Способ определения асимметрии магнитного поля линз электронного микроскопа Советский патент 1956 года по МПК G01R33/02 

Нзибретенив итноситса к способам измерения oecBflit асимметрии магнлишго поля в линзах электронного микроскопа, основанным на баллистическом методе измерения разности шшульсов электродвпжущих снл двух КсТтушек. одна из которых - компенсационная - расположен, на оси поля, а другая - измерительная - на перифернн, на некоторое расстоянии от оси линзы. Конструкция нрибора обеспечивает постоянство электродвижущей силы комненсационно) катушки и нрямо пропорциональную зависимость электродвижущей силы от изменения иотокосцеи ленпя измерительной катушки, служап(ей для измерення асимметрии поля.

Котокосиепление изменяется, например, иереключеннем тока, нитающего линзу, с Hpsraioro направления на обратное или с максимума до нуля.

Способ измерения может быть иолезным ири коитроле качества полюсных иаконечникои электромагнитных линл злектронного микроскоиа.

На чертеже показан прибор в )азррзе н сечение но ЛА.

Еатущки смонтированы на корнусе из немагнитного материала. Компенсационная катущка (1) (большего диаметра) еоосна с отверстиями иолюеного наконечника (2), ось измерительной катушш (3) {мевьшего диаметра) не -совпадает с геометрической осыо полюсного наконечника. Измерительная катушка (3) помещается в продольном иазу корпуса (4) так, что плоскости витков обеих кату1нек совпадают, а измерительная катушка оказывается внутри ко тенсациопной. Обмотки обеих катушек включены встречно, так что наводимые в них э.тектродвижущие силы вычитаются,

Кориус, на котором смонтированы обе катушки, имеет на одном конце посадочное место, плотно входящее в одно и отверстий полюсного наконечника, что обеспечивает вращение всего прпбора иокруг геометрической оси.

При вращении измерительная катунь i;a попадает в различные участки иоля, отстоящие от оси на равном расстояиии. Ее потокосцеплергие изменяется только ири паличии отступлений ноля от аксиальной симметрии. Потокосцеиление компепсапиоппой катунгки всегда остается иостоянпым, так, как прп она иоворачивается вокруг собственной оси, не смещаясь относительно поля.

Чувствительность пзмерительного устройства к. любым неоднородностям ноля может быть резко повышена путем увеличеппя числа витков измерительной катущни при падлежащей компенсапии их соответствующия .числом витков комиенсацкопной катушки.

Витки комнепсациопной катушкп могут быть при желании подобраны так, что результирующая электродвижущая

г.ила oi)(Mix KiiTiHiei; оудет npoiioiiua нальна j ;ii fiHeH iin лотокосцеиления из.viepiiTeabHoii катушки. В случае отсутстипя aciiMMivfpnii ,отокосцс1гление измерительной |;атуи1кл йудг.т иос-тояиио. а еуммариая элр1;т););11;ижу)цая лла обеих катушек и )гт и; мерения окал;ет«1 j)()i(. ну.ло. В ирсткино.м случае. Kor.ia а.с1Г.п;стги1я имеется, кптокшиеиюние и.;мерителышй катушки иолучит 11ри1)ащеице, И11иче,( ел jrMai)Ha,ii нлектрод1П1Ж-у1и:а,я гила обеих катуиюк, и;гмв1)снная прибором, будет лротгОрцмональиа этому и1Уир;1щению.

.-1лестр(1Д иа;уи ая сила. iu);iHK(iaininaii Агтгрит иэтгоренля. мп;|;ет быть и.)еиа зеркальным оаллистичпск,им ja.ibna.HoметрпА пбычного типа.

И ) г д м е т и 3 о б 1 е. т ( н и я

Способ оирвделеиия асимметрии ма)иитногп ноля линз электронного микроскопа, о т л и ч а, ю щ и и с я тем, что, с целью измерения величины асимметрии ноля, i последнем устанавливают ;.атуп1к.и: одну коаЕсиа.)1ыю линзе, а друтую эксцентрично, и по разности электрод вижу нщх сил катушек-, измеряемых, например, баллистическим гальванометром, 1улпт об асиммотрии магнитного jro.ir я.