Способ изготовления светофильтров для коррекции освещенности при экспонировании экранов цветных кинескопов Советский патент 1983 года по МПК H01J9/20 

Изобретение относится к электронной технике, в частности к технологи изготовления светофильтров, применяемых при нанесении экранов цветных кинескопов. Известны способы изготовления све тофильтров нанесением на рабочую поверхность линзы фоточувствительного слоя с последующим экспонированием и проявлением С 1. Однако полученные такими способами покрытия, легко повреждаются механически , имеют малый срок службы и ограниченный диапазон оптической плотности. Известен также способ изготовления светофильтров, заключающийся в вакуумном напылении пленки хрома на промежуточный испаритель и перепылении пленки на кварцевую подложку све тофильтра |,2 , Однако получить указанным способом светопоглощающее покрытие с необходимым распределением толщины пок рытия не представляется возможным из-за того, что распыляемый материал конденсируется на холодную подложку, поэтому не обеспечивается достаточная адгезия материала к промежуточному испарителю и при перепылении на подложку рисунок искажается. Это делает невозможным получение светофильтров сложной асимметричной формы, необходимых для обеспечения равной экспозиции по всей площади экрана цветного кинескопа при его изготовлении фотоспособом. Целью изобретения является повышение качества цветных кинескопов. Указанная цель достигается тем, что согласно способу изготовления светофильтров для коррекции освещен ности при экспонировании экранов цветных кинескопов, заключающемуся в вакуумном напылении пленки хрома на промежуточный испаритель и перерылении пленки на кварцевую подложку светофильтра, напыление.пленки 3 осуществляют на промежутомный испа(эитель , прогретый до 15015С и подрожку, нагретую до , причем напыление пленки на промежуточный Испаритель производят через трафаре т.. При этом наилучшее качество покэытия получается, если напыление осуществляют со скоростью Л/С. В предлагаемом способе промежуточный плоский испаритель служит подложкой конденсата. На нем с помощью трафарета создается предварительная форма будущего покрытия, которое.должно иметь конфигурацию, соответствующую типу кинескопа и распределению плотности светофильтр и хорошую адгезию к подложке. Темпе ратура промежуточного испарителя 145°С является минимально допустимой температурой, которая обеспечивает формирование конденсата ,, не от слаивающегося при последующем перепылении. Нагрев до более высокой те пературы практически нецелесообразен , так как не оказывает влияния на качество покрытия. Что касается состава и парциального давления остаточных газов во время напыления (давление ниже 8 Па), то они не оказывают стол существенного влияния на адгезию пленки к промежуточному испарению или к подложке светофильтра, которое привело бы к отслаиванию осажденной пленки. Степень загрязнения подложки оказывает существенное вли яние на свойства пленок, |1оэтому пр межуточный испаритель очищается про калкой в вакууме при температуре не сколько высшей, чем температура испарения хрома. Подложка светофильтра также подвергается очистке. Выбор температуры подложки светофильтра обусловлен следующим соображением. Прогрев подложки должен создать высокую адгезию материала светофильтра к ее поверхности, чтоб обеспечить длительную ( не менее год эксплуатацию светофильтра в производственных условиях. Понижение тем пературы подложки при напылении сопровождается резким ухудшением адгезии пленки светофильтра к ее поверхности. Повышение температуры по ложки сверх оптимальной (, Т 00±5° С) увелич;ивает впекаемость пленки в прозрачное основание , что суш.ествен 124 но затрудняет процесс регенерации дорогостоящей подложки после выхода из строя светофильтра. Если напыление пленки на промежуточный испаритель проводится при тем пературе ниже 150±5°С то при перепылении конденсата на прозрачную подложку он частично отслаивается, что отрицательно влияет на качество светофильтра (см.таблицу). Величина скорости напыления как на промежуточный испаритель, так и на подложку светофильтра выбрана экспериментально и является компромиссным решением двух конкурирующих задач , а именно стремление получить сплошную; безостровковую пленку светофильтра при возможно малых толщинах требует увеличения скорости осаждения, в свою очередь, слишком энергичное распыление вещества светофильтра сопровождается его разбрыз гиванием, что приводит к искажениям градиента оптической плотности светофильтра. Экспериментально установлено, что Незначительные отклонения в параметрах процесса напыления влекут за собой в конечном счете заметные отклонения величин коэффициента прозрачности светофильтра. Критерием для определения пределов изменения указанных параметров является требование о недопустимости отклонения коэффициента прозрачности светофильтра более чем на 2% в ту или другую сторону от требуемого при фиксированной навеске распыляемого вещества. Поверхностное распределение оптической плотности светофильтра регулируется площадью, формой и взаимным расположением отверстий трафарета, величиной навески испаряемого вещества, расстоянием между испарителями, а также между промежуточным испарителем и подложкой светофильтра. П р и и е р. По предложенному и известному способам изготовлены светопоглощающие покрытия на кварцевых линзах, используемых для корректировки светового потока на установках Экспонирования мозаичных экранов 61ЛКЗЦ и экранов со щелевой маской 25ЛК2Ц. Изготовление светофильтров для экспонирования экрана 25ЛК2Ц осуществляется в установке вакуумного напыления УРМ 3-279-017 следукхчим образом.

Вольфрамовые ленточные испарители выставляются один над другим таким образом, чтобы линия, соединяющая их центры, являлась вертикалью длиной 90 мм, плоскости испарителей при этомs должны быть горизонтальны. С нижней поверхностью верхнего промежуточного испарителя совмещается трафарет.В нижний испаритель помещается навеска металлического хрома массой20±0,1 мг ю После достижения вакуума psSltPTla на промежуточный испаритель,нагретый до температуры , напыляется хром. Затем удаляется трафарет , а между испарителями, соблюдая взаим- 15 ную центровку, устанавливается подложка - кварцевая линза ф227 на рас стоянии 18 мм от промежуточного испарителя и на ее верхнюю поверхность нагретую до , сублимируется 20 конденсат с промежуточного испарителя.

Светофильтры, полученные по известному и предлагаемому способам, ис- 25 пользованы при фотоэкспонировании экранов.

Результаты корир«ктировки светового потока указанными светофильтрами зо сведены в таблицу , где в относительных единицах даны величины светового потока, замерянные в пятнадцати точках на поверхности экрана.

Из таблицы видно , что даже при симметричном распределении светового потока установки фотоэкспонирования коррекция лучше обеспечивается светофильтром, полученным по предлагаемому способу. А при несимметричной индикатрисе излучения световода коррекция обеспечивается только светофильтром, изготовленным по предлагаемой технологии(см. графу отклонения реальной освещенности от требуемой).

Применение предлагаемого способа изготовления светопоглощающего покрытия обеспечивает по сравнению с известным следующие преимущества: возможность изготовления несимметричных светофильтров сложной конфигурации; простоту технологии.

Технологическая простота позволяет реализовать его на любой установке вакуумного напыления.

Изготовленные по предлагаемому способу светопоглощающие покрытия для корректировки светового потока на установках экспонирования дают возможность наладить серийный выпуск экранов цветных кинескопов 25Ж2Ц и улучшить качество экранов кинескопов 61ЛКЗЦ.

9100521210

Формула изобретения напыление пленки на промежуточный

1. Способ изготовления светофильт- 2. Способ по п.1 , о т л и ч а юров для коррекции освещенности при щ и и с я тем, что напыление и пеэкспонировании экранов цветных кине- 5 репыление пленки осуществляют со скопов, заключающийся в вакуумном скоростью А/С, напылении пленки хрома на промежу-Источники информации ,

точный испаритель и перепылении плен- принятые во внимание при экспертизе ки на,кварцевую подложку светофильт- 1. Малкиель В. С. Современное со

ра, отличающийся тем, стояние и пути улучшения качества

что с целью повышения качества цвет-цветных кинескопов. Зарубежная элек

ных кинескопов, напылен,ие пленки осу-1тронная техника, |19(), 1976,

ществляют на промежуточный испари-стр. . тель прогретый до С и под- 2, Патент США ff , ложку, нагретую до , причем кл. 117-215 i опублик. 1968 (прототип).

испаритель производят через трафарет,