Диффузионный насос Советский патент 1993 года по МПК F04F9/02 

о

ГчЭ

о Изобретение относится к области вакууммой тёхййки и может быть использовано в диффузионных насосах, Из&естён диффузионный насос, содержащий кольцевое экран, запояменныйхледагентом с образованием паровой полости, и сборник конденсате. Известный диффузионный насос обладает низкой экономичностью вследствие большого расхода хладагента. Целью изобретения является повышение экономичности насоса путем утилизации конденсата откачиваемого газа. Это достигается тем, что в диффузионном , содержащем кольцевой экран, заполненный хладагентом с обрд;зованием паровой полости, и сборник конденсата, экран снабжен переливным тру проводом, педсоеддшенным к его паровой полости и сбсфнйку конденсатд, и патрубком отвода паров хладагента, причем расстояние вдоль оси насоса между местами подсоединения трубопровода к сборнику конденсата и полости определяется из соотношения . , РИФ.П - Р д-р где Pmp.fli - давление откачиваемо|;о хладагента температуре тройной точки, F - предельное остаточное давление в паровой полости эк($ана,.кг/м. g - ускорение силы тяжести, м/сек ; кг см р плотность хладагента, На чертеже из(ажен насос, продольнМй разрез. Диффузионный иасос содержит кольцевой экран 1, заполненный (ладагентом с образованием Г1аровой полости 2, и сборник 3 конденсата. Экран 1 снабжен переливным трубопроводом 4, подсоединенным к его Паровой полости 2 и сборнику 3 конденсата, и патрубком 5 отвода паров хладагента, причем расстояние вдоль оси насоса между местами подсоединения трубопровода 4 к сборнику 3 и полости 2 определяется из соотношения Полость диффузионного насоса соединена с форвакуумным насосом 6. Диффузионный насос работает следующим образом. В экран Т заливается жидкий азот и начинается откачка его паров через патрубок 5. Происходит понижение температуры жидкого азота вплоть до 63 К и охлаждение патрубка и присоединенного к нему сборника 3 кондейсата. Откачиваемый воздух конденсируется на поверхности экрана 1 и стекает в сборник 3 конденсата. Под действием разности давлений в откачиваемом объеме и полости 2 экрана конденсат вытесняется из сборника 3 конденсата в полость 2 экрана t по трубопроводу 4. Конденсат откачиваемого газа - жидкий воздух В смеси с основным хладагентом (жидким азотом) используется для охлаждения экрана 1 насоса и позволяет уменьшить кояичеетао хладагента, подаваемого в экран f для работы высоковакуумной ступени. ГТри .понижении давления в откачиваемом объеме до соответствующего тройной точке конденсата газа фазу прекращает: ся, включается безмасляный форвакуумн.ый насос в, например сорбционный, и происходит откачка газов, неконденсирующихся при температуре жидкого азота. Таким образом, в отличие от известного насоса, в котором для откачки вакуумного объема от атмосферного давления до высокого вакуума используется низкокипящий хладагент - жидкий водород, в описываемом насосе вакуум той же глубины може быть достигнутс использованием высококипящего J лaдaгeнтa - жидкого азота. Экономичность насоса достигается за счет использования конденсата откачиваемого возАуха не только для форвакуумной откачки; Но и для высоковакуумной.

ДИФФУЗГИОННЫЙ НАСОС, содержащий кол1 цевой экран, заполненный хладагейтом с образованием паровой полости, и сборник конденсата, о тли ч а ю щ и и с я тем, чтОгС Ue/ibio лодышения экономичности насоса путем утилизации Конденсата отка гаэа, экран снабжен переливным труб роводоМ, тцсоединенным к его па .прлоетй и сборнику конденсата, и Патрубком 9тврда riapOB хладагента, причем (Ш БЙВ1 ИОТЕКА расстояние вдоль оси насоса между местами подсоединения трубопровода к сборнику конденсата и полости определяется из соотношения РтрГП Р h ЗУ где Р|пр m -давление откачиваемого хладагента при температуре тройной точки, Р - предельное остаточное давление в паровой полости экрана, кг/м, g - ускорение силы тяжести, м/сек ; кг См /9 - плотность хладагента, м