Интерференционное устройство для измерения перемещений Советский патент 1984 года по МПК G01B11/00 

Э

ш

ш

9f. Изобретение относится к изйерительной технике и может быть ис пользовано дпя измерения амплитуд Мбраций в широком диапазоне частот например, при поверке дибродатчиков, испытаниях изделий элёктронйрй texакхи и до. Известно интерфере нционное устрой стар для измерения яеремещеннй, соде Ясацее последовательно установлейаые источник монохроматического излу ченяя« cBefojpiicii nHTejiib и светоделитель, jEtaa одно нз кртррсвх распопагаетсв на обЩем Рснрван1ш1 с контролнруёгвям объектрм прсл М1Овательнр пр Кдлуч«ния за светрделихел1вМг а дфугое зеркало оптически связано с истрчникрм излучейня чбрез светррасщепитёль и св етрдеднтель рптичедкйй элемент, расярлржеН1Шй с прбж шополржнрй стороны Св0тоделитёля rio отношению ко второму зеркалу и оптически: связанный через светр)|е ttxtenj с 6( зеркалс1 ш, 4к тр11р8 4ник и блок регистраш1И/ прдклйч №А к выходу фотбпрнёмника В это усфройст)ве с опоршям зеркд|1ои скрёП Лен электромеханический т}реоб| аз1рватель /а симметричнр nepspiWy 4«ртрПряёмНИкУ относительно ОПТЙЧё1| Кот длёмента установлен втррой приемник/ 8Ш:рдс| 4 (саязанньргг с aJleKTp MexaHH4ecKi(tiM преРбразоваЕфелем. Недостаток изаес рнргр: - ограниченна ч астрт1« даалЕа д и не соКая точность и змереннй при контроле вкб{ о11еремещеннй Чтр Рбус.ловленр нелинейнрстьК) амплйтуднр частотнрй ха1 актерйстнки П1 «юефа дателя, сравнительно нёЫЬокрЙего; собственной частотой н рядом ;Apyiriix ;ПРИЧИН.;.,:.-. /:./: ..,:-/.:. .. Цель изрбретёния - повмменйе :т ч ностй и раомйрение частст йрзс-Ь дциа-г iiasPHa измерений 8н;бррпере||Ющейий-. f , Эта Цель .достйг-авэсСя тем-,. ч о ийтерференцнонное устройство длй иэмерения переме1цений, содержацеё пр:слёдрвательно установленные источник монохррм1атйческрго излучения, свдторас14епитёль и светоделитель, два эерКала одно из котррых распопа гается на обвеем основанни с контролируемым объектсм последовательнр по ходу излучения за светоделителем, а дфугое зеркало оптически связано с источником йзло чения через светорасщепитель и сзветодеяитёль, оптический элемент, расположенный с противоположной стороны светоделителя ПР отношению ко второму зеркалу и Рптичерки связанный через светодёлитель с обоими зеркгшами/ фотоприем Ник и блок регистрации, подключенный к выходу фотопрнемника, снабжено двумя размещенны 4и симметрично относительно выходов оптического элемента отражателями, установленными с возможностью регулкррвки угла их ворота относительно друг заруга, а фотоприемннк оптически связан с обонми отражателями. На чертеже изо1 ажена опфйчёская схема интерференционного усофойства для измерения перемёщеннй. Устройстве содержит notihenotaтельно устанррглёнжлё источник 1 монохроматического излучения, С8етй{ асще питель 2, светоделитель 3, зёЬкаяр 4,5 оптически связанное с истрчййжрм 1 излучения, рптический элемент б два ртражателя 7 и 8, фотоп ИШ« ик 9, блок 10 регнстрацнн Светорасщепитель 2 расположен на пути Пучка, света нрточннка 1 излучения, эёркалр 5 - на общем основан и с ко 1ТрРлйруемым об ъёктом 11, on H uiecKiiJt элемент 6 - с противоположной Стррогалсаетодёлнтеля 3 по от ньшенню к зеркалу 4 и с птнчески связан ;чёрез све рдёлитёЛь 3 с зерКалом фртрпрйёмняк 9 оптически связан с р|во«Ш( отражателями 7: и б и электрйчёскн связан с блрком 10 регистрации :.- . . . . ,.,, . VycTpicMac tBp padoTaiBT сяедукнцим обpa3pMv ;. /-;, . , : .; Лучрк света й $трчни|с | 1 делите свёт1брас11|е нфелем 2 на даа параллель ньсх пучка 12 И 13. Яучрк 12 делится свётрдеямтелёМ 3 йа два пучка, кртоptee, Ь азняиЬсь Ьт зерКа-гт 4 и объекта 11 , фррйиру10Т йн,терферпенцирнную Картнйу 14; fljirvPK 13 делйтс:я в сзс/ю ЬчёреМ свётёйбшит шем 3 на два пучка, Кртсфыеуртраэишассьрт зеркгша 4 и зё Ежа1ш 5V форм111ру1от мнтерференод1ркнр KikptHHy IS. Образрва 1шеся йнферф в| |цйр«11{ые картины 14 / н 15, ртразйпв11с;к рт сютичёского элемента б и зафём от отражателей 7 и 8, попадшот «а iievQ i ireMHitK 9, где происходит нал|ейкённеих jopyr на друга. Изменяя yrcui no8opi(ta ртражателей 7 и 8 ртноси ь«р №pyf ДФУга, Накладывают две интерф ; енцнонные кёртины 14 и 15 в плоскРСти фотрприемннка 9 ср сдвнгрм их ртнрся ельйр друг друга на половину длины врлны источника свёта, т.е. заемная полрса одной интерферен1щонной картины будет наложена на светлит полосу даугой, а светлая полоса - на темную полосу, интенсивность суамарярЛ интерференционной картины преобразуется фотоприемником 9 в электрический, сигнал, который измеряется блоком 10 регистрации. Благрдаря ТСЯ4У, что прн формировании зторой интерференционной картины 15 используются те же элементы, что и.при формировании первой (кроме объекта 11)н интерферирующие пары пучков проходят близко друг с другом, вредное воздействие, оказываемое на них, является одинако

ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ, содер-г жаще последовательно установленные источник монохроматического излучения светорасщепитель и светодели.тель/ два зеркала,,одно из которых располагается на общем основании с контролируемьам объектом последовательно по ходу излучения за светодейК&Лх-/дч;;:. S лителем, а другое зеркало оптически связано с источником излучения Через светорасщепитель и светоделитель, оптический элемент, распо- , лЬжеиный с противоположной стороны светоделителя по отношению ко второму зеркалу и оптически связанный через светоделитель с обоими зеркалами , фотоприемник и блок регистрации, подкдпоченный к выходу фотоприемника, о т л и ч а ю щ е е с я тем что, с целью повышения точности и расширения частотного диапазона измерений виброперемещений, оно снабжено двумя размещенными симметрично относительно выходев оптического элемеИТа отражателями, установленными с возможностью регулировки угла их О) поворота относительно друг друга, а фотоприемник оптически связал с обоими отражателями.