Устройство для электростатического осаждения люминофоров Советский патент 1983 года по МПК H01J9/22 

Изобретение относится к электровакуумной технике и может быть испольэтэвано для формирования люминес центных слоев на экра-нах цветных кинескопов . По основному авт..св. № 464922 известно, устройство для электростатического осаждения люминофоров, содержащее распылительную систему, управляющий сетчатый электрод и под ложку, причем между управляющим сетча-тым электродом и подложкой расположен контур из диэлектрическо го материала с высокой поляризуемостью 1 . Однако известное устройство не обеспечивает необходимой равномерности -люминесцен.тного покрытия в об ласти перехода боковой стенки экрана к рабочей зоне покрытия. Целью изобретения является- повышение равномерности покрытия. Указанная цель достигается тем, что в устройстве для электростатического . осаждения люминофоров верхняя часть диэлектрического контура выполнена в виде сетки. Сетчатая конструкция верхней части диэлектрического контура позволяет вводить поток заряженных час тиц люминофора меиоду прутками диэлектрической сетки, где электричес кое поле усилено ввиду различных диэлектрических проницаемостей материала диэлектрика, и среды (воздух в которой осуществляют перенос зар женных частиц. .Таким образом, происходит растягивание потока эаря женных частиц .люминофора в сторону боковых стенок и углов. Это позволя ет избежать образования неравномер ного покрытия по краям экрана. . : На фиг. 1 приведена принципиальная схема устройства, прёдназначен го для. электронанесения люминофоро на фиг. 2 - электрический контур, вид в плане. Устройство включает распылитель ную систему 1 g соплом-катодом 2, перемещающуюся вдольнаправлений А и В по дугам сферы, концентричной сферической поверхности управляюще го сетчатого электрода 3 и экрана (подложки) 4, диэлектрический кон. тур 5, вводимый внутрь сложнойИР форме подложки, анод б и злектрический контакт 7 для подведения высокого напряжения к токопроводящему слою фотобиндера 8, предварительно нанесенному на рабочую поверхность подложки. , Нижняя часть (фиг. 2) диэлектри ческого контура; вводимая внутрь, п ложки сложной формы, повторяет про филь боковых стенок, ее (напримерг экрана цветного кинескопа), отстоит от боковых стенок на 2-2,5 мм (в зависимости от раз.мера вваренных в стеклянную планшайбу экрана фиксаторов для креплениятеневой маски), выполнена из сплошного диэлектрического материала, например органического стекла толщиной 2-3 мм. Этот элемент контура выполнен таким образом, что его верхняя граница повторяет профиль рабочей поверхности подложки и удалена от нее на 2-3 см. С помощью диэлектрических держателей 9 (фиг. 2 ) на сплошной элемент контура кр.епится набор диэлектрических прутков или пластин 10,-образующих сетку. Форма этой ,,„ сетки такова, что она повторяет конфиг:урацию периферийной области подложки, .включающей переход элемент сферы экрана - боковые стенки - углы. экрана. .. В устройстве (фиг. 1) частицы; люминофора, взвешенные I в воздушном потоке в распылительной системе 1, выходят из сопла-катода 2, острая кромка которого является коррнирующим электродом (на. него подают . напряжение отрицательной полярности порядка 42 кВ), ускоряются . электрическим полем, проходят ячейки за.земленного управляющего сетчатого электрода 3, выполненного по форме рабочей поверхности подложки, и. внедряются в слой фотобиндера 8, образуя плотное люминесцентное покрытие.- Слой фотобиндера 8, являясь проводящим и соединенньп посредством электрического контакта 7 с анодом б, находится под высоким относительно земли положительным Потенциалом. Диэлектрические пластины верхней части диэлектрического контура, находящиеся вблизи слой фотобиндера, поляризуются. Связанные электрические заряды диэлектрика усиливают электрическое поле в ВОЗ.ДУШНОМ промежутке между, пластинами и у периферийной области экрана, в результате чего, ;при сканировании дефокусированным пучком заряженных частиц люминрфора, покрытие формируется равномерным по толщине. На данномустройстве были получены люминесцентные покрытия, имеющие высокие показатели по равномерности. Неравномерность удельных нагрузок по полю экрана не превышала ±6%. Экономический эффект определяется увеличением процента выхода годных экранов. При;этом экономия за . счет сокращения расхода дорогостоя щего люминофора ориентировочно может- , составить несколько сот тысяч рублей.

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЭЛЕКТРО,СТАТИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ЛЮМИНОФОРОВ ПО авт. св. W 464922, е.т л и чающееся тем, что, с целью повышения равномерности покрытия, верхняя часть диэлектрического, контура выполнена в виде сетки.