Установка аподизации устройств на акустических поверхностных волнах Советский патент 1982 года по МПК G05D3/10 

393 прецизионносгь, бесконгактносгь, возможмость обработки изделия через тфозрачные среды на расстоянии от фокусирующей оптики 4}. Однако сзгществуюаше в настоящее время лазерные технологические устансвки микрогравировки, например ЭМ-551, не позволяют автоматизировать процесс амплитудной аподизации устройств на АПВ; наведение на место обработки лазерного луча и управлен1Ю им осуществляется оператором. Указаннью установки для автоматизации техпроцесса требуется оснащать датчиком, определяюищм место, обработки. Известны фотоэлектрические датчики линейных перемещений (ДЛП), в том числе со штриховыми измерительными звенья ми. Они позволяют измерять перемещение движущихся объектов с микргашой точностью на расстояниях 1ОО-300 мм (а при необходимости и больще) tS. Однако их применение в установках амплитуш1ой аподизации устройства на АПВ для автоматизации процесса затруднено разбросом положения штырей от заданнь1Х, возникающих в процессе изгоговления прибора.. . Цель изобретения - повышение точноети устройства. Поставленная цель достигается тем, что в установку аподизации устройств на акустических поверхностных волнах, содержащую соосно установленные лазер. диафрагму, оптическую систему, объектив координатный стол с аподизируемым устройством и осветитель, а также привод координатного стола, проекционную систему, индикатор положения устройства, введены последовательно соединенные фотодетектор и блок программного управления, выходы которого связаны с входами привода диафрагмы и привода координатного стола, а в качестве элемента индикатора . положения устройства использована имеющая .штриховую структуру поверхность аподизируемого устройства. На чертеже изображена оптическая схема установки. Схема содержит осветитель 1, конденсатор 2, координатный стол 3, аподизируе мое устройство 4 (фотодатчик), объектив 5, зеркапо 6, оптическую систему 7, диафрагму 8 (затвор), лазер 9, фотодетектор 10, окуляр 12, зеркало 11, блок программного управления 13 и привод коордиватного стола. Зеркала 6 и 11, осветитег I, Конденсатор 2, объектив 5 составляют гшоекционную систему. 794 Излучение лазера 9, огра.п1ченное циафрагмой 8 и сформированное оптической Системой 7, фокусируется объективом 5 на поверхность изцелия 4, установленного на координатном столе 3. Последний осуществляет поступательные перемещения изделия по оси jf . Изделие устанавливается таким образом, чтобы штыри преобразователя (не показаны) были р ас по л ожены всюль оси х. Изображение обрабатываемого участка проецируется с помощью объектива 5 и зеркал 6 и II либо на фотокатод фотодетектора Ю, либо на экран со щельк позади которого установпен фотоприемник (не показан). Таким образом, объектив S используются здесь как для фокусировки лазерного излучения на место обработки, так и для наблюдения за этой зоной с помощью зеркала 6 и окуляра 12. Действительное изображение места обработки здесь используется в ка- честве штрихового измерительного звена датчика положения обрабатываемого изделия Освещение фотошаблона производится осветителем 1 через конденсатор 2 снизу; при обработке готового устройства на АПВ используется боковой подсвет. Электрические сигналы, возникающие в фотодетекторе при.движении изделия к месту обработки, преобразуются в блоке уг равления 13 в команды, послюдовательно вызывающие остановку движения координатного стола по оси у при подходе к месту обработки, смещение стола по оси х в соответствии с законом аподизации, включение лазерного затвора 3, испарение требуемого участка, выключение затвора, включение, движения по оси у. Далее этот цикл повторяется. Информация о величине смещения стола по оси X и размерах зоны обработки вводится в блок управления посредством перфоленты; данные о выборе штыря, подг лежащего обработке, заносятся в память блока 13. Предлагаемая оптическая схема построения технологической установки для амплитудной аподизации устройств на АПВ и фотошаблонов для них экспериментально опробована, на ее основе разработан и изгоTOBjKH действующий макет. Точность наведения лазерного луча на место обработки, не зависяШЧя от истинного положения штыря преобразователя, составила величину около 1 мкм. Формула изобретения Установка аподизации устройств на акустических поверхностных волнах, со 59 цержащая соосно усганюленные лазер. ; оиафрагму, опгичеекую систему, обьектив, коорпивагный стол с а по дизируемым устройством и осветитель, а также привод Координатного стола, проекционную систему, индикатор положения устройства, отличающаяся тем, что, с пелью повышения точности ус ановки, она содержит последовательно соединенные фотодетектор и блок программного управления, выходы которого связаны с входами привода диафрагмы и привода координатного стола, а в качестве индикатора положения устройства использована имеющая штриховую структуру поверхность аподиаируемого устройства, . Источники информаци13, принятые во внимание при экспертизе 1. SEobodmit А.J., Surface Аех)о&tit Waves and SA Wateriaes.-Рго79l edinoj o Ъв JEEE,v.fe4ip. 581-9 5. I.SmiU dtae W.R.Attae ses andf Desinqr oE Dispersive 3titer dierUdC rfdtfe Wdrc Тгс1«9восегс. Ttans WAcrowapBs Tbeonj iec KO MTT-do,/i97i, p. 458-471/ 3. Морозов A. т., ЦрокловВ. В. Станковский В. А,, Чингиз А, AilTotornpoводниковые преобразователи и их: примеиение. М., aHepnM, 1973,. с, 12, 4. Стельмах М. Ф., Тимофеев А; И., Чельный А. А. Лазерная техвояогйя is электронной промышлв ости я электрооная промышленность, 1976,1 выо , 5-10 (тфототип). 5. Мироненко А. В. Фотоэлектрические измерительные системы М., Эвергня l976, с. ЗёО.