Оптико-телевизионная система обнаружения дефектов фотошаблонов Советский патент 1983 года по МПК G01B9/04 

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быт использовано для обнаружения дефекто фотошаблонов. Известно контрольно-измерительное устройство обнаружения дефектов поверхности, содержащее блок формирова ния лазерного луча, блоки развертки лазерного луча, а также два фотоприемника, расположенные под измё ри тельной позицией координатного стола СО Недостатком устройства является невысокая точность измерений. Наиболее близкой к изобретению является система для обнаружения дефектов фотошаблонов, содержащая координатный стол с механизмами для ориентации контролируемого фото.шаблона, датчик линейных перемещений фотошаблона по двум координатам, осветители измерительной позиции координатного стола, проекционный объектив, распрложенный над измерительной позицией координатного стола передающу камеру, детектор дефектов блок суммирования оптических изображений модулей контролируемого фотоШаблона и .блок противофазного включе ния осветителей 23 . Данная система характеризуется недостаточной вероятностью обе ружения дефектов фотошаблонов. Цель изобретения - повышение вероятности обнаружения дефектов фотошаблонов. Цель достигается тем, что в опГик телевизиочной системе обнаружения де фектов фотошаблонов, содержащей коор динатный стол с механизмами для пере мещения контролируемого фотошаблона, датчики линейных, перемещений фотошаблона по двум координатам, осветители Координатного стола, передающую телевизионную камеру, оптически сопр женную с приемным объективом, оптически сопряженным с блоком совмещени изображений фотошаблонов,детектор дефектов и блок управления, вход которого соединен с первым выходом Передающей телевизионной камеры, а выходы подключены ко входам соответствующих осветителей, блок совмещения изображений фотошаблонов выполнен а виде двух перископических систем, .оптические оси которых параллельны и на выходе довмещены с оптической осью приемного объектива, при этом каждая перископическая система размещена в отдельном корпусе, расположенном на . общем основании, кинематически связанным с блоком вращения перископических систем вокруг оси приемного объектива, а корпуса перископических систем механически связаны с блоком изменения расстояния между осями перископических систем, а также введен блок анализа совмещения изображений фотошаблонов, вход которого соединен со вторым выходом передающей телевизионной камеры, первый выход подключен к входу блока изменения расстояния между осями перископических систем, а второй выход соединен со входом блока вращения перископических систем вокруг оси приемного объектива. На чертеже представлена схема предлагаемой системы. Схема содержит осветители 1 координатного стояа, контролируемый фотошаблон 2, блок 3 совмещения изображений фотошаблонов, приемный объектив k, передающую телевизионную камеру.5, координатный стол 6 с механизмами для перемещения контролируемого фотошаблона, датчики 7 линейных перемещений фотошаблона по двум координатам, блок 8 анализа совмещения изображений фотошаблонов, детектор 9 дефектов, блок 10 управления, первую и вторую перископические системы 11. и 12, являющиеся элементами блока 3совмещения изображений фотошаблвнов и размещенные в корпусе 13, установленном на основании 1, связанном с блоком 15 вращения перископических систем. Корпус 13 каждой перископической системы 11 и 12 связан с блоком 16 изменения расстояния между осями перископических систем. Система работает следующим образом. Перед началом работы контролируемый фотошаблон 2 устанавливают на координатном столе 6 и освещают осветителями 1, работающими в заданном режиме. На первом этапе блок 8 анализа совмещения оптических изображений выдает на блок 15 вращения перископических систем сигнал углового рассогласования базовой линии системы. За базовую линию принимается линия, соединяющая центры входных зрачков блока 3 совмещения изображений фотошаблонов. Работа блока 15 вращения перископических систем прекращается, когда сигнал ошибки равен нулю, что соответствует параллельности базовых

линий фотошаблона и системы. На экраны детектора 9 дефектов этот процесс отображается как процесс совмещения изображений сравниваемых участков фотошаблонов по оси У. На втором этапе блок 8 анализа совмещения оптических изображений выдает на блок 1б изменения расстояния между осями перископических систем сигнал ошибки, пропорциональный линейному рассогласованию базовых линий. Работа блока 16 изменения расстояния между осями перископических систем прекращается, когда сигнал ошибки равен нулю, что соответствует геометрическому равенст ву базовых линий i фотошаблона|и системы. На экране детектора 9 дефектов

это отображается как процесс совмещения .изображений сравниваемых участков фотошаблона по оси X при сохранении ранее достигнутого совмещения по оси У.

Таким образом, выполнение блока совмещения изображений йютошаблонов в виде перископических систем обеспечивает стабилизацию углового положения наблюдаемого через перископ объекта при качании перископа, т.е. обеспечива(ется возможность регулировки оптическо базы системы без нарушения фокуси ровки и взаимного углового положанйя совмещаемых участков контролируемого фотошаблона. На Sxod 10 На 5шод 15 . #

i5

Л

/

/

:/:

7S

X r::l-/Li.JL I К 4ff /А У

8 К Выхо8д д :

15

16