Способ определения разницы длин плеч в двухлучевом волоконно-оптическом интерферометре Российский патент 2019 года по МПК G01B9/02 

Описание патента на изобретение RU2678708C1

Изобретение относится к области волоконно-оптических измерительных приборов и может быть использовано для создания волоконно-оптических датчиков на основе двухлучевых интерферометров Майкельсона или Маха-Цендера.

Известен способ измерения разницы длин плеч двухлучевых волоконно-оптических интерферометров [статья Anthony Dandridge «Zero path-length difference in fiber-optic interferometers» Journal of Lightwave Technology, Vol. 1 Iss 3, p 514-516, September 1983] Способ заключается в следующем: лазерный диод генерирует оптическое излучение, модулированное по частоте, которое поступает в двухлучевой волоконно-оптический интерферометр, интерференционный сигнал которого пропорционален глубине частотной модуляции и разнице длин плеч волоконно-оптического интерферометра. Разница длин плеч определяется выражением:

где с - скорость света, nэфф - эффективный показатель преломления оптического волокна, dV - изменение амплитуды интерференционного сигнала, dv - изменение частоты лазерного диода. Способ позволяет проводить измерения разницы длин плеч с точностью 1 мм. Для более точного определения разницы длин плеч лазерный диод переводится в некогерентный режим работы, после чего разница длин плеч волоконно-оптического интерферометра определяется по оценке видности интерференционной картины.

Недостатками известного способа являются: необходимость стабилизации рабочей точки интерферометра, необходимость перестройки режима работы лазерного диода, способ не позволяет проводить измерение разницы длин плеч нескольких волоконно-оптических интерферометров, объединенных в массив с мультиплексированием по времени.

Известен способ измерения разницы оптически путей интерферирующих волн в двухлучевых волоконно-оптических интерферометрах, выбранный в качестве прототипа [Патент США №20100171960, кл. 356/477 (G01B 9/02), дата публ. 08.07.2010]. Способ заключается в следующем: формирование частотно-модулированного оптического сигнала в волоконно-оптическом двухлучевом интерферометре с некоторой разницей длин плеч осуществляется с помощью частотной модуляции лазерного диода. Выходной интерференционный сигнал регистрируется фотоприемным устройством, раскладывается на отдельные гармоники с использованием функций Бесселя. Определение разницы длин плеч двухлучевого волоконно-оптического интерферометра определятся по соотношению между второй и четвертой гармониками интерференционного сигнала, и может быть выполнено только при разности фаз интерферирующих волн равной нулю.

Недостатками известного способа являются работа только при определенных положениях рабочей точки волоконно-оптического интерферометра, отсутствие возможности одновременного измерения разницы длин плеч нескольких волоконно-оптических интерферометров, объединенных в массив с мультиплексированием по времени.

Способ решает задачу одновременного определения разницы длин плеч одного или нескольких волоконно-оптических интерферометров, объединенных в массив с мультиплексированием по времени независимо от положения рабочих точек интерферометров.

Поставленная задача решается следующим образом. В способе определения разницы длин плеч в двухлучевом волоконно-оптическом интерферометре, включающем формирование направляемого в двухлучевой волоконно-оптический интерферометр частотно-модулированного оптического сигнала путем частотной модуляции лазерного диода и регистрацию интерференционного сигнала на фотоприемном устройстве, частотно-модулированный оптический сигнал дополнительно модулируют по амплитуде с помощью амплитудного модулятора путем подачи на него прямоугольных электрических импульсов постоянной скважности и одинаковой амплитуды и направляют его в один или N интерферометров, объединенных в массив с мультиплексированием по времени, где N - максимальное число интерферометров объединенных в массив в соответствии с оптическим бюджетом оптической схемы, в опорном плече каждого интерферометра производят вспомогательную модуляцию по фазе оптического импульса, проходящего по данному плечу, осуществляют демодуляцию полученного интерференционного сигнала и регистрируют выходной полезный фазовый сигнал ϕсиг(t), а искомую разницу длин опорного и чувствительного плеч двухлучевого волоконно-оптического интерферометра определяют из соотношения: , где ϕсиг - амплитуда полезного фазового сигнала ϕсиг(t), с - скорость света, nэфф - эффективный показатель преломления оптического волокна, Δv - максимальное изменение частоты лазерного диода.

Сущность заявляемого изобретения поясняется следующим.

Драйвер обеспечивает электрическую накачку постоянным и переменным током лазерного диода, который генерирует постоянное оптическое излучение, модулированное по частоте в диапазоне от сотни герц до нескольких килогерц. На лазерный диод подается электрический гармонический сигнал, что приводит к изменению генерируемой лазером частоты, пропорционально подаваемому электрическому сигналу. Функция изменения частоты лазерного диода может быть выражена:

где Δv - максимальное изменение частоты лазерного диода, ƒмод - частота модуляции лазерного диода, t - время.

Оптическое излучение от лазерного диода попадает на амплитудный модулятор, который формирует оптические импульсы. Работой амплитудного модулятора управляет генератор импульсов, который подает на амплитудный модулятор прямоугольные электрические импульсы постоянной скважности и одинаковой амплитуды. Оптические импульсы по своей форме повторяют электрические импульсы. Таким образом, с выхода оптического генератора на вход оптической схемы поступают оптические импульсы, модулированные по частоте.

Оптическая схема представляет собой один или N волоконно-оптических двухлучевых интерферометров, объединенных в массив с мультиплексированием по времени. Количество волоконно-оптических двухлучевых интерферометров (N) в массиве определяется оптическим бюджетом оптической схемы исследуемого массива волоконно-оптических интерферометров, который определяется мощностью используемого в оптической схеме лазерного диода и пороговой чувствительностью фотоприемного устройства, где под пороговой чувствительностью фотоприемного устройства понимается минимальный уровень мощности оптического сигнала, при котором обеспечивается равенство средних мощностей сигнала и шума на выходе фотоприемного устройства. Оптический бюджет оптической схемы исследуемого массива волоконно-оптических интерферометров не должен превышать разности между мощностью используемого лазерного диода и пороговой чувствительностью фотоприемного устройства, что является необходимым и достаточным условием для регистрации на фотоприемном устройстве оптических импульсов от каждого волоконно-оптического интерферометра исследуемого массива волоконно-оптических интерферометров с уровнем сигнала, превышающим пороговую чувствительность фотоприемного устройства.

Двухлучевой интерферометр имеет два плеча, одно из которых является опорным, а другое чувствительным. На входе в интерферометр оптический импульс делится на два равных по интенсивности оптических импульса с помощью волоконно-оптического разветвителя. В опорном плече интерферометра расположен фазовый модулятор, который производит вспомогательную модуляцию по фазе оптического импульса, проходящего по данному плечу. Сигнал вспомогательной фазовой модуляции ϕфм можно выразить:

где С - глубина фазовой модуляции, ƒфм - частота фазовой модуляции, t - время.

Если длина оптического волокна опорного плеча интерферометра Lоп не равна длине оптического волокна чувствительного плеча интерферометра Lчп, то оптические пути импульсов, проходящих по данным плечам, будут отличаться на величину:

где nэфф - эффективный показатель преломления оптического волокна, ΔL - разница длин оптических волокон опорного плеча и чувствительного плеча. Разницу длин оптических волокон опорного плеча и чувствительного плеча можно выразить:

Каждый из оптических импульсов в своем плече набирает набег фаз. Набег фаз в опорном плече составляет:

где v - частота оптического импульса, с - скорость света в вакууме. Набег фаз в чувствительном плече составляет:

Затем оптические импульсы поступают в волоконно-оптический разветвитель, где сводятся и интерферируют, образуя один интерференционный импульс. Интенсивность интерференционного импульса - интерференционный сигнал - можно представить следующим выражением:

где Iоп - интенсивность импульса, прошедшего по опорному плечу, Iчп - интенсивность импульса, прошедшего по чувствительному плечу, Δϕ(t) - разность фаз интерферирующих импульсов, ϕ0 - рабочая точка интерферометра. Разность фаз интерферирующих импульсов можно представить в виде:

Интерференционный импульс попадает на фотоприемное устройство, которое осуществляет его преобразование в электрическую форму. Электрический интерференционный сигнал имеет следующий вид:

где η - коэффициент преобразования оптического сигнала в электрический сигнал.

Затем с помощью фазового детектора производится обработка интерференционного электрического сигнала. Интерференционный электрический сигнал (10) может быть описан следующим выражением с использованием функций Бесселя:

Фазовый детектор выделяет из интерференционного сигнала (11) гармоники:

где J1(C) и J2(C) - функции Бесселя первого рода первого и второго порядков, соответственно. Затем производит деление первой гармоники (12) на вторую гармонику (13), вычисление значения функции арктангенса от результата деления и фильтрацию высоких частот для удаления рабочей точки интерферометра ϕ0. В результате проведения данных операций на выходе фазового детектора выходной полезный фазовый сигнал можно представить в виде:

Амплитуда данного полезного фазового сигнала прямо пропорциональна разнице длин оптических волокон опорного плеча и чувствительного плеча и равна:

Из полученного выражения можно найти искомую разницу длин оптических волокон опорного плеча и чувствительного плеча:

Таким образом, заявляемый способ обеспечивает определение разницы длин плеч одного или нескольких волоконно-оптических интерферометров, объединенных в массив с мультиплексированием по времени независимо от положения рабочих точек интерферометров.

Сущность заявляемого способа поясняется чертежами.

На фиг. 1 показана структурная схема системы состоящей из лазерного диода, N двухлучевых интерферометров, объединенных в массив с мультиплексированием по времени, и система приема сигнала с интерферометров.

На фиг. 2 показаны оптические импульсы в оптической схеме массива волоконно-оптических интерферометров.

На фиг. 3. показан спектр сигнала после обработки с одного волоконно-оптического интерферометра из массива, указан полезный фазовый сигнал - спектральная составляющая частотной модуляции лазерного диода с частотой 500 Гц.

Заявляемый способ может быть осуществлен с помощью устройства, представленного на фиг. 1. Устройство содержит драйвер 1, представляющий собой электрическую схему источника переменного и постоянного тока, выход которого электрически соединен с входом лазерного диода 2, представляющего собой полупроводниковый лазерный источник оптического излучения, снабженный волоконно-оптическим выводом. Лазерный диод 2 с помощью волоконно-оптического вывода соединен оптически с амплитудным модулятором 3, который представляет собой электрооптическое устройство, управляемое подачей внешнего электрического сигнала. Генератор импульсов 4 соединен электрически с амплитудным модулятором 3. Амплитудный модулятор оптически соединен с портом 5а волоконно-оптического циркулятора 5. Волоконно-оптический циркулятор 5 через порт 5b соединен с массивом волоконно-оптических интерферометров 6. Массив волоконно-оптических интерферометров 6 состоит из N волоконно-оптических интерферометров от 71 до 7N (двухлучевые волоконно-оптические интерферометры Майкельсона). Все интерферометры соединены оптически между собой волоконно-оптическими Y-разветвителями 81-8N-1. Каждый волоконно-оптический интерферометр 71-7N состоит из волоконно-оптического Y-разветвителя 91-9N, каждый из которых имеет 2 плеча: опорное 101-10N и чувствительное 111-11N. На торце оптического волокна, формирующего опорное плечо 101-10N, сформировано светоотражающее зеркало 121-12N. На торце оптического волокна, формирующего чувствительное плечо 111-11N, сформировано светоотражающее зеркало 131-13N. В опорном плече 101-10N каждого волоконно-оптического интерферометра расположен фазовый модулятор 141-14N, каждый из которых соединен с генератором 15. Выходной порт 5с волоконно-оптического циркулятора 5 соединен оптически с фотоприемным устройством 16 (ФПУ). ФПУ 16 электрически соединено с фазовым детектором 17.

Заявляемый способ осуществляется следующим образом. Драйвер формирует электрический гармонический сигнал с постоянным положительным смещением и подает его на лазерный диод 2. Лазерный диод 2 генерирует постоянное оптическое излучение, модулированное по частоте, которое поступает на вход амплитудного модулятора 3. Генератор импульсов 4 управляет амплитудным модулятором 3 путем подачи на него периодически следующих прямоугольных электрических импульсов, постоянной амплитуды и скважности. В результате, в каждый момент времени, когда на амплитудный модулятор 3 приходит прямоугольный электрический импульс, амплитудный модулятор 3 пропускает оптическое излучение от лазерного диода 2. В каждый момент времени, когда на амплитудный модулятор 3 не приходит прямоугольный электрический импульс, амплитудный модулятор 3 не пропускает оптическое излучение от лазерного диода 2. Таким образом, амплитудный модулятор 3 формирует периодически следующие оптические импульсы, которые совпадают по форме и скважности с теми, что формирует генератор импульсов 4. Оптические импульсы попадают на порт 5а волоконно-оптического циркулятора 5. Волоконно-оптический циркулятор 5 работает следующим образом: порт 5а пропускает оптический сигнал только в порт 5b (только по направлению от 5а к 5b), порт 5b пропускает оптический сигнал только в порт 5с (только по направлению от 5b к 5с).

Оптический импульс следует из порта 5b волоконно-оптического циркулятора 5, попадает в массив волоконно-оптических интерферометров 6, затем попадет на волоконно-оптический Y-разветвитель 81, делится на два импульса: один импульс попадает в волоконно-оптический интерферометр 71, другой оптический импульс попадает на волоконно-оптический Y-разветвитель 82, где также делится на два оптических импульса. В итоге, каждый оптический импульс, попадающий в массив волоконно-оптических датчиков 6, поэтапно делится на N импульсов с помощью N-1 волоконно-оптических Y-разветвителей 81-8N-1 и попадает в N волоконно-оптических интерферометров 71-7N.

Каждый из волоконно-оптических интерферометров 71-7N работает одинаково, дальнейшее описание сформировано на основе описания принципа работы первого волоконно-оптического интерферометра 71 из массива волоконно-оптических интерферометров 6. В волоконно-оптическом интерферометре 71 оптический импульс, проходя через волоконно-оптический Y-разветвитель 91, делится на два одинаковых оптических импульса. Один оптический импульс попадает в опорное плечо 101, проходит по нему, отражается от светоотражающего зеркала 121, попадет обратно в волоконно-оптический Y-разветвитель 91. Оптический импульс в опорном плече 101 подвергается фазовой модуляции с помощью фазового модулятора 141. Гармонический электрический сигнал фазовой модуляции подается на фазовый модулятор 141 от генератора 15. Другой оптический импульс попадает - в чувствительное плечо 111, проходит по нему, отражается от светоотражающего зеркала 131, попадет обратно в волоконно-оптический Y-разветвитель 91. В волоконно-оптическом Y-разветвителе 91 оптические импульсы интерферируют, получается один интерференционный импульс. Интерференционный импульс проходит через волоконно-оптический Y-разветвитель 81, попадает в порт 5b волоконно-оптического циркулятора 5, проходит по нему и попадает на ФПУ 16. В общем на ФПУ 16 попадают N интерференционных оптических импульсов, по одному от каждого волоконно-оптического интерферометра 71-7N. ФПУ 16 производит преобразование оптических интерференционных импульсов в электрическую форму. Затем электрические интерференционные импульсы попадают в фазовый детектор 17, который осуществляет их обработку и выделение полезного фазового сигнала.

В качестве конкретного примера предлагается способ определения разницы длин плеч в двухлучевых волоконно-оптических интерферометрах, в котором в качестве массива волоконно-оптических интерферометров выступает массив из 8 двухлучевых волоконно-оптических интерферометров Майкельсона, мультиплексированных по времени.

В качестве лазерного диода выступает поверхностно-излучающий лазер с вертикальным резонатором (VCSEL). Драйвер - источник постоянного и переменного тока подает на VCSEL синусоидальный электрический сигнал частотой 500 Гц с постоянным положительным смещением, в результате чего VCSEL генерирует частотно-модулированный оптический сигнал. В качестве амплитудного модуляторы выступает электрооптический амплитудный модулятор, на который генератор импульсов подает прямоугольные электрические импульсы длительностью 10 не с периодом следования 1 мкс. С выхода модулятора в волоконно-оптический циркулятор попадают модулированные по частоте оптические импульсы длительностью 10 не, следующие с периодом 1 мкс. С выхода волоконно-оптического циркулятора оптические импульсы попадают в массив из 8 волоконно-оптических интерферометров Майкельсона. Интерференционные оптические импульсы с массива волоконно-оптических интерферометров поступают на ФПУ, которое состоит из фотодиода с волоконным выводом PDI-40 и трансимпедансного усилителя ADA4817. Оптический бюджет исследуемого массива волоконно-оптических интерферометров составляет 36 дБ и не превышает разности в 40 дБ между мощностью лазерного диода VCSEL и пороговой чувствительностью фотоприемного устройства на основе фотодиода PDI-40 и трансимпедансного усилителя ADA4817. Фазовый детектор представляет собой совокупность аналого-цифрового преобразователя АЦП, который преобразует аналоговый электрический сигнал с ФПУ в цифровую форму, и программируемой логической интегральной схемы ПЛИС, в которой программно реализована обработка интерференционного сигнала.

На фиг. 3. показан спектр сигнала с одного интерферометра после обработки с помощью фазового детектора, полученный экспериментальным путем. На фиг. 3. отчетливо видна спектральная составляющая полезного фазового сигнала вызванного частотной модуляцией VCSEL и разницей длин плеч интерферометров, амплитуда полезного фазового сигнала составляет 2,289 рад, что соответствует разнице длин плеч интерферометров 28,27 мм.

Таким образом, заявляемый способ определения разницы длин плеч в двухлучевом волоконно-оптическом интерферометре обеспечивает одновременное проведение измерений разницы длин плеч одного или нескольких двухлучевых волоконно-оптических интерферометров, объединенных в массив с мультиплексированием по времени, за счет формирования оптических импульсов, одновременной фазовой и частотной модуляции оптических импульсов и применения демодуляции интерференционного сигнала, не чувствительной к положению рабочих точек интерферометров.

Похожие патенты RU2678708C1

название год авторы номер документа
Способ измерения фазового сигнала двухлучевого волоконно-оптического интерферометра 2019
  • Плотников Михаил Юрьевич
  • Волков Антон Валерьевич
RU2719635C1
СПОСОБ ЧАСТОТНО-ИМПУЛЬСНОЙ МОДУЛЯЦИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ЛАЗЕРНОГО ИСТОЧНИКА ОПТИЧЕСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ ДЛЯ ОПРОСА ОПТИЧЕСКИХ ИНТЕРФЕРОМЕТРИЧЕСКИХ ДАТЧИКОВ 2016
  • Киреенков Александр Юрьевич
  • Алейник Артем Сергеевич
  • Плотников Михаил Юрьевич
  • Мехреньгин Михаил Викторович
RU2646420C1
Способ измерения фазового сигнала двулучевого волоконно-оптического интерферометра 2020
  • Власов Александр Андреевич
  • Плотников Михаил Юрьевич
  • Алейник Артем Сергеевич
RU2742106C1
ВОЛОКОННО-ОПТИЧЕСКОЕ ИНТЕРФЕРОМЕТРИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕГИСТРАЦИИ ФАЗОВЫХ СИГНАЛОВ 2016
  • Куликов Андрей Владимирович
  • Мешковский Игорь Касьянович
  • Ефимов Михаил Евгеньевич
RU2624837C1
РАСПРЕДЕЛЕННАЯ КОГЕРЕНТНАЯ РЕФЛЕКТОМЕТРИЧЕСКАЯ СИСТЕМА С ФАЗОВОЙ ДЕМОДУЛЯЦИЕЙ (ВАРИАНТЫ) 2012
  • Яцеев Василий Артурович
  • Зотов Алексей Михайлович
RU2530244C2
Устройство регистрации малых изменений длины интерференционных волоконно-оптических сенсоров 2023
  • Волков Петр Витальевич
  • Вязанкин Олег Сергеевич
  • Горюнов Александр Владимирович
  • Лукьянов Андрей Юрьевич
  • Семиков Даниил Александрович
RU2824305C1
Многоканальная волоконно-оптическая система детектирования и измерения параметров сигналов акустической эмиссии 2020
  • Львов Николай Леонидович
  • Волков Петр Витальевич
  • Денисов Дмитрий Михайлович
  • Гавриков Михаил Юрьевич
  • Хабаров Станислав Сергеевич
RU2752133C1
СПОСОБ ОЦЕНКИ ВИБРАЦИОННЫХ ИЛИ АКУСТИЧЕСКИХ СИГНАЛОВ ВДОЛЬ ПРОТЯЖЕННЫХ ОБЪЕКТОВ НА БАЗЕ ВОЛОКОННО-ОПТИЧЕСКОГО КОГЕРЕНТНОГО РЕФЛЕКТОМЕТРА С АМПЛИТУДНОЙ И ФАЗОВОЙ МОДУЛЯЦИЕЙ ЗОНДИРУЮЩЕГО ИЗЛУЧЕНИЯ 2016
  • Ненашев Анатолий Сергеевич
  • Чернов Сергей Александрович
  • Дуркин Юрий Владимирович
RU2624594C1
Способ и устройство генерации квантовых состояний с фазовым кодированием и состоянием ловушек 2022
  • Алфёров Сергей Владимирович
  • Паргачёв Иван Андреевич
RU2814147C1
СПОСОБ КОНТРОЛЯ ПОЛЯ ВИБРАЦИЙ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ 2014
  • Вдовенко Виктор Сергеевич
  • Горшков Борис Георгиевич
  • Зазирный Дмитрий Владимирович
  • Зазирный Максим Владимирович
RU2568416C1

Иллюстрации к изобретению RU 2 678 708 C1

Реферат патента 2019 года Способ определения разницы длин плеч в двухлучевом волоконно-оптическом интерферометре

Изобретение относится к области волоконно-оптических измерительных приборов. Способ определения разницы длин плеч в двухлучевом волоконно-оптическом интерферометре заключается в формировании направляемого в двухлучевой волоконно-оптический интерферометр частотно-модулированного оптического сигнала путем частотной модуляции лазерного диода и регистрации интерференционного сигнала на фотоприемном устройстве. Частотно-модулированный оптический сигнал дополнительно модулируют по амплитуде с помощью амплитудного модулятора путем подачи на него прямоугольных электрических импульсов постоянной скважности и одинаковой амплитуды и направляют его в один или N интерферометров, объединенных в массив с мультиплексированием по времени, в опорном плече каждого интерферометра производят вспомогательную модуляцию по фазе оптического импульса, проходящего по данному плечу, осуществляют демодуляцию полученного интерференционного сигнала и регистрируют выходной полезный фазовый сигнал. Вычисляют разницу длин опорного и чувствительного плеч двухлучевого волоконно-оптического интерферометра. Технический результат заключается в обеспечении одновременного определения разницы длин плеч одного или нескольких волоконно-оптических интерферометров, объединенных в массив с мультиплексированием по времени независимо от положения рабочих точек интерферометров. 3 ил.

Формула изобретения RU 2 678 708 C1

Способ определения разницы длин плеч в двухлучевом волоконно-оптическом интерферометре, включающий формирование направляемого в двухлучевой волоконно-оптический интерферометр частотно-модулированного оптического сигнала путем частотной модуляции лазерного диода и регистрацию интерференционного сигнала на фотоприемном устройстве, отличающийся тем, что частотно-модулированный оптический сигнал дополнительно модулируют по амплитуде с помощью амплитудного модулятора путем подачи на него прямоугольных электрических импульсов постоянной скважности и одинаковой амплитуды и направляют его в один или N интерферометров, объединенных в массив с мультиплексированием по времени, в опорном плече каждого интерферометра производят вспомогательную модуляцию по фазе оптического импульса, проходящего по данному плечу, осуществляют демодуляцию полученного интерференционного сигнала и регистрируют выходной полезный фазовый сигнал ϕсиг(t), а искомую разницу длин опорного и чувствительного плеч двухлучевого волоконно-оптического интерферометра определяют из соотношения:, где ϕсиг - амплитуда полезного фазового сигнала ϕсиг(t), с - скорость света, nэфф - эффективный показатель преломления оптического волокна, Δν - максимальное изменение частоты лазерного диода, а N - количество интерферометров в массиве, определяемое оптическим бюджетом оптической схемы исследуемого массива волоконно-оптических интерферометров.

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 2019 года RU2678708C1

US 20100171960 A1, 08.08.2010
СПОСОБ ЛАТЫШЕВА-ЛУКЬЯНОВА-СЕМЕНОВА ОПРЕДЕЛЕНИЯ РАЗБАЛАНСА ДВУХЛУЧЕВОГО ИНТЕРФЕРОМЕТРА 1991
  • Латышев А.Б.
  • Лукьянов Д.А.
  • Семенов А.В.
RU2025674C1
ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ МИКРОСКОП 2013
  • Вишняков Геннадий Николаевич
  • Левин Геннадий Генрихович
  • Латушко Михаил Иванович
RU2527316C1
ИНТЕРФЕРОМЕТРИЧЕСКОЕ ИЗМЕРИТЕЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО (ВАРИАНТЫ) 2005
  • Волков Петр Витальевич
  • Горюнов Александр Владимирович
  • Тертышник Анатолий Данилович
RU2307318C1

RU 2 678 708 C1

Авторы

Кириеенков Александр Юрьевич

Алейник Артем Сергеевич

Плотников Михаил Юрьевич

Даты

2019-01-31Публикация

2017-11-23Подача