О
а: о
9) &0 IFI
Изобретение относится к элементам интегральной оптики, а именно к волноводам с резким изменением показателя преломления на границе волноводная пленка - подложка,:
Известны оптические волноводы, полученные путем нанесений на подложку кристаллической или аморфной пленки толщиной в несколько микрон с показателем преломления большим, чем у подложки, причемхимический состав пленки качественно или количественно отличается от состава подложки 1; . :
Недостатке волноводов является неполная технологическая совместимость слоев из-за сочленения различных по химическому составу материалов, которая вызывает наличие трещиноватого слоя в волноводной пленке на границе с подложкой, снижающего качество волновода как элемента оптической системы; низкую адгезионную прочность слоев изделия; узкий диапазон допустимых температурных изменений в условиях эксплуатации, а также хранения и транспортировки, так как различие коэффициентов расширения разных по химическому составу материалов вызывает появление напряжения и сколов уже при колебаниях температуры в несколько десятков градусов
Известен также волновод со скачkoo6pa9HbiM изменением показателя прелош1ения на границе волноводная пленка .- подложка, содержащий подложку с первым коэффициентом преломления и нанесенную поверх аморфную волноэодную пленку с вторым коэффициенте прел(|Шения, большим первого, причем химический состав пленки близок, но не тождественен составу подложки, что необходимо для соз.дания волноводного эффекта за счет разности показателей преломления пленки и подложки 2;,
Недостатком известного волновода является невозможность добиться олной технологической совместимоси слоев, а следовательно, низкая стойчив(3сть к механическим и темпеатурным воздействием.
Цель изобретения - повышение устойчивости к механическим и темпера-турным воздействиям.
Указанная цель достигается тем, что в оптическом вол новоде со скач кообразным измененй показателя преломления на границе золиоводная пленка - подложка, содержащем подложку с первым козффициентом преломления и нанесенную поверх аморфную волноводную пленку с вторш коэффициентом преломления, большим первого, подложка и волноводная пленка выполнены из материалов одинакового качественного и количественного химического состава, но отличающихся внутренней структурой. При подложка и волноводная пленка выполнены из SiO,,
Оптический волновод можно изготовить с помощью катодно-реактивного распыления и осаждения аморфной пленки SiOj на поверхность подложки из стеклообразного SiOj, , По.каза.тель преломления пленки в этом случае 1,467 на длине волны 0,63 мкм и превьвиает показатель, преломления подложки (1,457), что Обусловлено различием внутренней структуры пленки и пордожкзл,
Могут быть предложены и другие способы нанесения аморфной пленки, например, высокочастотное распьшени;е.
- Предложенный волновод отличается от известного более высокими показателями качеству.
Не имеется трещиноьатого слоя в аморфной волноводной пленке, и адгезионная прочность определяется не дефектностью слоев на границе пленка - подложка, а природной химической связью материала, например, SiO.j
Температурный интервал, в котором может работать волновод, определяется температурой структурных превращений .материала пленки, и верхняя граница,его составляет 1000 К, в то время как в известном волноводе этот предел обусловлен различием коэффициентов термического расширения и не превышает сотни градусов.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
ОПТОЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА | 2009 |
|
RU2532896C2 |
ИНТЕГРАЛЬНО-ОПТИЧЕСКИЙ ВОЛНОВОД С АКТИВИРОВАННОЙ СЕРДЦЕВИНОЙ, ДВОЙНОЙ СВЕТООТРАЖАЮЩЕЙ ОБОЛОЧКОЙ И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ | 2010 |
|
RU2457519C1 |
Способ исследования планарного оптического волновода | 1980 |
|
SU998894A1 |
Волноводный управляемый преобразователь оптических мод | 1989 |
|
SU1829021A1 |
ФОТОВОЗБУЖДАЕМЫЙ ЛАЗЕРНЫЙ ИНТЕГРАЛЬНО-ОПТИЧЕСКИЙ СЕНСОР | 2018 |
|
RU2697435C1 |
ИНТЕГРАЛЬНО-ОПТИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ПОЛЯРИЗАЦИИ ИЗЛУЧЕНИЯ НА ОСНОВЕ АСИММЕТРИЧНОГО ВОЛНОВОДА В СТЕКЛЕ | 2018 |
|
RU2682070C1 |
ИНТЕГРАЛЬНО-ОПТИЧЕСКИЙ ПРОСТРАНСТВЕННЫЙ РАЗДЕЛИТЕЛЬ ПОЛЯРИЗАЦИИ НА ОСНОВЕ АСИММЕТРИЧНОГО Y-РАЗВЕТВИТЕЛЯ | 2011 |
|
RU2461921C1 |
ИНТЕГРАЛЬНО-ОПТИЧЕСКИЙ ЭЛЕМЕНТ | 2015 |
|
RU2594987C1 |
Устройство для вывода излучения из планарного оптического волновода | 1987 |
|
SU1531047A1 |
Оптический сенсор на основе плазмон-индуцированной прозрачности и Фано-резонансов | 2021 |
|
RU2770648C1 |
;1 ОПТИЧЕСКИЙ ВОЛНОВОД со скачкообразным изменением показа теля преломления на транице вблноводная . пленка - подложка, содержащий подложку с nepBi показателем и нанесенную поверх аморфнуюволноводную пленку с вторым показателе преломления, большим первого, отличаю щи йс я тем что, с целью повышения устой:чивости к механическим и температур.ный воддействиям,подложка и волноводная пленка выполнены из материалс в одинакового качественного и ко-, личественного химического состава, но отличакнвшхся внутренней структуройч ;2, волновод по л, .1, о л и ч аю щ ни с я тем, что подложка и вол-g .новодная пленка выполнены из SlOi, : 8
,1, Петровский Г, Я, и Агафоно-ва К, А, ; Физика и химия стёкла, : ,Т, 6, 1980, № 1, ;с,, 3-1,8, ,2в :Интегральная оптика;, : Под Р0Д, 7, Тамира, И,,; Мир, .1978, .с, 232 (прототип), (S4) |
Авторы
Даты
1983-12-23—Публикация
1982-04-01—Подача