Устройство отсчета и регулировки увеличения в растровом электронном микроскопе Советский патент 1983 года по МПК H01J37/28 

Изобретение относится, к электронной микроскопии, а именно-к сиетемам управления растровых электронных микроскопов (РЭМ). Известно устройство отсчета и ре гулировки увеличения РЭМ, содержацее канал формирования разверток и вычислительный Ланал Cl. Недостатком этого устройства является сложность вычислительного ка нала. Наиболее близким к изобретению по технической сущности является- у ройство, содержащее соединенный с отклоняющей системой канап формиро вания разверток, включающий задающий генератор, регулятор увеличени и усилитель развертки, канал фокусировки электронного зонда, включающий соединенный с формирующей линзой стабилизатор тока, вычислительный канал, включающий аналогоцифровой преобразователь, один из входов которого соединен с задающим генератором, а выход - со счет чиком импульсов, цифровой индикатор соединенный с вйходом счетчика импульсов, декадный переключатель увеличения, выходы которого соедин ны с усилителем тока развертки и счетчи.ком импульсов, а также канал регулятора ускоряющего HainpHжения С2 .В известном устройстве в вычислительный каналу вводятся все аргументы, определяющие увеличение в.. РЭМ, что приводит к большой погреш ности отсчета увеличения. Цель изобретения - повышение точ ности .отсчета увеличения в РЭМ, Указанная цель достигается тем, .что устройство отсчета и регулировк увеличения в РЭМ, содержащее соединенный с отклоняющей системой канал формирования разверток включающий задающий генератор, регулятор узеличения и усилитель тока развертки канал фокусировки электронного зонда, включающий соединенный с формирующей линзой стабилизатор тока, вы числительный канал, включающий . аналого-цифровой преобразователь, один из входов которого соединение задающим генератором, а выход -со счетчиком импульсов, цифровой индикатор, соединенный с выходом счет чика импульсов, декадньгй переключатель увеличения , выходы которого соединены с усилителем тока ра:зверт ки и счетчиком импульсов, а также канал регулятора ускоряющего Напряжения, снабжено схемой умножения, усилителем-компенсатором и регулято ром числа витков формирующей линзы при этом первый вход схемы умножени соединен с выходом регулятора увеличения, второй --с дополнительнЕЙл выходом стабилизатора тока формирую щей линзы, а ее выход - с вторым входом аналого-цифрового преобразователя, усилитель-компенсатор вклю- чен между регулятором увеличения и усилителем тока разверток, регулятор числа витко-в включен между формирующей линзой и стабилизатором тока, а выход регулятора ускоряющего- напряжения соединен с дополнительными входами регулятора числа витков и усилителя-компенсатора. . На чертеже представлена схема устройства. В состав РЭМ ВХОДЯТотклоняющая система 1, -формирующая линза 2 И исследуе.мый объект 3. С формирующей линзой соединен регулятор 4 числа витков и стабилизатор 5 тока, образующие канал фокусировки электронного зонда. Канал формирования разверток содержит последовательно включенные задающий генератор 6, регулятор 7.увеличения, усилителькомпенсатор. 8 и усилитель 9 тока разверток. Схема 10 умножения, аналого-цифровой преобразователь 11, счетчик 12 импульсов .и -цифровой индикатор 13 образуют вычислительный канал -с декадным переключателем 1.4 увеличения, выходы которого соединены с усилителем 9 тока развертки и-счетчиком 12 импульсов. Первый вход схемы 10 умножения соединен с выходом регулятора 7 увеличения, второй с дополни- . Тельньм выходом стабилизатора 5 тока формующей линзы. - Выход регу-лятора 15 ускоряю щего напряжения соединен с дополнительйыми входами регулятора 4 .числа витков «и усилителя-компенсатора 8. Дополнительные вы-, ходы задающего генератора 6 соединены с аналого-цифровым преобразователем 11 и счетчиком 12 импульсов. Устройство работает следующим образом. Пилообразные напряжения разверток, формируемые задающим генератором 6 разверток, через регулятор 7 увеличения, который обеспечивает плавную регулировку амплитуды пилообразных напряжений в пределах одной декады, поступают на усилитель-компенсатор 8. Усилитель-компенсатор 8 электрически соединен с регулятором 15 ускоряющего напряжения, что позволяет изменять амплитуды пилообразных напряжений таким образом, чтобы поддерживать размеры растра на объекте 3 постоянными, не зависящими от величины ускоряющего напряжения электронной пушки. Кроме того, благодаря связи регулят эра 15 ускоряющего напряжения с дискретнЕ4м регулятором 4 числа витков, сохраняется значение тока фокусировки коммутацией соответствующего числа

УСТРОЙСТВО ОТСЧЕТА И РЕГУЛИРОВКИ УВЕЛИЧЕНИЯ В РАСТРОВОМ ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ, содержащее соединенный с отклоняющей системой: канал.формирования разверток, включающий задающий генератор, регулятор увеличения и усилитель тока развертки, канал фокусировки электронного зонда, включающий соединенный с формирующей линзой стабилизатор тока,, вычислительный канал, вклю-г чающий аналого-цифровой преобразователь, один из входов которого соединен с задающим генератором, а выход - со счетчиком.импульсов, цифровой индикатор, соединённый с выходом счетчика импульсов, декадный переключатель увеличения, выходы которого соединены с усилителем тока развертки и счетчиком импульсов, а также канал регулятора ускоряющего напряжения, отличающееся тем, что, с целью повышения точности отсчета, оно снабжено схемой умножения, усилителем-компенсатором и регулятором числа витков формирующей линзы, при этом вход схемы умножения соединен с выходом регулятора увеличения, второй - с дополнительным выходом стабилизатора тока форми(Л рующей линзы, а ее выход - с вторым входом аналого-цифрового преобразователя, усилитель-компенсатор включен между регулятором увеличения и усилителем тока разверток, регулятор числа витков вк.шрчен между формирующей линзой и стабилизатором тока, а выход регулятора ускоряющего напряжения: соединен с допол;; нительными входами регулятора числа витков и усилителя-компенсатора. N3 О X