Микродозатор жидкости Советский патент 1983 года по МПК G01F13/00 

;л

эо Изобретение относится к дозированию с-грессивньгх жидкостей, в Чс1сТ ности к устройства - для микродознрования агрессивных легколетучих рёагемксов,- например четыреххлористо кремния,, и смешивание их с гаэом-но сителем, и может быть использовано в полупроводгшковом производстве,, Известен щелевой расходомер жидкости, со,цер)т;а1ций неподвижный корпус, врашающийся в нем дозирующий диск с капиллярньдм мерником, канал принудительного ввода жидкости и ка нал вывода жидкости газомнсЗсигелем, выполненный в виде сооснщх и независимых отверстий fl. Недостатком известного устройства является необходимость применени ддополнительных систем для принудиTeJibHoro нвола и вывода жидкости и дозатора (соп-ла, устройства для под вода сжатого газа-носителя), что ус ло;;.пяет регулирование и, в конечном итоге,, снижает точность дозировани Пространственное разнесение резерву ара с агрессивной жидкостью и доза Pp., а также наличие воздушнлх промежутков между дозирующим узлом и БЬПЗОДНЬВД каналом не обеспечивает гер:.;етичь:ос.ть устройства з целом,, Наиболее близким по технической сугдности к изобретению является объемный мккро,цозат.ор л идкости, со держащий корпус, установленный в нем зразиающийся диск с капиллярными каналами-мерниками, прину,п,ительной подачей жидкости насосом и выводом oтдoз 5poвaннoй жидкости сжатым газом-носителем через каналы, выполненные в корпусе соосно с мерник,э.ми на одной окружности и кмеюш,ие одина ковые геометрические -размер. Кроме того, привод вращения диска выполнен с регулированием скорости вр щения, устанавливающей скорость подачи жидкости Г 2 J. Однако иззестнса устройство не обеспечивает достаточную точность ,дозировки из-за плохой герметичности устройства (наличия воздушных промежутков между дозирующим узлом и выводньм каналом). Кроме того, применение дополнительной системы для прину,цительного ввода и вывода жидкости из дозатора (насоса) усложняет устройство и регулирование дозирования, Целыо изобретения является упрощение конструкции микродозатора. Поставленная цель достигается те что в микродозаторе жидкости, содержащем корпус и установленный в нем диск с капиллярными каналамимерниками, корпус выполнен в виде .двух сосудов, сообйдаюгцихся через запорны-й элемент с верхним сосудом для дозируемой жидкости и нижним для смешения с несущим газом, причем диск установлен между двумя сосудами, а капиллярный канал выполнен в виде продольной клинообразной выемки в диске с возможность, соединения через верхний канал с верхним сосудом и через нижний ка- нал и капиллярное отверстие с расширением в нижней части - с нижним сосудом, при этом капиллярное отверстие расположено смежно с острием клинообразной выемки, а нижний канал - с торцовой частью клинообразной выемки. На фиг.1 изображен микродозатор жидкости; на фиг.2 - то же, вид сбоку; на фиг.З - узел j на фиг.1. Микродозатор жидкости состоит из двух соединенных между собой сосудов : сосуда 1 для дозируемой жидкости, сосуда 2 для смешения с несущим газом, УПЛОТНЯЮЩИХСЯ через прокладку 3, -диска 4 с продольной клинообразной выемкой 5, уплотняющегося через прокладку б, прижим 7 и планку 8. В сосудах установлены штуцеры 9-11, краны 12 и 13 пробок, прижимающиеся к сосудам угловыми тягами 14, обводная трубка 15, выполнен канал 16, отверстия 17 и 18 и капилляр 19 с расширителем 20. Микродозатор работает следующим образом. Дозируемую жидкость заливают в сосуд 1 при открытом кране 12. Кранпробку 12 устанавливают в первое положение, предназначенное для исходного выравнивания давлений в сосудах 1 и 2. Продувку реакционной камеры .газом-носителем осуществляют при полностью перекрытом кране-пробке 12, Кран 13 повернут в положение, обеспечивающее пропускание газа из входного ытуцера 11 в штуцер 10 и далее по обводной трубке 15, штуцеру 9 в реактор. Для осуществления дозируемой подач-и жидкости краны 12 и 13 переводят во второе рабочее положение: газ-носитель из входного штуцера 11 через второй канал в кране 13 поступает в сосуд 2, Диск 4 приводится во вращение электродвигателем. Жидкость из сосуда 1 через отверстие 17 заполняет мерник 5 в его верхнем положении. Вращением диска 4 мерник переводится в нижнее положение, в котором жидкость под действием капиллярных сил вьшодится в капилляр 19, а объем мерника 5 заполняется газом через отверстие i8. Для увеличения капиллярного эффекта при перетекании жидкости мерник выполнен в виде клинообразной выемки. Из капилляра 19 жидкость перетекает в расширитель 20 и в сосуд 2, смешиваясь в нем с проходящим газом-носителем. Смесь газа с агрессивной жидкостью проходит через канал 16 и вто

МИКРОДОЗАТОР ЖИДКОСТИ, содержащий корпус и установленный в нем диск с капиллярными каналами-мерниками , отличаю щийс я тем, что, с целью упрощения конструкции, корпус вьшолнен в виде двух сосудов, сообщающихся через запорный элемент с верхним сосудом для дозируемой жидкости и нижним для смешения с несущим газом, причем диск установлен между двумя сосудами, а капиллярный канал выполнен: .в виде продольной клинообразной выемки в диске с возможностью соединения через верхний канал с верхние сосудом и через нижний канал и капиллярное отверстие с расширением в нижней части - с нижним сосудом, при этом капиллярное отверстие расположено смежно с острием клинообразной выемки, а нижний канал - с торцовой частью клинообразт ной выемки.;