель изображения рентгеношаблона включает источник рентгеновского излучения, состоящую из двух частей рентгеновскую линзу, пластину с рентгенорезистным слоем, рентгеношаблон. Рентгеношаблон установлен со смещением от оси призмы на одном из торцов полой трехгранной призмы с рентгеноотражающими поверхностями, при этом в другом торце установлена рентгенопоглощающая перегородка с выходным отверстием, напротив которого установлена рентгеновская линза, между частями которой расположена с возможностью перемещения контрольная пластина, внутри призмы на ее оси симметрии установлен поглощающий экран. Технический результат: одновременное создание нескольких изображений от одного рентгеношаблона на пластине с рентгенорезистньм слоем за одну экспозицию. 3 ил.

Множитель изображения рентгеношаблона, включающий источник рентгеновского излучения, состоящую из двух частей рентгеновскую линзу, пластину с рентгенорезистым слоем, рентгеношаблон, отличающийся тем, что рентгеношаблон установлен со смещением от оси призмы на одном из торцов полой трехгранной призмы с рентгеноотражающими поверхностями, при этом в другом торце установлена рентгенопоглощающая перегородка с выходным отверстием, напротив которого установлена рентгеновская линза, между частями которой расположена с возможностью перемещения контрольная пластина, внутри призмы на ее оси симметрии установлен поглощающий экран.