Криосорбционный насос Советский патент 1983 года по МПК F04B37/02 

Изобретение относится к вакуумной технике.

По основному авт. св. bfe 566958

известен криосорбиионный насос, содержащий корпус с периферийным патрубком ввода откачиваемого газа 1 вентральным отводным патрубком и, размещенные в корпусе охпаждающий элемент и спой сор бента, п1ри этом охпаждаюший эпементвыпопнен в виде сосуда с коаксмаггьными выступами, входящими в спой сорбента с образованием лабиринтного канапа дпя газа, подключенного к патрубкам f 1J.

Недостатком известного криосорбционного насоса является то, что откачиваемый газ, поступаюитй от вакуумируемог объекта к сорбенту, имеет сравнительно высокую (комнатную) температуру и Mone купы газа обладают большой энергией, вспедствие чего снижается быстродействи насоса, поскольку молекулы .теплого газа плохо поглощаются сорбентом.

Цель изобретения - повышение быстродействия насоса.

Указанная цель достигается тем, что криосорбционный насос, содержащий корпус с периферийным патрубком ввода откачиваемого газа и центральным отводным iiaTpyeKOM. и размещенные в корпусе охлаждающий элемент и слой сорбента, при этом охлаждающий элемент выполнен в виде сосуда с коаксиальными выступами, входящими в слой сорбента с образованием лабиринтного канала для газа, подключенного к патрубкам, снабжен расположенными в сосуде по окружности трубками, и лабиринтный канал для газа подключен к патрубкам при помощи этих трубок.

Трубки могут быть выполнены криволинейными и закреплены в торцовых стенках сосуда.

На фиг. 1 изображен предлагаемый HacoCj продольный разрез; на фиг. 2 разрез А-А на фиг. 1.

Криосорбционный насос содержит корпус 1 с периферийным патрубком 2 ввода откачиваемого газа и центральным отводным патрубком 3, и размещенные в

корпусе 1 охлаждающий элемент и слой сорбента 4. Охлаждающий элемент выполнен в виде сосуда 5 с коаксиальными выступами 6, входящими в слой сорбента 4 с образованием лабиринтного канапа для газа, подключенного к патрубкам 2 и 3. Насос снабжен расположенными в сосуде 5 по окружности трубками 7. Лабиринтный канал для газа подключен к патрубкам 2 и 3 при помощи трубок 7, которые выполнены криволинейными и закреплены в торцовых стенках сосуда 5.

Криосорбционный насос работает следующим образом.

Охлаждаемый сорбент 4 поглощает газ находящийся внутри корпуса 1 насоса, в результате чего в нем возникает вакуум, и газ от вакуумируемого объекта начинает поступать через патрубок 2 в насос. При достижении вакуума на выходе начинает работать диффузионный насос (не показан), который создает на выходе криосорбционного насоса давление меньше, чем на входе. Благодаря полученной разности давлеййй поток газа последовательно прокачивается через трубки 7 и лабиринтш 1й канал. Молекулы откачиваемого газа, проходя через трубки 7, выполненные криволинейными, т.е. оптически непроницаемыми, испытывают многократные столкновения с Охлажденными внутрен шми поверхностями упомянутых трубок, обмениваясь с ними энергией, т.е. охлаждалась. При этом газ охлаждается до температуры, близкой к температуре жидкого сладагента, энергия молекул газа уменьщается, в результате чего он более э4 фективно поглощается сорбентом 4, и увеличивает быстродейстбие криосорбцйонного насоса. Благодаря большому числу трубок 7 обеспечена высокая проводимость теплообменника.

Таким образом, в предлагаемом криосорбционном насосе повышено быстродействие благодаря предварительному охлаждению молекул откачиваемого газа в трубках, помещенных в сосуде с жидким хладагентом.

1. КРИОСОРБЦИОННЫЙ НАСОС по авт. св. № 566958, о г п и чающийся тем, чго, с цепью повышется сгрооействия, он снабжен рао положенными в сосуде по окружносги грубками.а лабиринтный канал для газа подключен к патрубкам при помозди этик трубок. 2. Насос по п. 1, отличающие с я тем, что трубки выпопнены криволинейными и закреплены в торцовых стенках сосуда. (Л с