Способ определения показателя преломления монохроматической поверхностной электромагнитной волны инфракрасного диапазона Российский патент 2017 года по МПК G01N21/41 

Описание патента на изобретение RU2629928C2

Изобретение относится к оптике конденсированных сред и может быть использовано для определения оптических постоянных твердых тел, способных направлять поверхностные электромагнитные волны (ПЭВ) инфракрасного (ИК) диапазона, а также - для исследования переходного слоя на поверхности таких тел и в оптических сенсорных устройствах (Welford K. Surface plasmon-polaritons and their use // Optical and Quantum Electronics, 1991, v. 23, p. 1-27) [1].

Известен способ определения показателя преломления ПЭВ ИК области спектра, включающий формирование интерферограммы в результате сложения двух производных ПЭВ, полученных путем разделения исходной и прошедших по образцу различные расстояния, регистрацию интерферограммы в плоскости поверхности образца, расчет показателя преломления по результатам измерения периода интерферограммы (Патент РФ на изобретение №2372591) [2].

Основной недостаток способа - низкая точность определения показателя преломления, что обусловлено сравнимостью периода интерферограммы с размером чувствительного элемента (пикселя) линейки фотоприемников, регистрирующей интерференционную картину.

Известен способ определения показателя преломления ПЭВ ИК-диапазона, включающий формирование и анализ интерферограммы, получаемой в результате сложения объемной волны, являющейся частью пучка излучения, генерирующего ПЭВ, и поля исследуемой ПЭВ при перемещении в плоскости падения вдоль трека ПЭВ прилегающей к образцу линейки фотоприемников, а также - расчет искомого показателя по результатам измерений (Gerasimov V.V., Knyazev В.А., Nikitin А.K. Terahertz dispersive spectros-copy for thin-film study via surface-plasmon - bulk wave interference // Вестник НГУ (Физика), 2010, т. 5, №4, c. 158-161) [3].

Основной недостаток способа - низкая точность определения показателя преломления, вследствие наличия сильной засветки линейки приемников паразитными объемными волнами, исходящими от элемента преобразования излучения источника в ПЭВ и от неоднородностей поверхности на треке ПЭВ.

Наиболее близким по технической сущности к заявляемому способу является способ определения показателя преломления ПЭВ ИК-диапазона, включающий генерацию волны на поверхности образца, размещение на пути волны плоского зеркала, отражающая грань которого фиксирована и наклонена относительно нормали к поверхности образца в сторону направления распространения волны, регистрацию интерферограммы, получаемой при перемещении зеркала вдоль трека ПЭВ в результате сложения объемных волн, одна из которых является частью пучка излучения, генерирующего ПЭВ, а вторая порождена ПЭВ в результате ее взаимодействия с зеркалом, и - расчет искомого показателя преломления по результатам измерений (Патент РФ на изобретение №2470257). [4].

Основной недостаток способа - большая продолжительность измерений, что обусловлено необходимостью перемещения зеркала над образцом на макроскопическое расстояние (сантиметры) на котором ПЭВ приобретает набег фазы порядка 2π, а также - большая трудоемкость измерений, обусловленная необходимостью их выполнения во множестве точек трека.

Задача изобретения состоит в создании нового способа определения показателя преломления ПЭВ ИК-диапазона (являющегося вещественной частью комплексного показателя преломления ПЭВ), техническим результатом которого является уменьшение продолжительности и трудоемкости измерений.

Сущность изобретения состоит в том, что в известном способе определения показателя преломления ПЭВ ИК-диапазона, включающем генерацию волны на поверхности образца, размещение на пути волны плоского зеркала, отражающая грань которого наклонена относительно нормали к поверхности образца в сторону направления распространения волны, регистрацию отраженного зеркалом излучения и расчет показателя по результатам измерений, согласно изобретению, регистрацию излучения осуществляют на поверхности образца, зеркало размещают в плоскости, не содержащей нормаль к плоскости падения излучения, и, плавно увеличивая от нуля угол α между нормалью к плоскости образца и зеркалом, фиксируют такое его значение α*, при котором интенсивность регистрируемого излучения обнуляется, а величину искомого показателя κ' рассчитывают по формуле: .

Уменьшение продолжительности измерений и снижение их трудоемкости в предлагаемом способе достигается в результате отказа от амплитудно-фазовых измерений и выполнении вместо них измерения угла наклона зеркала, при котором интенсивность отраженной зеркалом ПЭВ становится равной нулю (обнуляется).

Покажем, каким образом можно определить показатель преломления ПЭВ ИК-диапазона, не прибегая к трудоемким интерферометрическим измерениям (как это необходимо делать в способе-прототипе).

Известно, что вещественная часть k' волнового числа ПЭВ k больше волнового числа ko=2π/λ плоской волны в воздухе (где λ - длина этой волны), что обуславливает неизлучающий характер ПЭВ [1]. Отношение k/kо=κ называют комплексным показателем преломления ПЭВ, а его вещественную часть Re(κ)=κ' - просто, показателем преломления ПЭВ, так как частное от деления скорости света на κ' равно фазовой скорости ПЭВ. При размещении в поле ПЭВ какого-либо предмета (края экрана, дифракционной решетки на поверхности образца, ребра прозрачной призмы и т.п.), волновой вектор ПЭВ , в результате дифракции волны на этом предмете, получает отрицательное приращение . Если выполняется условие:

где Δk - модуль приращения , то ПЭВ преобразуется в плоскую волну, распространяющуюся в окружающей среде (обычно, воздухе) под некоторым углом к поверхности образца. Если таким предметом является плоское зеркало, отражающая грань которого примыкает к поверхности образца, перпендикулярна треку ПЭВ и отклонена (в сторону направления распространения ПЭВ) от нормали к поверхности на угол α, а величина Δk удовлетворяет равенству (1), то ПЭВ трансформируется в плоскую волну, распространяющуюся под углом 2α к поверхности в направлении, противоположном ходу ПЭВ (Рис. 1, где: 1 - образец; 2 - зеркало).

Однако, если условие (1) не выполнено, то ПЭВ сохраняет свою природу и, после взаимодействия с зеркалом, распространяется по образцу в обратную сторону. Размещение зеркала в плоскости, не содержащей нормали к плоскости падения излучения (т.е. поворот зеркала на угол β относительно трека ПЭВ, см. Рис. 2б), приводит только к изменению направления распространения отраженной ПЭВ в соответствии законом отражения плоской волны плоским зеркалом (Bell R.J., Goben С.А., Davarpanah М, Bhasin K., Begley D.L., Bauer A.C. Two-dimensional optics with surface electromagnetic waves // Applied Optics, 1975, v. 14 (6), p. 1322-1325.) [5]. Поскольку проекция волнового вектора ПЭВ на направление распространения порожденной на зеркале плоской волны, при выполнении равенства (1), должна быть равна ko то, согласно Рис. 1 и с учетом факта, что [1], имеем ko/k'=cos(2α). Отсюда получим расчетную формулу:

Таким образом, плавно увеличивая угол α наклона зеркала и регистрируя его значение α*, при котором интенсивность отраженной ПЭВ становится равной нулю, а падающая на зеркало ПЭВ преобразуется в плоскую волну, можно рассчитать по формуле (2) искомое значение показателя преломления κ' монохроматической ПЭВ.

Изобретение поясняется чертежами: на Рис. 1 представлена векторная диаграмма преобразования ПЭВ в плоскую волну при взаимодействии с плоским зеркалом, отражающая грань которого перпендикулярна плоскости падения и наклонена на угол α относительно нормали к поверхности образца; на Рис. 2 (а - вид сбоку; б - вид сверху) изображена схема устройства, реализующего заявляемый способ; на Рис. 3 приведена расчетная зависимость функции (κ'-1) от угла α, позволяющая определить значение показателя преломления ПЭВ κ' по измеренному значению α*.

Заявляемый способ может быть реализован с использованием устройства, схема которого приведена на Рис. 2, где цифрами обозначены: 1 - образец, имеющий две способные направлять ПЭВ плоские грани, сопряженные закругленным ребром 3 с радиусом R, удовлетворяющим условию 10λ<R<L (где L - длина распространения ПЭВ); 2 - плоское зеркало, снабженное двумя осями вращения, одна из которых совпадает с ребром отражающей грани зеркала, прилегающим ко второй (по ходу пучка ПЭВ) грани образца 1, а вторая совпадает с нормалью к этой грани, восстановленной из центра пучка ПЭВ на выше упомянутом ребре зеркала; 4 - источник р-поляризованного монохроматического ИК излучения; 5 - элемент преобразования излучения источника 4 в ПЭВ; 6 - фотоприемник, размещенный на свободном ребре первой грани образца 1; 7 - измерительный прибор, подключенный к фотоприемнику 6.

Устройство работает, и способ осуществляется, следующим образом. Излучение источника 4, коллимированное в плоскости перпендикулярной плоскости падения, направляют на элемент 5, преобразующий объемную волну в параллельный пучок лучей ПЭВ на первой грани образца 1. Пройдя эту грань (содержащую элемент 5), ПЭВ преодолевает (с небольшими дополнительными, по сравнению с плоской поверхностью, радиационными потерями) закругленное ребро 3 и переходит на вторую грань образца 1. Пройдя некоторое расстояние по второй грани, ПЭВ взаимодействует с зеркалом 2, ребро которого, прилегающее к поверхности образца 1, отклонено от нормали к треку ПЭВ на угол β, что позволяет разнести треки поверхностных волн (падающей на зеркало 2 и отраженной от него) на угол 2β. В исходном состоянии зеркало 2 ориентировано перпендикулярно к поверхности образца 1, поэтому отраженное излучение существует в форме ПЭВ, которая достигает ребра 3, переходит со второй на первую грань образца 1 и падает на входное отверстие приемника 6, порождая регистрируемый прибором 7 сигнал. Затем зеркало 2 отклоняют от нормали к поверхности второй грани образца 1, постепенно увеличивая угол α и контролируя при этом величину сигнала, регистрируемого прибором 7. При некотором значении α=α* достигается равенство (1) и падающая на зеркало ПЭВ преобразуется в плоскую волну, уходящую в окружающую среду под углом 2α*, что сопровождается обнулением интенсивности отраженной ПЭВ и сигнала на приборе 7. Искомое значение показателя преломления κ' либо рассчитывают по формуле (2), подставляя в нее измеренное значение угла α*, либо определяют его по предварительно построенному графику зависимости (κ'-1) от α, рассчитанному по формуле (2) и представленному на Рис. 3. Наличие у образца 1 двух сопряженных скругленным ребром 3 плоских граней объясняется необходимостью экранирования приемника 6 от паразитных засветок его объемными волнами, порождаемыми при дифракции излучения источника 1 на элементе 5.

В качестве примера применения заявляемого способа, рассмотрим возможность определения показателя преломления ПЭВ, генерируемой излучением с λ=50 мкм на размещенной в вакууме плоской поверхности. Пусть зеркало 2, отражающее ПЭВ, установлено на гониометре, имеющем инструментальную погрешность равную 10ʺ, что соответствует 5×10-5 радиан, а измеренное значение угла α*=1°30'00ʺ; тогда искомое значение κ', согласно графику на Рис. 3, равно 1.00137±5×10-5. При этом, для определения значения α* исследователю потребуется контролировать наличие сигнала с прибора 7, изменяя угол наклона α зеркала 2 не более 540 раз (частное от деления значения угла α* на погрешность гониометра, равную 10ʺ). Определение же величины κ' способом, взятом в качестве прототипа, при соблюдении прочих равных условий измерений потребует значительно больше времени и усилий, поскольку этот способ-прототип предусматривает, во-первых, два этапа измерений (вначале амплитудных, затем фазовых), и, во-вторых, - для его реализации, при одной и той же точности определения κ', необходимо будет оценить результат интерференции опорного и реперного пучков в 5000 положениях наклонного зеркала, перемещаемого вдоль трека ПЭВ с шагом 10 мкм на расстояние 50 мм, соответствующее изменению разности фаз пучков на 2π.

Таким образом, замена двухэтапной методики амплитудно-фазовых измерений на определение угла наклона зеркала, при котором интенсивность отраженной им ПЭВ обнуляется, позволяет значительно упростить процедуру измерений, уменьшить ее продолжительность и трудоемкость без понижения точности определения показателя преломления ПЭВ.

Источники информации

1. Welford K. Surface plasmon-polaritons and their use // Optical and Quantum Electronics, 1991, v. 23, p. 1-27.

2. Жижин Г.Н., Кирьянов А.П., Никитин A.K., Хитров О.В. Способ определения показателя преломления поверхностной электромагнитной волны инфракрасной области спектра // Патент РФ на изобретение №2372591. - Бюл. №31 от 10.11.2009 г.

3. Gerasimov V.V., Knyazev В.A., Nikitin А.K. Terahertz dispersive spectros-copy for thin-film study via surface-plasmon - bulk wave interference // Вестник НГУ (Физика), 2010, т. 5, №4, c. 158-161.

4. Никитин A.K., Кирьянов А.П., Жижин Г.Н., Чудинова Г.К. Способ определения толщины однородного нанослоя в инфракрасном излучении // Патент РФ на изобретение №2470257. Бюл. №35 от 20.12.2012 г. (прототип)

5. Bell R.J., Goben С.А., Davarpanah М., Bhasin K., Begley D.L., Bauer A.C. Two-dimensional optics with surface electromagnetic waves // Applied Optics, 1975, v. 14 (6), p. 1322-1325.

Похожие патенты RU2629928C2

название год авторы номер документа
Интерферометр для определения показателя преломления инфракрасной поверхностной электромагнитной волны 2017
  • Никитин Алексей Константинович
  • Князев Борис Александрович
  • Герасимов Василий Валерьевич
  • Хасанов Илдус Шевкетович
RU2653590C1
Интерферометр Майкельсона для определения показателя преломления поверхностных плазмон-поляритонов терагерцевого диапазона 2019
  • Никитин Алексей Константинович
  • Хитров Олег Владимирович
RU2709600C1
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ НАБЕГА ФАЗЫ МОНОХРОМАТИЧЕСКОЙ ПОВЕРХНОСТНОЙ ЭЛЕКТРОМАГНИТНОЙ ВОЛНЫ ИНФРАКРАСНОГО ДИАПАЗОНА 2012
  • Кирьянов Анатолий Павлович
  • Князев Борис Александрович
  • Никитин Алексей Константинович
  • Хитров Олег Владимирович
RU2491522C1
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПОКАЗАТЕЛЯ ПРЕЛОМЛЕНИЯ ПОВЕРХНОСТНОЙ ЭЛЕКТРОМАГНИТНОЙ ВОЛНЫ ИНФРАКРАСНОЙ ОБЛАСТИ СПЕКТРА 2008
  • Жижин Герман Николаевич
  • Кирьянов Анатолий Павлович
  • Никитин Алексей Константинович
  • Хитров Олег Владимирович
RU2372591C1
ИНФРАКРАСНЫЙ АМПЛИТУДНО-ФАЗОВЫЙ ПЛАЗМОННЫЙ СПЕКТРОМЕТР 2014
  • Герасимов Василий Валерьевич
  • Князев Борис Александрович
  • Никитин Алексей Константинович
  • Та Тху Чанг
RU2573617C1
ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ПОВЕРХНОСТНЫХ ПЛАЗМОН-ПОЛЯРИТОНОВ ТЕРАГЕРЦЕВОГО ДИАПАЗОНА 2023
  • Герасимов Василий Валерьевич
  • Никитин Алексей Константинович
RU2804598C1
Статическое устройство для определения распределения интенсивности поля инфракрасной поверхностной электромагнитной волны вдоль её трека 2016
  • Никитин Алексей Константинович
  • Князев Борис Александрович
  • Герасимов Василий Валерьевич
RU2629909C1
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ОДНОРОДНОГО НАНОСЛОЯ В ИНФРАКРАСНОМ ИЗЛУЧЕНИИ 2012
  • Никитин Алексей Константинович
  • Кирьянов Анатолий Павлович
  • Жижин Герман Николаевич
  • Чудинова Галина Константиновна
RU2470257C1
Устройство для промера распределения поля инфракрасной поверхностной электромагнитной волны над её треком 2016
  • Никитин Алексей Константинович
  • Князев Борис Александрович
  • Герасимов Василий Валерьевич
RU2625641C1
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ГЛУБИНЫ ПРОНИКНОВЕНИЯ ПОЛЯ ТЕРАГЕРЦОВЫХ ПОВЕРХНОСТНЫХ ПЛАЗМОНОВ В ОКРУЖАЮЩУЮ СРЕДУ 2012
  • Князев Борис Александрович
  • Герасимов Василий Валерьевич
  • Никитин Алексей Константинович
RU2491533C1

Иллюстрации к изобретению RU 2 629 928 C2

Реферат патента 2017 года Способ определения показателя преломления монохроматической поверхностной электромагнитной волны инфракрасного диапазона

Изобретение относится к области оптических измерений и касается способа определения показателя преломления монохроматической поверхностной электромагнитной волны инфракрасного диапазона. Способ включает в себя генерацию волны на плоской поверхности образца, размещение на пути волны плоского зеркала, отражающая грань которого наклонена относительно нормали к поверхности образца в сторону направления распространения волны, регистрацию отраженного зеркалом излучения и расчет показателя по результатам измерений. Регистрацию излучения осуществляют на поверхности образца. Зеркало размещают в плоскости, не содержащей нормаль к плоскости падения излучения. При проведении измерений плавно увеличивают от нуля угол α между нормалью к плоскости образца и зеркалом, фиксируют такое его значение α*, при котором интенсивность регистрируемого излучения обнуляется. Величину показателя рассчитывают по формуле: Технический результат заключается в уменьшении продолжительности и трудоемкости измерений. 3 ил.

Формула изобретения RU 2 629 928 C2

Способ определения показателя преломления монохроматической поверхностной электромагнитной волны инфракрасного диапазона, включающий генерацию волны на плоской поверхности образца, размещение на пути волны плоского зеркала, отражающая грань которого наклонена относительно нормали к поверхности образца в сторону направления распространения волны, регистрацию отраженного зеркалом излучения и расчет показателя по результатам измерений, отличающийся тем, что регистрацию излучения осуществляют на поверхности образца, зеркало размещают в плоскости, не содержащей нормаль к плоскости падения излучения, и, плавно увеличивая от нуля угол α между нормалью к плоскости образца и зеркалом, фиксируют такое его значение α*, при котором интенсивность регистрируемого излучения обнуляется, а величину искомого показателя рассчитывают по формуле:

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 2017 года RU2629928C2

V
V
Gerasimov и др
"Interference Refractometry of Terahertz Surface Plasmon-Polaritons Launched by a Free-Electron Laser", BULLETIN OF PFUR SERIES MATHEMATICS INFORMATION SCIENCES PHYSICS, No 2, 2013 г
Устройство непрерывного автоматического тормоза с сжатым воздухом 1921
  • Казанцев Ф.П.
SU191A1
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ОДНОРОДНОГО НАНОСЛОЯ В ИНФРАКРАСНОМ ИЗЛУЧЕНИИ 2012
  • Никитин Алексей Константинович
  • Кирьянов Анатолий Павлович
  • Жижин Герман Николаевич
  • Чудинова Галина Константиновна
RU2470257C1
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПРОНИЦАЕМОСТИ ТВЕРДЫХ ТЕЛ В ИНФРАКРАСНОМ ДИАПАЗОНЕ СПЕКТРА 2004
  • Жижин Г.Н.
  • Никитин А.К.
  • Рыжова Т.А.
RU2263923C1
US 8976360 B2, 10.03.2015.

RU 2 629 928 C2

Авторы

Никитин Алексей Константинович

Князев Борис Александрович

Герасимов Василий Валерьевич

Даты

2017-09-04Публикация

2016-02-09Подача