Узел уплотнения Советский патент 1983 года по МПК C23C13/08 

Изобретение огносигся к вакуумной технике, в часгносги к элементам вакуумных систем и может найти применение для уплотнения узлов при ввоце объектов в камеру с разреженным пространством или извлечения их из нее без нарушения вакуума.. Известен узел уплотнения, преимущес венно для вакуумных шлюзовых устройств соаержащий полый корпус,плиту с уплот- нением, закрепленную на штоке привода возвратно-поступательного перемещения f К недостаткам этого устройства следует отнести значительные его габариты необходимость приложения больших усиЛИЙ при герметизации и повышенная металлоемкость конструкции ввиду наличия большого количества нагруженных элемен тов.. Наиболее близ|сим к предлагаемому по технической сущности является узел уплотнения, используемый преимуществен но для вакуумных шлюзовых устройств, содержащий полый корпус с выступом «на его рабочем торце, плит с уплотнением, закрепленную на штоке привода возврагн поступательнрго перемещения 2 . .Узел имеет значительные габариты из-за массивности стенок корпуса и. привода возвратно-поступательного перемещения. Для герметизации узла необходимы значительные усилия, а в данной конструкции шток и элементы крепления при герметизации, испытывают большие нагрузки. Цель изобретения - уменьшение габаритов и металлвемкости узла уплотнения. Это достигается тем, что в узел уплотнения, преимущественно .для вгисуумных шлюзовых устройств, содержащий полый корпус с выступом на его -рабочем торце и плиту с уплотнением, закреп ленную на штоке привода возвратнопоступательного перемещения, снабжен замком, размещенным в выступе полого корпуса перпендикулярно к его стенкам, запирающей крьпикой, закрепленной на штоке привода возвратно-поступательного перемещения коаксиально выступу корпу са и плите, и уплотняющим поршнем, а в рабочем торце полого кортуса соосно с уплотнением выполнен кольцевая паз, служащий для размешеяия уплотняющего поршня. На фиг. i привеаена KOHCTPVKORH узла уплотнения, разрез; на фиг. 2 - конструк ция замка в открытом и закрытом положейиигУстройство содержит полый корпус 1, установленный в вакуумной камере 2. Полый корпус 1 закреплен на камере 2 с помощью фланцево-болтового соединения 3 через уплотнительную плокладку 4, Полый корпус 1 сообщается с камерой 2 через загрузочный проем 5. С внешней стороны полый корпус 1 герметизируется съемным фланцем 6 через уплотнительную прокладку 7. Фланец 6 вместе со штоком 8 представляет плунжерную пару. На конце штока 8 установлен исследуемый объект 9. С внутренней стороны вакуумной камеры 2 полый корпус 1 герметизируется плитой 10, с уплотнением 11. На торце плиты 10 выполнена кольцевая канавка 12. Плита 10 установлена на подвижном штоке 13, который с направляющей 14- на камере 2 составляет плунжерную пару. Для удержания плиты 1О полый корпус 1 снабжен замком- 15, для закрывания которюго служит крьщ1ка 16. Пружина 17 находится между плитой 10 и запирающей крышкой 16 и обеспечивает Требуемое расположение плиты 1О относительно этой крышки. В кольцевом пазу 18 полого корпуса 1 установлен уплотнительный поршень 19. Полость паза 18 сообщена трубопроводом 20 через редуктор 21 с баллоном сжатого газа 22. Рукоятки 23 и 24 служат для .передвижения штоков 8 и 13 и расположены снаружи полого корпуса 2. Для закрепления штока 13 в заданных положениях служит фиксатор 25. Патрубок 26, установленный в наружном фланце 6, предназначен длявакуумирования полого корпуса 1. Замок 15 (фиг. 2) состоит из шарика 27, пружины 28, усилие деформации которой меньше усилия деформации пружины 17 и грибка 29. , Устройство работает следующим обраLsoM. Выводят исследуемый объект 9 из вакуумной камеры 2 через загрузочный проем 5 во внутреннюю полость корпуса 1 при помоши рукоятки 23 и штока 8, Затем с помощью рукоятэд 24 и штока 13 к проему 5 подводится плита 1О до упора уплотнения 11 с уплотнительным поршнем 19, при этом пружина 28 сжимается и шарик 27 попадает в кольцевую кана&ку 12. При дальнейшей подаче штока 13 пружина 17 сжимается и запирающая крышка 16 находит на выступ корпус 1 и утапливает грибок 29, который упирается в шарик 27. Шток 13 крепится фиксатором 25. Затем в полость 1О по трубопроводу 20 через редуктор 21 из

баллона 22 поаается газ поа необхоцимымоавлением, при эгом поршень 19 выцвигаегся, врезаясь в уплотнение 11, герметизируя вакуумную камеру 1. После того, как аавление в камере 1 сравнива- егся с наружным при помощи патрубка 26 фланец 6 отсоепиняется от камеры 2 и нсслецуемый объект 9 навлекается из полого корпуса 1.

Ввоц объекта 9 в вакуумную камеру 2 осушесгвляется в обратной послепо.вательносги.

Объект 9 ввоаигся в полый корпус 1, которъй затем герметизируется с помощь фланца 6 и проклацки 7. Патрубок 26 поцсоеанняется к вакуум-насосу и полый корпус 1 откачивается до необхоцимого аавления. Давление стравливается из паза 18, освобожаается фиксатор 25 и с помощью рукоятки 24 и штока 13 ор-

воцится запира1рщая крьпика 16, при этом грибок 29 освобождает шартис 27 и плита 10 свободно отходит со штоком Загрузочный проем 5 открывается и исследуемый объект 9 вводится в рабочую аону камеры 2.

Испытания опытного образца показывают положительные результаты. Применение замка совместно с уплогнигельным поршнем и использование давления сжатого газа для создания необходимых усилий герметизация дало возможность значительно упростить конструкцию узла, уменыинть его габариты и разгрузить его элементы от значительных усилий, возникающих прт герметизаций, уменьшить металлоемкость и расширить диапазон создания необходимых усилий герметизации.

УЗЕЛ УПЛОТНЕНИЯ, преиму, щественно пля вакуумных шлюзовых уст- ройств, соаержаший полый корпус с выо тупом на его рабочем торце и плиту с уплотнением, закрепленную на штоке привоаа возвратно-поступательного пере- , огличаюшийся тем, что, с целью уменьшения габаритов и металлоемкости, он сна&кен замком, размешенным в выступе полого корпуса перпеноикулярно к его стенкам, запирающей крышк, закрепленной на штоке привоаа возвратно-поступательного перемещения коеиссиально выступу корпуса и пли-г те, и уплотняющим поршнем, .а в рабочем торце полого корпуса соосно с уплотнением выполнен кольцевой паз, служащий цля размещения уплотняющего поршня.

/

y//Z /////A